SE510049C2 - Anordning för att ansluta minst en vågledare till en optisk sändare eller mottagare - Google Patents

Anordning för att ansluta minst en vågledare till en optisk sändare eller mottagare

Info

Publication number
SE510049C2
SE510049C2 SE9601137A SE9601137A SE510049C2 SE 510049 C2 SE510049 C2 SE 510049C2 SE 9601137 A SE9601137 A SE 9601137A SE 9601137 A SE9601137 A SE 9601137A SE 510049 C2 SE510049 C2 SE 510049C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
waveguide
grooves
silicon chip
receiver
optofiber
Prior art date
Application number
SE9601137A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9601137D0 (sv
SE9601137L (sv
Inventor
Haakan Elderstig
Olle Larsson
Goeran Palmskog
Ove Oehman
Original Assignee
Ericsson Telefon Ab L M
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ericsson Telefon Ab L M filed Critical Ericsson Telefon Ab L M
Priority to SE9601137A priority Critical patent/SE510049C2/sv
Publication of SE9601137D0 publication Critical patent/SE9601137D0/sv
Priority to AU21869/97A priority patent/AU2186997A/en
Priority to HK99104474.9A priority patent/HK1019484B/xx
Priority to KR1019980707536A priority patent/KR20000004946A/ko
Priority to CA002250247A priority patent/CA2250247A1/en
Priority to KR10-1998-0707067A priority patent/KR100441613B1/ko
Priority to CN97193364A priority patent/CN1103931C/zh
Priority to JP09534315A priority patent/JP2000507367A/ja
Priority to PCT/SE1997/000477 priority patent/WO1997036201A1/en
Priority to EP97914733A priority patent/EP0890125A1/en
Priority to US08/823,388 priority patent/US5984534A/en
Priority to TW086113825A priority patent/TW396644B/zh
Publication of SE9601137L publication Critical patent/SE9601137L/sv
Publication of SE510049C2 publication Critical patent/SE510049C2/sv

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
    • G02B6/3696—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier by moulding, e.g. injection moulding, casting, embossing, stamping, stenciling, printing, or with metallic mould insert manufacturing using LIGA or MIGA techniques
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/424—Mounting of the optical light guide
    • G02B6/4243—Mounting of the optical light guide into a groove
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4246—Bidirectionally operating package structures
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3632—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means
    • G02B6/3636—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the cross-sectional shape of the mechanical coupling means the mechanical coupling means being grooves
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3648—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures
    • G02B6/3652—Supporting carriers of a microbench type, i.e. with micromachined additional mechanical structures the additional structures being prepositioning mounting areas, allowing only movement in one dimension, e.g. grooves, trenches or vias in the microbench surface, i.e. self aligning supporting carriers
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/36—Mechanical coupling means
    • G02B6/3628—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers
    • G02B6/3684—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier
    • G02B6/3692—Mechanical coupling means for mounting fibres to supporting carriers characterised by the manufacturing process of surface profiling of the supporting carrier with surface micromachining involving etching, e.g. wet or dry etching steps
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/4238—Soldering
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219—Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236—Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/4239—Adhesive bonding; Encapsulation with polymer material
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/01—Manufacture or treatment
    • H10W72/012—Manufacture or treatment of bump connectors, dummy bumps or thermal bumps

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)

Description

510 049 2 vågledaranslutningar. Med utgångspunkt från en kiselplatta i vilken har etsats spår, vilkas tvärsnittsform har dimensionerats för i spåren ilagda vågledare såsom optofibrer, tillverkas först en avbildning av kiselplattan exempelvis genom att en avbildning görs med nickelplåtering av kiselplattan. Avbildningen får sedan tjäna som modell för framställning av en plastkopia av kiselplattan. Med denna tillverkningsteknik kan fås mycket stor noggrannhet hos spåren och för däri sedan ilagda vågledare såsom optofibrer. Vidare kan ges stor frihet i utformningen av spåren med denna teknik, vilket innebär att även avgrenade spår kan göras för avdelade fibrer. Vågledaranslutningen kan sedan med en vågledare såsom en optofiber tillsammans med en sändare eller mottagare användas för ljusöverföring. . 1 1 .V . förenklat i ett sidan en Figur 1 visar tvärsnitt från vågledaranslutning enligt uppfinningen med en optofiber.
Figur 2 visar från ovan hur spår och optofibrer kan vara anordnade i en vågledaranslutning enligt uppfinningen.
Figur 3 A och B visar förenklat tvärsnitt av ett kopplingsdon för vågledaranslutningar med lock enligt uppfinningen med olika spårform.
Figur 4 visar ett förgreningsmönster för en vågledaranslutning enligt uppfinningen.
Detalierad beskrivning av utföringsexempel För att åskådliggöra uppfinningens speciella särdrag beskrives först hur en fiberoptisk mottagarmodul enligt uppfinningen kan tillverkas, där själva bäraren kan tillverkas av plast med hög 10 15 20 25 30 w UW ...x CD CÖ .VX \O precision med en upplinjeringsstruktur för exempelvis MM/SM- skarvning av optofibrer. Med hjälp av replikering kan làgkostnadsoptiska komponenter tillverkas av plastmaterial.
Nästan alla former som är tekniskt möjliga att tillverka på kisel kan replikeras till plast. Eftersom replikering i sig ej är ett kostsamt förfarande finns det ett ekonomiskt utrymme för att använda en avancerad tillverknings-, process- och testutrustning vid tillverkning av verktyg, exempelvis mikromekanik i kisel, gnistbearbetning, LIGA-teknik, elektronstràle-litografi m.m.
Replikerade komponenter i polymera material kan här användas som bärare för halvledarkomponenter såsom detektorer och för positionering av optiska fibrer. Replikering i polymera material är en lágkostnadsteknik, som kan få stor betydelse vid byggsätt och kapsling med inriktning pà, exempelvis "Data Comm".
Till skillnad fràn kisel har plast goda dielektriska egenskaper.
Plasten kan vara transparent, vilket kan vara fördelaktigt vid integrerat optiska tillämpningar. En användning av plast är ej så dyrbar i jämförelse med en kiselanvändning. Med replikering av ovannämnda komponenter kan även goda optiska, elektriska och mekaniska egenskaper kombineras.
Med replikerade polymera substrat 1 kan byggas fiberoptiska sändar/mottagarmoduler med en upplinjeringsstruktur som fiberlinjeringsspàr 2, optofibrer 3 och halvledarkomponenter 4 såsom PIN-dioder, LED, lasrar, VCSEL, förstärkare, drivelektronik, IC-kretsar, minnen rnnn, se figz l och 2. Det polymera substratet kan vara anordnat som ett optiskt bakplan innehållande interna och externa fiberförbindningar. Substratet 10 lS 20 25 30 510 049 kan även vara försett med en deponerad oxid, skydda nitrid eller annat lämpligt material för att plasten från kemika1ier_ Substratet kan även vara försett med elektriska ledare 5, vilka kan vara av mönstrad metall exempelvis för vidare anslntning av chip. Optofibrerna 3' för ljusöverföring mellan olika anslutningar kan limmas fast liksom komponenterna med exempelvis elektriskt ledande lim 6 pà substratet 1. För förbindning kan komponenterna även lödas fast exempelvis med eutektiskt Pb/Sn.
Med en spegel 7 i slutet av ett fiberlinjeringsspår 8, som har erhållits genom exempelvis metallisering av substratytan 1, kan ljus speglas upp mot en detektoryta 8 eller omvänt från en ytemitterande komponent in i fibern. Den ovannämnda spegeln 7 kan företrädesvis ha en 4S° lutning mot ytan i substratet.
Vidare kan sändar- och mottagarkomponenter vara anordnade i arrayer såsom i en rad om exempelvis åtta på en och samma enhet.
För att förhindra påverkan mellan fibrer i fiberlinjeringsspåren anordnas spåren på lämpligt avstånd exempelvis väljes en pitch på 0,250 mm.
De aktiva komponterna kan som skarv/kopplingsdon skyddas av en polymer, en silikonelastomer eller skyddas av ett pålimmat eller fastsvetsat lock 9 med plats för eller hàlrum för komponenterna.
Locket till ett kopplingsdon såsom visat i tvärsnitt i figurerna 3A och B kan utöver skyddsfunktionen även fixera och hålla fast fibrerna 3 pà substratet 1. För kylning av varma elektronikchip kan substratet 1 innehålla minst en kanal 10 för cirkulerande kylvätska. Substratet kan även förses med ett urtag eller ett hål 11, vilket fylls med pläterad metall för förbättrad kylning.
För anslutning till ett MT-don kan substratet ha hål 12 för styrpinnar. 10 15 20 25 30 510 049 Locket 9 till vágledaranslutningen kan fästas till substratet 1 med ultraljudsvetsning 13 eller limmas fast före eller efter det att optofibrerna förts in och inriktats. Vid limning bör limmet ha ett brytningsindex som passar övrig utrustning.
Vid tillverkning av en vágledaranslutning med masker etsas först en upplinjeringsstruktur med V-spår i en kiselskiva exempelvis genom vàtetsning i 70° KOH, där V-spàrens geometri har dimensionerats för att passa en däri ilagd vágledare såsom en optofiber. En kopia av den strukturerade kiselskivan skapas genom elektroplätering exempelvis av nickel, varvid den bildade nickelrepliken sedan används som formrum vid den efterföljande och varmpräglingen av ett plastmaterial (PMMA). formsprutningen exempelvis polykarbonat (PC) eller polymetylmetakrylat Det därvid àstadkomna varmpräglade substratet kommer att ha samma form som den ursprungliga kiselskivan.
Polykarbonatsubstrat med en diameter på 80 mm har kunnat replikeras från kiseletsade mikrostrukturer med god avbildning och med cykeltider pà mindre an 20 sekunder.
Genom sputtring av 500 Å Tiw och 2000 Å Au metalliseras sedan ytan på. polykarbonatet, varvid unetallen kan fungera både som elektrisk ledare, kylare och som spegel. Genom att såga ett grunt spår i polykarbonatet/chipset kan två separata kontakter per "chip" skapas.
Optiska multimodfibrer 3 av kvarts limmas sedan fast 6 i de i det s.k. chipet bildade V-spåren 2, så att deras ändarligger framför den lutande spegeln, vilken kan i sig reflektera ljus från fibern upp mot en komponentyta. 10 15 20 25 30 510 049 Alternativt skulle mikrobearbetade kiselsubstrat kunna användas som insatser direkt i en formspruta, vilket innebär fördelaktigt en kort tillverkningskedja. Nackdelarna är dock bl.a. problem med spruckna kiselformrum och att tillverkningsprocessen oftast kan ha varit svår att trimma in med ofullständig avbildning som resultat. Den största nackdelen är dock att kiselstrukturen för att fungera som formrum måste bestå av negativet till det som skall formsprutas, vilket innebär processtekniska svårigheter och/eller konstruktionsmässiga begränsningar.
Förfarandet att tillverka vågledaranslutningar enligt upp- finningen har vissa likheter med Compact Disc/CD-tillverkning, vid vilken en skiva kan formsprutas på mindre än 5 sekunder och kan innehålla information i form av små gropar med dimensioner under en mikrometer. Djupa v-spår har vid tidigare försök kunnat spräcka kiselskivor med en standardtjocklek på 500 um.
Ytterligare en modifiering skulle kunna vara att skärma av det litografiska mönstret i en kiselskivas periferi. I annat fall skulle plasten kunna skapas höga punktbelastningar, när extruderas ut i formrummet i mikrostrukturen. Vid formsprutning av polymera substrat med kiselskivor som formrum kan däremot formsprutor användas av konventionell typ eller kan användas formsprutor avsedda för CD-tillverkning.
Alternativt skulle istället för att optofibrer, grenade som ogrenade, iläggs i spåren i substratet ett lämpligt plastmaterial 17 kunna placeras mellan substratet 1 och locket 9 efter skulle såsom visas i figur 3B, vilket plastmaterial sammanpressning av locket mot substratet väsentligen vilka spår kan ha v-form eller del fylla ut spåren i substratet, annan godtycklig form. Vid pressförfarandet kan en 10 *fördelade plasten eller den avgrenade optofibern 16 kan 7 A 5101049 ljusledande plast även hamna mellan substratets och lockets plana ytor, men om den största delen av det ljusledande plastmaterialet 17 kommer att hamna i vågledarspàren säkerställs en fungerande ljusledarfunktion.
I Figur 4 visas en del av ett substrat 1 med ett spår 2, som har avgrenats till två spår 14 och 15, vilket skulle kunna vara tillämpligt i vissa fall, varvid de olika delarna av den vara anordnade att via en spegel överföra ljusenergi till eller från mottagare eller sändare.

Claims (1)

1. 0 15 20 510 049 S PATENTKRAV Anordning för att ansluta minst en vàgledare till en optisk sändare eller mottagare innefattande en upplinjeringsstruktur av replikerad plast med minst ett spår för en vàgledare och/eller minst ett mönster av spår för en avgrenad vàgledare, där upplinjeringsstrukturen kan vara försedd med medel för överföring av ljus från den optiska sändaren till vågledaren eller från vågledaren till den optiska mottagaren och vara anordnad att uppbära den optiska sändaren/mottagaren exempelvis med ett lock eller liknande, där locket kan skydda, fixera och fasthàlla vågledaren i upplinjeringsstrukturen och uppbära den optiska sändaren/mottagaren, kännetecknad av att minst ett medel för kylning är anordnat i upplinjeringsstrukturen (1). Anordning enligt patentkrav l, kännetecknad av att medlet för kylning är en kanal (10) för en cirkulerande kylvätska. Anordning enligt patentkrav l, kännetecknad av att medlet för kylning är ett urtag eller ett hål (ll) fyllt med metall.
SE9601137A 1996-03-25 1996-03-25 Anordning för att ansluta minst en vågledare till en optisk sändare eller mottagare SE510049C2 (sv)

Priority Applications (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9601137A SE510049C2 (sv) 1996-03-25 1996-03-25 Anordning för att ansluta minst en vågledare till en optisk sändare eller mottagare
EP97914733A EP0890125A1 (en) 1996-03-25 1997-03-20 A method and device for waveguide connection
CN97193364A CN1103931C (zh) 1996-03-25 1997-03-20 用于波导连接的装置
HK99104474.9A HK1019484B (en) 1996-03-25 1997-03-20 A device for waveguide connection
KR1019980707536A KR20000004946A (ko) 1996-03-25 1997-03-20 도파관 연결을 위한 방법 및 장치
CA002250247A CA2250247A1 (en) 1996-03-25 1997-03-20 A method and device for waveguide connection
KR10-1998-0707067A KR100441613B1 (ko) 1996-03-25 1997-03-20 도파관접속용장치
AU21869/97A AU2186997A (en) 1996-03-25 1997-03-20 A method and device for waveguide connection
JP09534315A JP2000507367A (ja) 1996-03-25 1997-03-20 導波管接続のための方法および装置
PCT/SE1997/000477 WO1997036201A1 (en) 1996-03-25 1997-03-20 A method and device for waveguide connection
US08/823,388 US5984534A (en) 1996-03-25 1997-03-24 Method and device for waveguide connection
TW086113825A TW396644B (en) 1996-03-25 1997-09-23 A method and device for waveguide connection

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9601137A SE510049C2 (sv) 1996-03-25 1996-03-25 Anordning för att ansluta minst en vågledare till en optisk sändare eller mottagare

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9601137D0 SE9601137D0 (sv) 1996-03-25
SE9601137L SE9601137L (sv) 1997-09-26
SE510049C2 true SE510049C2 (sv) 1999-04-12

Family

ID=20401933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9601137A SE510049C2 (sv) 1996-03-25 1996-03-25 Anordning för att ansluta minst en vågledare till en optisk sändare eller mottagare

Country Status (10)

Country Link
US (1) US5984534A (sv)
EP (1) EP0890125A1 (sv)
JP (1) JP2000507367A (sv)
KR (2) KR100441613B1 (sv)
CN (1) CN1103931C (sv)
AU (1) AU2186997A (sv)
CA (1) CA2250247A1 (sv)
SE (1) SE510049C2 (sv)
TW (1) TW396644B (sv)
WO (1) WO1997036201A1 (sv)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19748989A1 (de) * 1997-11-06 1999-07-15 Daimler Chrysler Ag Optisches Sende/Empfangsmodul
SE522114C2 (sv) * 1998-08-18 2004-01-13 Ericsson Telefon Ab L M Metalliska byggelement för optoelektronik
US6498880B1 (en) * 1999-03-31 2002-12-24 Picolight Incorporated Fiber optic ferrule
US6394024B1 (en) 1999-12-22 2002-05-28 Eastman Kodak Company Coating apparatus for photosensitive media
DE10004411A1 (de) * 2000-02-02 2001-08-16 Infineon Technologies Ag Elektrooptisches Sende-/Empfangsmodul und Verfahren zu seiner Herstellung
SE519713C2 (sv) * 2000-05-23 2003-04-01 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande och anordning för passiv upplinjering
US6798968B2 (en) 2000-09-21 2004-09-28 Shipley Company, L.L.C. Fiber array with support post
TW449797B (en) * 2000-09-22 2001-08-11 Ind Tech Res Inst Integrated surface-emitting type electro-optical module and the fabrication method thereof
US6464407B1 (en) 2000-10-13 2002-10-15 Berg Technology, Inc. Optical connector having a ferrule with alignment and sealing features
US6819858B2 (en) 2000-10-26 2004-11-16 Shipley Company, L.L.C. Fiber array with V-groove chip and mount
SE0004114L (sv) * 2000-11-10 2002-05-11 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande om anordning för passiv upplinjering
US6875379B2 (en) * 2000-12-29 2005-04-05 Amkor Technology, Inc. Tool and method for forming an integrated optical circuit
SE0202092D0 (sv) * 2002-07-04 2002-07-04 Aamic Ab Mulitayer microstructural device
GB0511300D0 (en) * 2005-06-03 2005-07-13 Ct For Integrated Photonics Th Control of vertical axis for passive alignment of optical components with wave guides
GB2478912A (en) * 2010-03-22 2011-09-28 Colorchip Optical coupler with reflective surface and cover plate
CN103376516B (zh) * 2012-04-27 2016-07-06 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 光纤传输模组
US8798410B2 (en) * 2012-06-12 2014-08-05 Laxense Inc. Optical system with integrated photodetector using a self-aligned double U-groove structure
CN103852822B (zh) * 2012-12-04 2016-04-13 上海华虹宏力半导体制造有限公司 光纤对准基座阵列的制造方法
US10048455B2 (en) * 2016-01-18 2018-08-14 Cisco Technology, Inc. Passive fiber array connector alignment to photonic chip
US10656339B2 (en) 2018-03-14 2020-05-19 Cisco Technology, Inc. Fiber to chip alignment using passive vgroove structures

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4611884A (en) * 1982-11-24 1986-09-16 Magnetic Controls Company Bi-directional optical fiber coupler
US4774630A (en) * 1985-09-30 1988-09-27 Microelectronics Center Of North Carolina Apparatus for mounting a semiconductor chip and making electrical connections thereto
US4897711A (en) * 1988-03-03 1990-01-30 American Telephone And Telegraph Company Subassembly for optoelectronic devices
DE4212208A1 (de) * 1992-04-10 1993-10-14 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Herstellung optischer Polymerbauelemente mit integrierter Faser-Chip-Kopplung in Abformtechnik
US5255015A (en) * 1992-06-03 1993-10-19 Eastman Kodak Company Athermally compensated optical head for a laser scanner
DE4317953A1 (de) * 1993-05-28 1994-12-01 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung von Führungselementen für Lichtwellenleiter
US5555333A (en) * 1993-07-12 1996-09-10 Ricoh Company, Ltd. Optical module and a fabrication process thereof
JP3592406B2 (ja) * 1995-07-10 2004-11-24 富士通株式会社 光モジュール及び光モジュールの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
SE9601137D0 (sv) 1996-03-25
WO1997036201A1 (en) 1997-10-02
KR20000004946A (ko) 2000-01-25
KR19990087618A (ko) 1999-12-27
US5984534A (en) 1999-11-16
TW396644B (en) 2000-07-01
KR100441613B1 (ko) 2004-10-26
CN1103931C (zh) 2003-03-26
CA2250247A1 (en) 1997-10-02
SE9601137L (sv) 1997-09-26
AU2186997A (en) 1997-10-17
CN1214774A (zh) 1999-04-21
JP2000507367A (ja) 2000-06-13
EP0890125A1 (en) 1999-01-13
HK1019484A1 (en) 2000-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5984534A (en) Method and device for waveguide connection
US6227722B1 (en) Component module
CN100410710C (zh) 光模块及其制造方法、光通信装置、集成电路、电路板、电子设备
US5940562A (en) Stubless optoelectronic device receptacle
US5475775A (en) Method for producing a hybrid integrated optical circuit and device for emitting light waves
US5768456A (en) Optoelectronic package including photonic device mounted in flexible substrate
US7898736B2 (en) Hybrid optical/electronic structures fabricated by a common molding process
CN104508528B (zh) 光纤托架、光纤光学模块以及处理光纤的方法
US20140369651A1 (en) Integrated optical cooling core for optoelectronic interconnect modules
EP2581776A1 (en) Optical connector with alignment element, optical unit and assembly method
JP2001507814A (ja) フレキシブル光コネクタアセンブリ
JP6090127B2 (ja) 光通信デバイス、送信装置、受信装置及び送受信システム
CN100529812C (zh) 具有光电器件对准的光学组件
JP2025524601A (ja) 一体型光結合および取外し可能な機械的結合のための特徴部を有する基台を用いた光コネクタの取外し可能な接続
US6758606B1 (en) Modular optoelectronic connector
JP5328532B2 (ja) 光コネクタ
US5500914A (en) Optical interconnect unit and method or making
US20130071064A1 (en) Device for converting signal
JP4170920B2 (ja) 光学部品の製造方法および光インターコネクションシステムおよび光配線モジュール
JP2006023777A (ja) 光モジュール、光通信装置、光電気混載集積回路、回路基板、電子機器
JP2022163007A (ja) 光学素子を取り付けるためのキャリア及び関連する製造工程
US7197202B2 (en) Optical printed circuit board for long-distance signal transmission
HK1019484B (en) A device for waveguide connection
EP4575598A1 (en) An assembly for integrating a micro-optical device
Hiramatsu et al. Optical path redirected multichannel waveguide connectors for surface mount technologies

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed