RU2425338C2 - Быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации - Google Patents
Быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации Download PDFInfo
- Publication number
- RU2425338C2 RU2425338C2 RU2009131082/28A RU2009131082A RU2425338C2 RU 2425338 C2 RU2425338 C2 RU 2425338C2 RU 2009131082/28 A RU2009131082/28 A RU 2009131082/28A RU 2009131082 A RU2009131082 A RU 2009131082A RU 2425338 C2 RU2425338 C2 RU 2425338C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- input
- interferometer
- laser source
- beam splitter
- laser
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000835 fiber Substances 0.000 title description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 17
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 7
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
Измеритель длины волны лазерного излучения выполнен по схеме интерферометра Майкельсона. В состав устройства входит исследуемый лазерный источник, излучение которого разделяется светоделителем на два пучка, каждый из которых, отражаясь от соответствующих отражателей, один из которых выполнен с возможностью смещения вдоль оптической оси с помощью привода, снова проходит светоделитель и попадает на вход фотоприемного устройства. Выход фотоприемного устройства соединен со входом аналого-цифрового преобразователя, выход которого соединен со входом вычислительного устройства, которое выдает измеренную информацию на экран. В схему интерферометра дополнительно введен калибровочный канал, содержащий эталонный лазерный источник, а также введены три дополнительных плеча разной длины и быстродействующий переключатель, позволяющий с высокой скоростью последовательно подключать к интерферометру соответствующее плечо. Технический результат заключается в обеспечении повышения скорости измерения длины волны лазерного излучения и увеличения динамического диапазона измеряемых сигналов. 4 з.п. ф-лы, 4 ил.
Description
Изобретение относится к измерительной технике в области спектрометрии и представляет собой быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения, распространяющегося по волоконному световоду, построенный на основе двухканального интерферометра Майкельсона.
Известно множество устройств, предназначенных для измерения длины волны лазерного излучения, поэтому целесообразно указать ближайший аналог, описанный в патенте US 005422721 A (опубл. 06.06.1995). В данном патенте предложен фурье-спектрометр (см. фиг.1), разделяющий поступающее излучение на множество оптических пар и одновременно изменяющий оптическую разность хода (далее - ОРХ) между пучками. Фурье-спектрометр предназначен для исследования спектрального состава немоно-хроматического излучения без использования опорного канала.
Устройство работает следующим образом. Излучение точечного источника 1 преобразуется коллимирующей линзой 2 в плоскую волну, разделяющуюся на два пучка светоделителем 3. Далее один пучок, отражаясь от светоделителя 3, падает на плоское зеркало 4, положение которого задает пьезопривод 8. Второй пучок, пройдя через светоделитель 3, отражается от набора плоских зеркал 5. Каждый отраженный от плоского зеркала пучок попадает на светоделитель 3, после отражения от которого проходит через соответствующую фокусирущую линзу 6 и попадает на соответствующее фотоприемное устройство (далее - ФПУ) 7, которое, в свою очередь, соединено с аналого-цифровым преобразователем 9. Выходы аналого-цифровых преобразователей соединены с вычислителем, который выводит информацию на экран 11. Делая отсчеты для каждой пары пучков: пучка, отраженного от плоского зеркала 4, и одного из пучков, отраженных от каждого из плоских зеркал 5, спектрометр генерирует множество разных интерферограмм и определяет спектральный состав входящего излучения, осуществляя преобразование фурье суммарной интерферограммы, полученной из участков, соответствующих каждой из пар, что позволяет получить спектральное разрешение, значительно превышающее то, что могло быть получено путем обработки единой интерферограммы, полученной с помощью единого диапазона сканирования.
Основным недостатком рассматриваемого аналога является низкий уровень интенсивности выходных сигналов, связанный с необходимостью разделения исходного пучка на множество каналов, при этом при небольшом количестве фотоприемников энергетические потери оказываются наиболее существенными. Фиг.2 иллюстрирует вид пучков в плоскости ФПУ в случае построения спектрометра с использованием двух фотоприемных устройств. Примем, что пучок, отраженный от зеркала 4, единичного радиуса. Тогда подсчитаем потери как отношение площади пучка, отраженного от зеркала 4, к площадям пучков, отраженных от зеркал 5.
где I поmерь - интенсивность, составляющая потери;
I 0 - интенсивность пучка, прошедшего через светоделитель:
S 4 - площадь пучка, отраженного от зеркала 4, в плоскости ФПУ;
S 5 - площадь пучка, отраженного от каждого из зеркал 5, в плоскости ФПУ.
Видно, что потери составляют 50% от интенсивности пучка, прошедшего через светоделитель.
Столь значительные энергетические потери делают затруднительным использование устройства для измерения значения длины волны малоинтенсивного излучения и для работы в волоконно-оптических системах.
Еще один существенный недостаток связан с низким быстродействием устройства вследствие необходимости сканирования большого числа точек интерференционной картины, что заметно увеличит время обработки сигналов аналого-цифровым преобразователем и вычислительным устройством.
Технический результат, на достижение которого направлено предлагаемое изобретение, заключается в увеличении скорости измерения длины волны лазерного излучения, а также в увеличении динамического диапазона измеряемых сигналов.
Указанный технический результат достигается за счет того, что в устройстве, выполненном по схеме двухканального интерферометра Майкельсона, содержится исследуемый и измеряемый лазерные источники, излучение которых разделяется светоделителем на два пучка, каждый из которых, отражаясь от соответствующих отражателей, один из которых выполнен с возможностью смещения вдоль оптической оси с помощью привода, снова проходит светоделитель и попадает на вход фотоприемного устройства, выход которого соединен со входом аналого-цифрового преобразователя, выход которого соединен со входом электронно-вычислительной машины, которая выдает измеренную информацию на экран.
В отличие от рассматриваемого аналога в схему интерферометра дополнительно введен калибровочный канал, содержащий эталонный лазерный источник, а также введены три дополнительных плеча разной длины и быстродействующий электрооптический переключатель, позволяющий с высокой скоростью последовательно подключать к интерферометру соответствующее плечо.
В результате последовательного подключения плеч разной длины происходит последовательное уточнение измеряемой длины волны путем более точного определения фаз интерферограмм за счет известного из предыдущего измерения числа периодов интерференционной картины, укладывающихся в разность хода, вносимую подключенным плечом другой длины при текущем измерении.
Далее изобретение описано более подробно с помощью чертежей.
На фиг.1 изображена структурная схема устройства - ближайшего аналога.
На фиг.2 изображена конфигурация пучков в плоскости ФПУ в случае использования двух плоских зеркал 5.
На фиг.3 изображена структурная схема предлагаемого устройства.
На фиг.4 изображен вид пучков лучей в плоскости ФПУ при использовании четырех ФПУ.
На фиг.2 условно показана структурная схема предлагаемого устройства. Для осуществления предлагаемого изобретения в качестве эталонного источника излучения 12 в калибровочном канале интерферометра необходимо использовать стабилизированный по частоте лазер. Излучение эталонного и измеряемого лазера разделяется на два пучка светоделителем 14, представляющим собой полупрозрачную пластину. Для создания оптимального соотношения сигнал/помеха светоделитель целесообразно выполнить с коэффициентом светоделения 50%/50%. Полученные пучки, отражаясь от соответствующих отражателей, попадают на вход соответствующих ФПУ 22 и 23, где образуют интерференционную картину.
Для измерения периода интерференционной картины необходимо производить ее сдвиг на определенное заранее известное целое число периодов, а затем измерять фазу сдвига, соответствующую дробной части периода. Для осуществления указанного измерения реализована схема двухканального интерферометра с одним стационарным плечом с отражателем 15 и набором из четырех подключаемых плеч с отражателями 18, 19, 20 и 21. Сдвиг интерференционной картины осуществляется с помощью переключателя 17 путем последовательного подключения к интерферометру плеч с разной длиной, а измерение величины сдвига картины, соответствующей дробной части периода, происходит путем изменения длины стационарного плеча с помощью пьезопривода отражателя 15, установленного в этом плече.
Для измерения длины волны измеряемого лазера 13 выполняются следующие операции.
1. Осуществляется перестройка отражателя 15 при помощи пьезопривода на расстояние DS шагом DS/k, где k выбирается, как привило, в диапазоне 10-20 и означает число выбираемых точек на одном периоде интерферограммы. Диапазон перемещения отражателя 1 выбирается в соответствии с формулой:
где OPD01-2 - вносимая ОРХ, λmax - верхняя граница рабочего диапазона, q>0,5 - коэффициент, гарантирующий смещение интерференционной картины более чем на один период.
2. После каждого шага пъезопривода осуществляется синхронное измерение интенсивности в канале эталонного лазера 12 и измеряемого лазера 13. Оцифрованные АЦП 24 данные записываются в два массива I1эт и I2изм и поступают на вход ЭВМ 25.
3. Вычисляются фазы первой и k-ой точки в канале эталонного лазера 12 и измеряемого лазера 13. Фазы могут быть определены, например, при помощи 5-точечного алгоритма [Р.Hariharan, В.F.Oreb and T.Eiju Digital phaseshifting interferometry: a simple error-compensating phase calculation algorithm. Applied optics, Vol.26, No. 13, 1987]. Согласно этому алгоритму фаза каждой N-й точки может быть вычислена по формуле:
где ϕ - фаза N-й точки;
I N , I N+1 , I N+2 , I N+3 , I N+4 - интенсивности 5-ти последовательно следующих точек интерферограммы.
4. Определяется целое число периодов (длин волн) в канале эталонного и измеряемого лазера.
5. Вычисляется длина волны измеряемого лазера по формуле на основе сравнения периодов интерферограмм [Оптические измерения / А.Н.Андреев, Е.В.Гаврилов, Г.Г.Ишанин и др.: Учебное пособие. - М.: Университетская книга; Логос, 2008. - 416 с., с.353-354]:
где Nэт - целое число периодов в интерферограмме эталонного лазера;
Nизм - целое число периодов в интерферограмме измеряемого лазера;
φ эm_1m - фаза первой точки в интерферограмме эталонного лазера;
φ эm_km - фаза k-ой точки в интерферограмме эталонного лазера;
φ изм_1m - фаза первой точки в интерферограмме измеряемого лазера;
φ изм_km - фаза k-ой точки в интерферограмме измеряемого лазера.
6. Максимально возможную погрешность измерения длины волны при сканировании интерферограммы длиной DS можно оценить, воспользовавшись зависимостью длины волны измеряемого лазера от ряда параметров, см. (4):
Воспользовавшись формулой для суммарной стандартной неопределенности [Основы оптической радиометрии / под. ред. проф. А.Ф.Котюка. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. - 544 с., с.36], получим следующую формулу для погрешности длины волны измеряемого лазера:
где δφ - погрешность измерения фазы. Таким образом, например, если λэт=632 нм (длина волны стабилизированного по частоте He-Ne лазера), δφ=3° - типичная погрешность измерения фазы при помощи пятиточечного алгоритма [Р.Hariharan, В.F.Oreb and T.Eijn Digital phase-shifting interferometry: a simple error-compensating phase calculation algorithm. Applied optics, Vol.26, No. 13, 1987], Nэт=1, то погрешность после сканирования отражателя в диапазоне DS составит δλ=5,2 нм.
Возможное начальное внесение ОРХ между отражателями 15 и 18 устанавливается в соответствии со следующим неравенством:
которое означает, что неопределенность длины волны может привести к изменению числа длин волн, укладывающихся в ОРХ не более чем на единицу, т.е. неопределенность длины волны может привести к изменению лишь дробной части периода интерферограммы. Из (7) можно приближенно оценить значение ОРХ, если, например, нижняя граница рабочего спектрального диапазона составит λизм_min=1200 нм:
Если при этом начальная ОРХ была измерена с погрешностью не более 0,2·λэт, то появляется возможность повысить точность измерения более чем в 30 раз, осуществив вычисления по следующей формуле:
где mod - операция определения целой части числа. Соответствующая погрешность после уточнения может быть определена из следующего выражения:
Таким образом, если, например, λэт=632 нм, то погрешность после уточнения составит δλ изм_уm1=0,012 нм.
7. После того как проведено уточнение измерения, отражатель 15 возвращается в изначальное положение. Причем возврат осуществляется точно так же пошагово с шагом DS/k. После этого осуществляется вычисление ошибки возврата в начальное положение при помощи следующего выражения:
где φ эm_1m_возв - фаза 1-й точки интерферограммы после возврата в исходное положение, вычисленная при помощи пятиточечного алгоритма.
8. Затем осуществляется переключение отражателей при помощи переключателя 17. Теперь интерферометр образуется при помощи отражателей 15 и 19. Начальная ОРХ между отражателями 15 и 19 должна быть установлена равной:
и должна быть измерена с погрешностью не более 0,2·λэт.
9. Теперь для уменьшения погрешности измерения длины волны осуществляется перестройка отражателя 15 при помощи пьезопривода на расстояние DS с шагом DS/k.
После каждого шага пъезопривода осуществляется синхронное измерение интенсивности в каналах эталонного и измеряемого лазеров. Оцифрованные аналого-цифровым преобразователем 24 данные записываются в два массива I2эт и I2изм.
10. Определяется целое число периодов (длин волн) в массивах I2эт и I2изм.
11. Вычисляется уточненная длина волны при помощи следующего выражения:
После этого производится оценка погрешности измерения длины волны при помощи следующего выражения:
Последовательно проводя процедуры (8)-(11) при подключении плеч с отражателями 20 и 21 и варьируя соответствующие параметры, легко получить на последнем четвертом этапе при подключении плеча с отражателем 21 значение погрешности δλ изм_уm4=1 пм, что соответствует лучшим образцам серийно выпускаемых измерителей длины волны.
Рассчитаем выигрыш по динамическому диапазону по сравнению с аналогом. Рассмотрим случай, когда в аналоге используется четыре фотоприемных устройства и соответственно четыре положения отражателей (см. фиг.4). В таком случае выигрыш по энергетике разрабатываемого устройства перед аналогом будет представлять собой отношение общей площади пучка, который полностью используется в предлагаемой схеме, к площади четырех пучков диаметром d, используемых в аналоге. Численно выигрыш составит:
Это означает, что предлагаемое устройство способно измерять длину волны лазерного источника примерно в 1,5 раза меньшей мощности.
Рассчитаем выигрыш по скорости, получаемый благодаря применению другого способа обработки сигнала. Так как в аналоге используется непрерывная запись всей интерферограммы с ее разбивкой на равные участки, регистрация которых осуществляется одновременно, то время регистрации, ограниченное АЦП, будет составлять:
где Nизм - количество целых периодов в интерферограмме измеряемого лазера, необходимое для измерения длины волны с заданной точностью, КФПУ=4 - количество фотоприемников, ƒдиск_АЦП - частота дискретизации АЦП, m - количество точек на период интерферограммы, необходимое для идентификации периода (m>2 исходя из критерия Найквиста).
Применительно к предлагаемому устройству минимальное время регистрации составит:
где q - коэффициент, гарантирующий смещение интерференционной картины более чем на один период, i - число последовательных уточнений измеряемой длины волны (число подключаемых плеч), NS - выбранное число шагов, р - количество переключений в пределах одного цикла измерений, t пер - время переключения отражателей. В рассматриваемом случае примем q=0,75, i=4, NS=20, р=3. Напрямую сравнить предельно достижимое время не представляется возможным, так как в расчете времени измерения предлагаемого устройства присутствует еще и время переключения, однако можно осуществить сравнение исходя из технических характеристик, существующих на сегодняшний день устройств.
Пусть требуемое количество периодов Nизм=300000, m=3, ƒдиск_АЦП=500 МГц, t пер=200 нс [Boston Applies Technologies Inc. NanonaTM High Speed&Low Loss Optical Switch, http://www.bostonati.com/products/PI-FOS.pdf], тогда время измерения в рассматриваемом аналоге:
Время измерения в предлагаемом устройстве:
Таким образом, предлагаемый быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации обеспечивает увеличение скорости измерения длины волны лазерного излучения, а также увеличение динамического диапазона измеряемых сигналов.
Claims (5)
1. Быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации, выполненный по схеме интерферометра Майкельсона, содержит исследуемый лазерный источник, излучение которого разделяется светоделителем на два пучка, каждый из которых, отражаясь от соответствующих отражателей, один из которых выполнен с возможностью смещения вдоль оптической оси с помощью привода, снова проходит светоделитель и попадает на вход фотоприемного устройства, выход которого соединен со входом аналого-цифрового преобразователя, выход которого соединен со входом вычислительного устройства, которое выдает измеренную информацию на экран, отличающийся тем, что в схему интерферометра дополнительно введен калибровочный канал, содержащий эталонный лазерный источник, а также введены три дополнительных плеча разной длины и быстродействующий переключатель, позволяющий с высокой скоростью последовательно подключать к интерферометру соответствующее плечо.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что светоделитель выполнен с возможностью разделения мощности падающего излучения с соотношением 50%/50%.
3. Устройство по любому из пп.1 и 2, отличающееся тем, что в качестве эталонного лазерного источника используется стабилизированный по частоте гелий-неоновый лазер.
4. Устройство по любому из пп.1 и 2, отличающееся тем, что в качестве вычислительного устройства используется ЭВМ.
5. Устройство по любому из пп.1 и 2, отличающееся тем, что в качестве быстродействующего переключателя используется электрооптический переключатель.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009131082/28A RU2425338C2 (ru) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | Быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009131082/28A RU2425338C2 (ru) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | Быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009131082A RU2009131082A (ru) | 2011-02-27 |
| RU2425338C2 true RU2425338C2 (ru) | 2011-07-27 |
Family
ID=44753735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009131082/28A RU2425338C2 (ru) | 2009-08-17 | 2009-08-17 | Быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2425338C2 (ru) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1122088A1 (ru) * | 1983-06-24 | 1985-06-30 | Предприятие П/Я А-1742 | Устройство дл измерени длин волн лазеров |
| WO1989008825A1 (fr) * | 1988-03-11 | 1989-09-21 | Tabarelli, Werner | Agencement de determination de la longueur d'onde ou de l'indice de refraction |
| US5422721A (en) * | 1994-04-11 | 1995-06-06 | Northrop Grumman Corporation | Fourier transform spectroscopy by varying the path length difference between the paths in each of a plurality of pairs of optical paths |
| WO2002088629A1 (en) * | 2001-04-30 | 2002-11-07 | Chromaplex, Inc. | Phase-based wavelength measurement apparatus |
-
2009
- 2009-08-17 RU RU2009131082/28A patent/RU2425338C2/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1122088A1 (ru) * | 1983-06-24 | 1985-06-30 | Предприятие П/Я А-1742 | Устройство дл измерени длин волн лазеров |
| WO1989008825A1 (fr) * | 1988-03-11 | 1989-09-21 | Tabarelli, Werner | Agencement de determination de la longueur d'onde ou de l'indice de refraction |
| US5422721A (en) * | 1994-04-11 | 1995-06-06 | Northrop Grumman Corporation | Fourier transform spectroscopy by varying the path length difference between the paths in each of a plurality of pairs of optical paths |
| WO2002088629A1 (en) * | 2001-04-30 | 2002-11-07 | Chromaplex, Inc. | Phase-based wavelength measurement apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2009131082A (ru) | 2011-02-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10895477B2 (en) | Sine-cosine optical frequency encoder devices based on optical polarization properties | |
| CN110646805B (zh) | 一种基于虚拟扫频光源的调频连续波激光测距系统 | |
| US8842288B2 (en) | Phase shift interferometer | |
| CN101825432B (zh) | 双波长光纤干涉大量程高分辨率位移测量系统 | |
| KR101566383B1 (ko) | 기하학적 두께와 굴절률 측정을 위한 반사형 광섬유 간섭 장치 | |
| KR101544962B1 (ko) | 기하학적 두께와 굴절률 측정을 위한 투과형 광섬유 간섭 장치 | |
| EP2606311A1 (en) | Apparatus and method for measuring distance | |
| CN107144537B (zh) | 一种可见光傅里叶变换吸收光谱测量方法及系统 | |
| CN112082585B (zh) | 基于干涉光信号拼接的驱动电流调谐分布式测量方法、装置及系统 | |
| CN112444194A (zh) | 二自由度位移测量的法布里珀罗光栅干涉仪及其测量方法和六自由度干涉仪 | |
| CN112082584B (zh) | 基于激光器调谐控制的光纤分布式物理量测量方法、装置及系统 | |
| US6462823B1 (en) | Wavelength meter adapted for averaging multiple measurements | |
| CN112082586A (zh) | 基于分布式反馈激光器阵列的光纤光栅阵列传感方法、装置及系统 | |
| RU2425338C2 (ru) | Быстродействующий измеритель длины волны лазерного излучения для волоконно-оптических систем передачи информации | |
| CN112082581B (zh) | 基于分布式反馈激光器阵列的准分布式物理量测量方法、装置及系统 | |
| CN113670347B (zh) | 一种高分辨力准分布式物理量测量方法、装置及系统 | |
| Coggrave et al. | Single-shot wavelength meter on a chip based on exponentially increasing delays and in-phase quadrature detection | |
| CN113670350A (zh) | 高精度光频域反射方法、装置及系统 | |
| JP4329256B2 (ja) | 干渉型光ファイバセンサの調節方法 | |
| CN113670348B (zh) | 高精度光纤分布式物理量测量方法、装置和系统 | |
| SU789688A1 (ru) | Фурье-спектрометр с периодическим сканированием | |
| CN121207311A (zh) | 基于连续波激光的脉冲激光干涉等效波长校准装置及方法 | |
| CN112881797A (zh) | 基于全光纤光谱干涉的单次多路同步测量方法及装置 | |
| US20240183650A1 (en) | Optical measurement device | |
| JP2000234959A (ja) | 波長変化測定器及び波長可変光源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20130818 |














