SE526036C2 - Sensorchip för en styrtrådsanordning och sensorstyrtrådsanordning för intravaskulära mätningar samt metod för tillverkning av ett kiselsensorchip för en sådan anordning - Google Patents

Description

25 30 ff\ff vi-. .uu 2 av styrtråden att en påverkan sker på sensorelementet, som därigenom böjs el- ler sträcks (eller kontraheras). Inbuktningen av sensorelementet överförs till en deformation av den tryckkänsliga anordningen; och, enligt välkända principer, utsignalen från Wheatstone-bryggan kommer därigenom att påverkas av böj- ningen av styrtråden.

Enligt US 6,112,598 och 6, l67,763, är en lösning på detta problem att montera sensorelementet på ett utskjutande stöd så att den tryckkänslíga änden av sen- sorelementet inte står i kontakt med någon annan struktur än dess stöd. Dessa två patent visar åtskilliga utföringsforiner med olika sätt att montera sensorele- mentet för att böjningskrafterna inte skall påverka den tryckkänsliga änden av sensorelementet. Ett gemensamt särdrag för dessa utföringsfonner är att ett långsträckt, väsentligen rektangulärt sensorchip är monterat i ett urtag av kärntråden på ett sådant sätt att den proximala änden på chipet är fastsatt vid kârnträden, emedan den distala änden av sensorchipet sticker in i urtaget så att spelrum åstadkommes under den distala delen av chipet där den tryckkäns- liga känsliga anordningen (t. ex. ett membran) är anordnat.

Trots att en sensor- och styrtrådsanordning försedd med ett sensorchip utfor- mat och monterat enligt de som anges i US 6,112,598 och 6, 167 ,7 63 i praktiken har visat sig fungera bra, kan utformningen av en sensor- och styrtrådsanord- ning förbättras, inte minst med avseende på tillverkningen.

Sammanfattning av uppfinningen Såsom nämnts ovan omfattar sensorelementet enligt den kända tekniken ett långsträckt, väsentligen rektangulärt chip med ett membran tillverkat av polyki- sel anordnat därpå. För att åstadkomma det önskade motståndet mot böjnings- artefakter, kan detta chip monteras på olika sätt, där det gemensamma särdra- get är att monteringsarrangemanget - snarare än formen på chipet självt - åstadkommer det önskade motståndet mot böjningsartefakter. 10 15 20 25 30 F' fx f (N " f Ett syfte med föreliggande uppfinning är att åstadkomma en ny och förbättrad utformning av ett sensorchip så att, när sensorchipet är monterat på en sensor- styrtrådsanordning, sensor- och styrtrådsanordningen kommer att ha samma eller bättre kännetecken med avseende på motstånd mot böjningsartefakter.

Samtidigt skall sensor- och styrtrådsanordningen vara lättare och därigenom billigare att tillverka.

Dessa syften åstadkommes med ett sensorchip och en sensor- och styrtrådsan- ordning enligt föreliggande uppfinning.

Enligt uppfmningen omfattar en sensor- och styrtrådsanordning ett sensorele- ment i formen av ett generellt och rektangulärt och ganska tunt sensorchip med en tryckkänslig anordning anordnad på detta. Den tryckkänsliga anordningen kan vara i form av ett membran, som täcker ett litet urtag på den övre sidan av en första ände av sensorchipet och som har piezoresistiva element monterade därpå. Vid dess andra och motsatta ände, är sensorchipet försett med en mon- teringsbas som sträcker sig nedåt. Monteringsbasen är ägnat att vara monterad på ytan av en kärntråd, som utgör en del av en sensor- och styrtrådsanordning, så att den första änden av sensorchipet är monterat som ett utskjutande stöd, med ett spelrum anordnat under den första änden av sensorchipet där den tryckkänsliga anordningen är anordnad.

Enligt en utföringsfonn av sensorchipet enligt föreliggande uppfmning år monte- ringsbasen försedd med en integrerad del av sensorchipet, dvs. sensorchipet är tillverkat i ett stycke, emedan andra utföringsformer använder ett sensorchip som omfattar en separat monteringsbas som är fastsatt vid den annars tunna och platta strukturen av sensorchipet.

Ett annat syfte med föreliggande uppfinning år att åstadkomma en metod för tillverkning av ett sensorchip enligt föreliggande uppfinning. I en första tillverk- ningsprocess tillverkas sensorchipet från en bit kisel som etsas till att få den önskade formen, innefattande monteringsbasen. Enligt ett annat tillverknings- 10 15 20 25 30 r-n I pr? n; eL.. »J kl '-1 >-) 4 sätt tillverkas sensorchipet genom att förbinda en monteringsbas, som är till- verkad av kisel, med en kiselplatta.

Kort beskrivning av ritningarna Fig. 1 illustrerar schematiskt den allmänna utformningen av en sensor- och styrträdsanordning enligt den kända tekniken.

Fig. 2 illustrerar ett exempel pä ett montexingsarrangemang för sensorelementet i sensor- och styrtrådsanordningen visad i figur 1.

Fig. 3a illustrerar en del av en första sensorstyrtràdsanordning omfattande ett sensorchip enligt föreliggande uppfinning.

Fig. 3b visar ett tvärsnitt av sensor- och styrtrådsanordningen enligt figur 3a.

Fig. 4a illustrerar en del av den andra sensorstyrträdsanordningen omfattande ett sensorchip enligt föreliggande uppfinning.

Fig. 4b visar ett tvärsnitt av sensor- och styrträdsanordningen i figur 4a.

Fig. 5a illustrerar en del av en tredje sensor- och styrtrådsanordning omfattande ett sensorchip enligt föreliggande uppfinning.

Fig. 5b visar ett tvärsnitt av sensor- och styrtrådsanordningen i figur 5a.

Fig. 5c är en planvy av sensorchipet i figur 5a.

Detaljerad beskrivning av uppfinningen För att bättre förstå. sammanhanget där ett sensorchip enligt föreliggande upp- ñnning kommer att användas illustreras en sensor- och styrtrådsanordning 1 av konventionellt slag i figur 1. Sensorguiden 1 omfattar en ihålig tub 2, en kärn- 10 15 20 25 30 tråd 3, en första spirallindning 4, en andra spirallindning 5, en mantel eller höl- je 6, en kupolformad spets 7, ett sensorelement eller chip 8 och en eller flera elektriska ledningar 9. Den proximala änden av den första spirallindningen 4 är fastsatt i den distala änden av den ihåliga tuben 2, medan den distala änden av den första spirallindningen 4 är fastsatt vid den proximala änden av manteln 6.

Den proximala änden av den andra spirallindningen 5 år kopplad till den distala änden av manteln 6 och den kupolformade spetsen 7 är fastsatt vid den distala änden av den andra spirallindningen 5. Kärntråden 3 är åtminstone delvis an- ordnad inuti den ihåliga tuben 2 så att den distala delen av kärntråden 3 stick- er ut från den ihåliga tuben 2 och in i den andra spirallindningen 5. Sensorele- mentet 8 är monterat på kämtråden 3 vid manteln 6 och âr via de elektriska ledningarna 9 kopplat till en elektronikenhet (inte visad i figuren). Sensorele- mentet 8 omfattar en tryckkänslig anordning i form av ett membran 10 (inte synligt i figuren), som via en öppning 1 1 i manteln 6 står i kontakt med ett me- dium, såsom blod, som omger den distala delen av sensorguiden l.

Sensorelementet 8 omfattar vidare en elektrisk krets (inte visad i figuren) som i ett arrangemang av Wheatstone-brygge-typ är kopplade till en eller flera piezo- resistiva element anordnad på membranet 10. Såsom är välkänt inom teknik- området kommer ett visst tryck utövat på membranet 10 från det omkringva- rande mediet att motsvara en viss sträckning av membranet 10 och därigenom en viss resistans för de piezoresistiva elementen monterade på och, i sin tur en viss utsignal från sensorelementet 8. Det skall därför vara helt klart att det är högst önskvärt att denna utsignal från sensorelementet 8 inte förändras p.g.a. faktorer som inte är relaterade till verkliga förändringar i de fysikaliska egen- skaperna för det omkringvarande mediet. Såsom nämnts ovan är en sådan fak- tor så kallade böjningsartefakter vars ursprung är att en böjning av sensorgui- den l överförs till en deformation av membranet 10. Här skall ovan diskussion om piezoresistiva element kopplade i ett arrangemang enligt Wheatstone-brygge- typ endast ses som ett illustrativt exempel; i korthet år det grundläggande pro- blemet att en tryckkänslig anordning, såsom ett membran, kan påverkas av en böjning av en sensorguide. 10 15 20 25 30 i* m /_ n "f" -'_ 1.' ' L, sJ 6 För att förhindra det potentiellt negativa effekterna av böjningsartefakter har många olika sätt att montera ett sensorelement visats i US 6,1 12,598 och 6, 167,763, och i figur 2 visas ett av dessa monteringsarrangemang. Figur 2 illu- strerar hur sensorchipet 8, vars distala del år försedd med membranet 10, år monterat på kårntråden 3. Kårntråden år försedd med ett urtag 12 som består av två delar, en första del med syfte att utgöra en monteringshylla 13 för att mottaga den proximala delen av chipet 8 och en andra del 14, som är djupare än den första delen för att medge att den distala delen av sensorehipet 8 kan svänga fritt. Sensorchipet 8 år därigenom monterat med ett spelrum, utan att den tryckkånsliga distala änden av sensorehipet 8 står i kontakt med någon stel struktur. Enligt denna kända utformning av en sensorguíde år sensorelementet 8 anordnat inuti manteln 6 och år via elektriska ledningar i kontakt med en elektronikenhet (inte visad i figuren).

För monteringsarrangemanget visat i figur 2, såvål som för de andra monte- ringsarrangemangen enligt den kända tekniken, år det monteringsarrange- manget, innefattande utformningen av kärntråden, som åstadkommer det öns- kade motståndet mot böjningsartefakter, emedan sensorehipet självt i alla fall har samma generellt rektangulära och platta form. I motsats till detta visas i figur 3a en del av en sensor- och styrtrådsanordning 21 omfattande en kärntråd 22 och ett sensorchip 23 enligt föreliggande uppfinning. Sensorchipet 23 omfat- tar väsentligen två delar, en monteringsbas 24 och en tryckkånslig del 25, på den övre sidan av den tryckkånsliga delen 25 år en tryckkånslig anordning i formen av ett membran 26 anordnad. Som ett alternativ kan den tryckkånsliga anordningen vara anordnad på undersidan av den tryckkånsliga delen 25. I ut- föringsformen visad i figur 3a är kårntråden 22 försedd med ett urtag i vilket sensorehipet 23 år monterat så att en spelrum 27 bildas mellan kårntråden 22 och den tryckkânsliga delen 25 av sensorehipet 23. Urtaget i kåmtråden 22 kan åstadkommas genom slipning, gnistskäming eller genom laserbearbetning, vilka alla metoder år välkända för fackmannen inom teknikområdet.

Figur 3b visar ett tvärsnitt av sensor- och styrtrådsanordningen 21 i figur 3a.

Såsom framgår av figur 3b, har styrtråden 22, vid urtaget, en platt övre yta, som 10 15 20 25 30 f' fw I p "I “ x, t... el' x; n; -J 7 åstadkommer en förhållandevis stor fastsåttriingsyta för den platta undersidan av monteringsbasen 24. Monteringsbasen kan fastsättas vid kärntråden 22 med hjälp med limning. Sensorelementet 23 år anordnat inuti en mantel eller hölje 28, och är via åtminstone en elektrisk ledning 29 i kontakt med en elektronik- enhet (inte visad i figurerna).

I figur 4a visas ett annat sätt att montera ett sensorchip 33 enligt föreliggande uppfinning. Sensorchipet 33 monteras på en kärntråd 32 och utgör del av en sensor- och styrtrådsanordning 31. Precis som utföringsformen visad i figur 3a omfattar sensorchipet 33 i ñgur 4a väsentligen två delar, en monteringsbas 34 och en tryckkânslig ånddel 35, på vilken en tryckkänslig anordning i formen av ett membran 36 är anordnad. Sensorguiden 31 i figur 4a skiljer sig emellertid från sensorguiden 2 1 i figur 3a genom att kärntråden 32 enligt figur 4a saknar ett urtag. Såsom framgår av ñgur 4b har kårntråden 32 istället ett cirkulärt tvärsnitt, och monteringsbasen 34 för sensorchipet 33 är monterat på den cir- kulära yttre ytan av kämtråden 32, så att ett spelrum 37 bildas mellan käm- tråden 32 och den tryckkänsliga delen 35 av sensorchipet 33. Dessutom visar figur 4b att undersidan av monteringsbasen 34 har givits en halvcirkulär form, vars kurvform överensstämmer med formen på kårntråden 32. Uppenbarligen åstadkommes, genom att förse monteringsbasen 34 med en sådan halvcirkulär form, en tillförlitlig montering av sensorchipet 33 vid kårntråden 32. Det skall emellertid noteras att styrkan av monteringen beror på dimensionema på käm- tråden och sensorchipet såväl som typen av montering, t. ex. typen av lim, och det kan faktiskt vara så att en tillförlitlig fastsättriing av ett sensorchip vid en cirkulär kärntråd kan åstadkommas också för ett sensorchip vars monterings- bas har en platt undersida. Sensorelementet 33 är också i detta fall anordnat inuti en mantel eller hölje 38, och via åtminstone en elektrisk ledning 39 i kon- takt med en elektronikenhet (inte visad i figurema).

Såsom nämnts ett antal gånger tidigare skiljer sig ett sensorchip enligt förelig- gande uppfinning från sensorchipen enligt den kända tekniken genom att chipet enligt föreliggande uppfinning är försett med en extra struktur i formen av en monteringsbas, medan sensorchipen enligt den kända tekniken har en generellt 10 15 20 25 30 platt rektangulär form. Denna extra struktur kan emellertid utsträckas till att innefatta mera bearbetade konstruktioner, och i figurerna 5a till 5c illustreras ett exempel på en sådan utformning. Hår år ett sensorchip S3 monterat på en kårntråd 42 som utgör en del av en sensor och styrtrådsanordning 41. Precis som för utföringsformerna visade i figurema 3a till 3b respektive figurema 4a till 4b omfattar sensorchípet 43 en monteringsbas 44 och en tryckkånslig änd- del 45 på vilken en tryckkånslig anordning i formen av ett membran 46 år an- ordnat. Ett spelrum 47 har bildats under den tryckkånslíga änddelen 45. Enligt denna utföringsform är sensorchípet 43 vidare försedd med en skyddande struktur 50 i form av två extra element 50. Vardera av dessa två extra element 50 har en generellt platt rektangulär form och år anordnade vid en respektive längsgående kant av sensorchípet 43. Såsom bäst framgår från figur 5b antar därigenom tvärsnittet av sensorchípet 43 formen av bokstaven H, där de extra elementen 50 utgör sidoväggama av H:et. Vidare visar figur 5c som år planvy av sensorchípet 43 att vid den tryckkånslíga änddelen 45 år ett smalt längsgående gap anordnat mellan en längsgående kant av sensorchípet 43 och en närbelägen sidovågg 50. Också enligt denna utföringsfonn av föreliggande uppfinningen år sensorchípet 43 därigenom monterat på ett utskjutande stöd. De extra elemen- ten eller sidoväggarria 50 på sensorchípet 43 kan företrädesvis sträcka sig bor- tom den tryckkånslíga änddelen 45 på sensorchípet 43. Ändamålet med dessa sidoväggar 50 blir uppenbart enligt den följande beskrivningen.

Såsom bäst framgår från figur 5a år sensorchípet 43 anordnat inuti en spiral- lindning 48, dvs. sensorguiden 41 är inte försedd med ett speciellt skyddande hölje eller mantel. Vid en jämförelse med figur 1 framgår att de första och andra spirallindningama, som sträcker sig på vardera sida från manteln eller höljet, därigenom kan ersättas med en enda spirallindning som sträcker sig från den ihåliga tuben till den kupolformade spetsen, vilket från tillverkningssynpunkt är fördelaktigt. Speciellt från figurema 5a till 5b är det tydligt att sidoväggarna 50 utgör en skyddande struktur 50 som åstadkommer väsentligen samma fördel som manteln eller höljet skulle göra, dvs. membranet 46 från skador av sido- väggarna 50, och står genom spirallindning 48 i kontakt med ett medium som omsluter sensorguiden 41. Här bör man vidare notera att de övre delarna av de 10 15 20 25 30 extra elementen 50, dvs. de delar som sträcker sig bort från kâmtråden 42 år viktigare än de nedre delarna av de extra elementen 50 med avseende på att skydda membranet 46. Av denna anledning kan de nedre delarna av det H- formade sensorchipet tagas bort så att ett sensorchip istället har formen av en generellt U-formad tvärsnitt. Dessutom kan ärmu mer bearbetade skyddsstruk- turer vara tänkbara, såsom ett O-format tvärsnitt. Sensorelementet 43 står via åtminstone en elektrisk ledning 49 i kontakt med en elektronikenhet (inte visad i figurerna).

Dessutom, även om det inte visas i figurerna, kan sensorchipet som beskrivits ovan omfatta piezoresistiva element kopplade i en Wheatstone-brygga, där en del av bryggan är kopplad till membranet och den andra delen av bryggan år kopplad till chipytan utanför membranet. Med ett sådant arrangemang är sen- sorchipet en piezoresistiv tryckomvandlare där ett visst tryck på mediet som omsluter sensorchipet motsvarar en viss deformering av membranet och i sin tur en viss resistans i Wheatstone-bryggan. Utsignalerna från tryckomvandlaren kommer därigenom att avspegla trycket i mediet som omsluter sensorn.

Enligt ovanstående omfattar ett sensorchip enligt föreliggande uppfinning i grunden en monteringsbas och en tryckkänslig del, på vilken en tryckkänslig anordning, t. ex. ett membran, år anordnat. Sensorchipet beslaiver i samband med figuren 3a till 3b respektive 4a till 4b har implicit antagits tillverkade av en enda materialbit (t. ex. kisel) dvs. monteringsbasen är en integrerad del av sen- sorchipet. En sådan utformning av ett kiselchip kan åstadkommas genom ets- ning. Andra tillverkningssätt av ett sensorchip är att en monteringsbas sätts fast vid en platt struktur. Om den platta strukturen och monteringsbasen båda är tillverkade av silikon kan förbindningen företrädesvis genomföras med hjälp av bondning. Ovanstående år tillämpligt också för den skyddande strukturen som exemplifierades som extraelement eller sidovåggar och beskrevs i samband med figurerna 5a till 5c, dvs. den skyddande strukturen kan utgöra en integre- rad del av sensorchipet, eller den skyddande strukturen kan vara bondad vid en annans platt och rektangulär struktur. 10 15 20 25 ff r\ f r\ 'lf ../ 10 Enligt uppfmningen har en ny utformning av ett sensorchip åstadkommits.

Sensorchipet år ämnat att monteras på en kärntråd, vilken utgör en del av en sensor- och styrtrådsanordning. Uppñnningen avser därigenom också en ny och förbättrad utformning av sensor- och styrtrådsanordningen, vilka har förbättra- de sensorchipegenskaper speciellt med avseende på motstånd mot böjningsarte- faktorn såväl som mekanisk sträckning och hällfasthet. Med den nya utform- ningen av sensorchipet kan utformningen av kårntråden förenklas, vilket i sin tur sänker de totala produktionskostnaderna för sensor- och styrtrådsanord- ningen i dess helhet.

Trots att föreliggande uppfinning har beskrivits med hänvisning till specifika utföringsformer, som också visas i de bifogade rítningarna, är det uppenbart för fackmän inom teknikområdet att många varianter och modifieringar kan göras inom ramen för uppfinningen såsom beskrivs i beskrivningen och definieras i de bifogade patentkraven. I synnerhet skall det noteras att de förbättrade egenska- perna av en sensorguide försedd med ett chip enligt uppfinningen inte är bero- ende på utformningen av de andra delarna av sensorguiden. Således kan eller kan inte sensor- och styrtrådsanordningen innefatta delar såsom mantlar eller höljen, spirallindningar och spetsar med speciella former. Dessutom kan kärn- tråden, på vilken sensorchipet är monterat, sträcka sig längs väsentligen hela sensorguidens längd, eller kärntråden är endast anordnad vid den distala delen av sensorguiden. Dessutom kan kårntråden vara försedd med urtag, fördjup- ningar eller andra formeringar, som kan möjliggöra fastsättande av sensorchipet vid kärntrådens yta; men också när sådana formeringar är anordnade, år det väsentliga särdraget för föreliggande uppfmning att sensorchipet är försett med en monteringsbas som medger en utskjutande montering av sensorchipet, så att ett spelrum åstadkommes under den tryckkänslíga delen av sensorchipet.

Claims (21)

10 15 20 25 30 f* n f n f: *J'...'.) _,^ ll PATENTKRAV

1. Sensorchip (23; 33; 43) för en sensorstyrtrådanordning (21; 31; 41) för intravaskulåra mätningar av åtminstone en fysiologisk variabel i en levande kropp, där sensorchipet (23; 33; 43) år âmnat att monteras på en kärntråd (22; 32; 42) och har en första ånddel (25; 35; 45), med en första sida som är försedd med en tryckkånslig anordning (26; 36; 46), k ä n n e t e c k n a t av att sensor- chipet (23; 33; 43) omfattar en monteringsbas (24; 34; 44), vilken, vid en andra ände av sensorchipet (23; 33; 43) sträcker sig nedåt och år åmnat för montering på kårntråden (22; 32; 42) så att ett spelrum (27 ; 37; 47) formas mellan den första ånddelen (25; 35; 45) och kårntråden (22; 32; 42).

2. Sensorchip (23; 33; 43) enligt krav 1, k ä. n n e t e c k n a t av att monteringsbasen (24; 34; 44) utgör en integrerad del av sensorchipet (23; 33; 43).

3. Sensorchip (23; 33; 43) enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att monteringsbasen (24; 34; 44) är fastsatt vid sensorchipet (23; 33; 43).

4. Sensorchip (33) enligt något av kraven 1 - 3, k å n n e t e c k n a t av att formen på undersidan av monteringsbasen (34) år anpassad till formen på kårntråden (32).

5. Sensorchip (43) enligt något av kraven 1 - 4, k ä. n n e t e c k n a t av att sensorchipet (43) vidare omfattar en skyddande struktur (50).

6. Sensorchip (43) enligt krav 5, k ä n n e t e c k n a t av att den skyd- dande strukturen (50) har formen av två extra element (50), vilka år anordnade så att sensorchipet (43) har ett H- eller U-format tvärsnitt.

7. Sensorchip (43) enligt krav 5, k ä n n e t e c k n a t av att den skyd- dande strukturen (50) utgör en integrerad del av sensorchipet (43). 10 15 20 25 30 f' n f "f" f' n; . _ 1..) 1.» ~1 n! 12

8. Sensorchip (43) enligt krav 5, k ä n n e t e c k n a t av att den skyd- dande strukturen (50) är fastsatt vid sensorchipet (43).

9. Sensorchip (23; 33; 43) enligt något av kraven 1 - 8, k ä n n e t e c k- n a t av att sensorchipet (23; 33; 43) år en piezoresistiv tryckomvandlare.

10. Sensorstyrtrådsanordning (21; 31; 41) för intravaskulära mätningar av åtminstone en fysiologisk variabel i en levande kropp, omfattande en kärn- tråd (22, 32; 42) och ett sensorelement (23; 33; 43) med en första änddel (25; 35; 45), som har en första sida försedd med en tryckkänslig anordning (26; 36; 46), k ä n n e t e c k n a d av att sensorelementet (23; 33; 43) har en monte- ringsbas (24; 34; 44), vilken, vid en andra ände av sensorelementet (23; 33; 43), sträcker sig nedåt och är anpassad för montering vid kärntråden (22; 32; 42) så att ett spelrum (27; 37; 47) bildas mellan den första änddelen (25; 35; 45) och kärntråden (22; 32; 42).

11. 1 1. Sensorstyrtrådsanordning (21; 31; 41) enligt krav 10, k ä n n e t e c k- n a d av att monteringsbasen (24; 34) år en integrerad del av sensorelementet (23; 33).

12. Sensorstyrtràdsanordning (21; 31; 41) enligt krav 10, k å n n e t e c k- n a d av att monteringsbasen (24; 34; 44) är fastsatt vid sensorelementet (23; 33; 43).

13. Sensorstyrtrådsanordning (31) enligt något av kraven 10 - 12, k å n- n e t e c k n a d av att formen på undersidan av monteringsbasen (34) är anpas- sad till formen på styrtråden (33).

14. Sensorstyrtrådsanordning (41) enligt något av kraven 10 - 13, k ä n- n e t e c k n a d av att sensorelementet (43) vidare omfattar en skyddande struk- tur (50). 10 15 20 25 30 13

15. Sensorstyrträdsanordning (41) enligt krav 14, k ä n n e t e c k n a d av att den skyddande strukturen (50) har formen av tvä extra element (50), vilka är anordnade så. att sensorelementet (43) har ett H- eller U-forrnat tvärsnitt.

16. Sensorstyrträdsanordning (41) enligt krav 14, k ä n n e t e c k n a d av att den skyddande strukturen (50) utgör en integrerad del av sensorelemen- tet (43).

17. Sensorstyrtrådsanordning (41) enligt krav 14, k ä n n e t e c k n a d av att den skyddande strukturen (50) är fastsatt vid sensorelementet (43).

18. Sensorstyrträdsanordning (2l; 31; 41) enligt något av kraven 10 - 17, k ä n n e t e c k n a d av att sensorelementet (23; 31 ; 41) är en piezoresistív tryckomvandlare.

19. Metod att tillverka ett kiselsensorchip (23; 33; 43) för en sensorstyr- trädsanordning (21 ; 3 1; 41) för intravaskulära mätningar av åtminstone en fysi- ologisk variabel i en levande kropp, k ä n n e t e c k n a d av att sensorchipet (23; 33; 43) är försedd med en monteringsbas (24; 34; 44), vilken är åstadkom- rnen genom etsning eller bondning.

20. Metod för tillverkning av ett kiselsensorchip (43) enligt krav 19, k ä n- n e t e c k n a d av att sensorchipet (43) är försedd med en skyddande struktur (50), som är åstadkommen genom etsning eller bondning.

21. Metod för att tillverkning av ett kiselsensorchip (43) enligt krav 20, k ä n n e t e c k n a d av att den skyddande strukturen (50) har formen av två extra element (50), vilka är anordnade så att sensorchipet (43) har ett H- eller U-format tvärsnitt, där de extra elementen (50) är anordnade genom etsning el- ler bondning.