SU1027669A1 - Теневой прибор - Google Patents

Теневой прибор Download PDF

Info

Publication number
SU1027669A1
SU1027669A1 SU823399109A SU3399109A SU1027669A1 SU 1027669 A1 SU1027669 A1 SU 1027669A1 SU 823399109 A SU823399109 A SU 823399109A SU 3399109 A SU3399109 A SU 3399109A SU 1027669 A1 SU1027669 A1 SU 1027669A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
phase
plate
fourier transform
wavelength
wave
Prior art date
Application number
SU823399109A
Other languages
English (en)
Inventor
Олег Илларионович Бугаенко
Эдуард Александрович Витриченко
Владимир Николаевич Дудинов
Виктория Сергеевна Цветкова
Original Assignee
Институт космических исследований АН СССР
Астрономическая Обсерватория Харьковского Государственного Университета
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт космических исследований АН СССР, Астрономическая Обсерватория Харьковского Государственного Университета filed Critical Институт космических исследований АН СССР
Priority to SU823399109A priority Critical patent/SU1027669A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1027669A1 publication Critical patent/SU1027669A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

Изобретение относитс  к прикладной оптике и может быть использовано дл  исследовани  оптических неоднородностей. Известен теневой прибор, в котором дл  визуализации оптических неоДнородностей используетс  фазовый нож Недостатком данного прибора  вл етс  его низкое пространственное разрешение. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  теневой прибор, содержащий точечный источник белого света, коллиматор , исследуе1 слй объект, Фурьепреобразующую линзу, полуволновую фазовую пластину, установленную в задней фокальной плоскости линзы с возможностью перемещени  в направле нии, перпендикул рном фазосдвигающей ступени пластины, элемент обрат ного Фурье-преобразовани  и регистрирующее устройство, оптически сопр женное с исследуемым объектом. В этом приборе элемент обратного Фурье-преобразовани  выполнен в вид сферического зеркала-, работающего совместно с пол ризационным светоделительным кубиком . Недостатками известного устройст за  вл ютс  низкое пространственное разрешение по исследуемому объекту ограничение фазоконтра.стной чувствительности , большие светопотери, а также сложность определени  полной двумерной.картины оптических неод нородностей . Указанные недостатки обусловлены следующими причинами. Известно, что фазоные искажени  непосредственно зарегистрировать не возможно. Дл  этой цели примен ют визуализирующие элементы, действие которых в составе теневых приборов сходно с операцией дифференцироваНИН исследуемого пол . Описание пол через его производную не вносит ни каких затруднений, так как посто н на  интегрировани  равна начальной фазе пол  и значение ее несуществе но. В реальных приборах осуществит идеальное дифференцирование нельз  но можно приблизитьс  к нему сколь угодно близко. Из теории Фурье-пре обг азований известно,, что производ на  функции Ф(х) равна обратному Фурье-преобразованию от произведение ( ) , где F-( И - Фурье-преобразование от (|)(х). Дп  точного дифференцировани  н обходим транспарант, имеющий ампли тудный коэффициент пропускани  Т(Н, где - задано в интервале 00, 00 . Такой фильтр в оптике изгото вить невозможно, так как всегда |Т(«)/Я. В теневом приборе-прототипе транспарант - полуволнова  фазова  пластина - реализует фазовый скачок на 180, который  вл етс  весьма грубьпу приближением к требуемой линейной зависимости. Фурье-образ Фазового скачка совпадает с  дром Гильбертпреобразовани , которое выполн ет операцию дифференцировани  и сглаживани  с медленно убывающими крыль ми и имеет малый динамический диапазон фазово-контрастной характеристики . Приближенный характер дифференцировани  Гильберт-преобразовани  не принимаетс  во внимание и результаты измерений теневого прибора трактуютс  как производна  исследуемого пол . При таком подходе невозможны ни измерени  больших фазовых искажений, ни в;зоне пол ,, расположенной р дом с сйльными неоднородност ми, так как i без того коротка  характеристика оказываетс  перегруженной информацией из соседних зон. В частности не могут быть исследованы искажени , лежащие вблизи кра  апертуры, т.е. сильной неоднородности, а эта зона составл ет обычно 20% исследуемого пол . Цель изобретени  - увеличение пространственного разрешени  при повышении чувствительности и ахроматизации в широкой области длин волн. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в теневом приборе, содержащем точечный источник белого цвета, коллиматор , исследуемый объект, Фурье-преобразующую , полуволновую фазовую пластину, установленную в задней фокальной плоскости линзы с возможностью перемещени  в направлении, перпендикул рном фазосдвигающей ступени пластины, элемент обратного Фурьепреобразовани  и регистрирующее устройство , оптически сопр женное с исследуемым объектом, на полуволновую фазовую пластину нанесено поглощак дее металлическое покрытие с градиентом плотности, перпендикул рным фазосдвигающей ступени пластины, имеющее нулевое пропускание на линии фазового скачка, причем пластина выполнена из двух различных сортов оптического стекла, у которьк дл  средней длины волны рабочего спектрального интервала производные по длине волны отношений показател  преломлени  к длине,, волны равны между собой. На фиг. 1 показана оптическа  схема .теневого прибора; на фиг. 2 устройство волуволновой амплитуднофазовой пластины и вид зависимости ее амплитудного пропускани  от координаты вдоль оси, перпендикул рной фазосдвигающей- ступени пластины; на фиг. 3 - вид зависимостей фазового сдвига, вносимого этой пластиной от длины волны дл  различных комбинаци сортов стекла, из которых выполнена пластина. Предлагаемый теневой прибор вклю чает в себ  точечный источник 1 белого света, коллимирующую линзу 2, исследуемый прозрачный объект 3, Фурье-преобразующую линзу 4, полуволновую фазовую пластину 5; установленную в задней фокальной плоско ти линзы 4 с возможностью перемещени  в направлении, перпендикул рном фазосдвигающей ступени пластины, линзу 6, осуществл ющую обратное Фурье-преобразование, и. панорамное регистрирующее устройство 7, оптически сопр женное линзами 4 и 6 с исследуемым объектом 3. При этом пластина 5 образована двум  соединенными между собой плоскопарал-. лельными пластинами 8 и 9 с одинако вой расчетной толщиной, которые выполнены из различных по показателю преломлени  специально подобранных сортов стекла. На скрепленные пластины 8 и 9 нанесено поглощакедее металлическое покрытие переменной плотности. Градиейт плотности покрыти  10 ориенти рован перпендикул рно фазосдвигающе ступени пластины 5, т.е. плоскости стыковки пластины 8 и 9, причем на линии фазового: скачка покрытие 10 имеет нулевое П1ропускацие (фиг. 2, крива  11) . Поглощак дее покрытие 10 можно из готовить, например, методом вакуумного напылени . Его толщина зависит от требуемого пропускани  в данном месте пластины и от поглощающих свойств напыл емого материала. Толщина покрыти  обычно много меньше длины волны. Компоненты 8 и 9 ампли тудно-фазовой пластины 5 выполнены из таких сортов стекла, у которых дл  средней длины волны рабочего спектрального интервала производные по длине 9ОЛНЫ отношений показател  преломлени  к длине волны равны между собой. При этом могут ИСПОЛЬзоватьс , например, следующие комби нации сортов стекла: БФ-7 и БФ-6 толщиной 25,0 мкм (фиг. 3, крива  1 БФ-13 и БФ-12 толщиной 21,6 мкм (крива  13), а также К-8 и К-14 тол щиной 188,7 мкм (крива  14). Толщина пластины 5 вычисл етс  с учетом показателей преломлени  выбранных сортов стекла из услови  реализации фазового скачка со средней величиной 180°. Пластина 5 (кроме поперечного смещени ) имеет возможность поворота на 90 вокруг оптической оси при бора. Полихромный световой поток, выход щий из точечного источника света 1, коллимируетс  линзой 2 и про свечивает исследуемый объект 3, имеющий фазовые неоднородности. Промодулированный объектом 3 световой поток собираетс  линзой 4 в ее за;дней фокальной плоскости, т.е. в плоскости Фурье-преобразовани , где установлена амплитудно-фазова  пластина 5. Объектив строит на фоточувствительной части панорамного приемника плоскую картину, соответствующую неоднородност м объекта 3. При этом поглощающее покрытие 10 фазовой пластины 5 подавл ет крыль   дра Гильберт-преобразовани , улучша  его дифференцирующие свойства. Центр  дра, т.е. его дифференцирующа  часть, не затрагиваетс , и в этом смысле никаких светопотерь не происходит. Такой транспарант позвол ет реализовать любые, наперед заданные характеристики теневого прибора по пространственному разрешению и динамическому диапазону измер емых фазовых искажений и, следовательно , по пороговой чувствительности прибора.. Конкретный вид пропускани  пластины 5 зависит от требований к иирине  др или к динамическому диапазону. Например, если  дро должно иметь вид ( быстро убывающа  функци  при ), то Т() erf (2) (фиг. 2), где erf - интеграл веро тности, с параметр , определ ющий эффективную ширину  дра. Прио: оператор стремитс  к идеально дифференцирук5щему, а динамический диапазон и пространственное разрешение стрем тс  к бесконечности .. Естественно, что при этом световой поток от площадки, равной элементу разрешени , будет стремитьс  к нулю. Указанные выше требовани к выбору сортов стекла компонентов пластины 5 обеспечивают при допустимой погрешности фазового сдвига 5 расширение рабочего спектрального интервала примерно в 100 раз по сравнению со случаем применени  классического фазового ножа (фиг. 3). Если требовани  к допустимой погрешности жестче, то преимущества предлагаемой пластины еще ощутимее. Сдвиг плйстины 5 в направлении, перпендикул рном ее фаэосдвигающей ступени, т.е. в направлении градиента плотности, позвол ет определ ть знак производной, а разворот пластины на 90 вокруг оси прибора - проводить измерени  по двум направлени м .
Таким образом, Применение ахроматиэированной амплитудно-Фазовой пластины позвол ет создать тенепой прибор с любыми наперед заданными характеристиками по пространственному
разрешению и пороговой чувствительности измер емых фазовых искажений, имеющий мад1ые светопотери благодар  использованию широкого участка спектра источника света.
to
у хУХ/ху/х/: 9
V.
- yf/W/l
ff.7

Claims (1)

  1. ТЕНЕВОЙ ПРИБОР, содержащий точечный источник белого света, коллиматор, исследуемый объект, Фурьепреобразующую линзу, полуволновую фазовую пластину, установленную в задней Фокальной плоскости линзы с /возможностью перемещения в направт лении, перпендикулярном фазосдвигающей ступени пластины, элемент обратного Фурье-преобразования и регистрирующее устройство, оптически сопряженное с исследуемым объектом, отличающийся тем, что, с целью увеличения пространственного разрешения при повышений фазовой чувствительности й ахроматизации в широкой области длин волн, на полуволновую фазовую пластину нанесено поглощающее металлическое покрытие с градиентом плотности, перпендикулярным фазосдвигающей ступени пластины, имеющее нулевое пропускание на линии фазового скачка, причем пластина выполнена из двух различных сортов оптического стекла, у которых для средней волны рабочего спектрального интервала производные по длине волны отношений показателя преломления к длине волны равны между собой.
    SU.,, 1027669
SU823399109A 1982-03-01 1982-03-01 Теневой прибор SU1027669A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823399109A SU1027669A1 (ru) 1982-03-01 1982-03-01 Теневой прибор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823399109A SU1027669A1 (ru) 1982-03-01 1982-03-01 Теневой прибор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1027669A1 true SU1027669A1 (ru) 1983-07-07

Family

ID=20998253

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823399109A SU1027669A1 (ru) 1982-03-01 1982-03-01 Теневой прибор

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1027669A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5650632A (en) * 1994-12-28 1997-07-22 International Business Machines Corporation Focal plane phase-shifting lithography

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Авторское свидетельство СССР 510684, кл. G 02 В 27/46, 16.10.74% 2. Авторское свидетельство СССР № 501340, кл. G 01 N 21/45, 10.10.73 (прототип). *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5650632A (en) * 1994-12-28 1997-07-22 International Business Machines Corporation Focal plane phase-shifting lithography
US5717218A (en) * 1994-12-28 1998-02-10 International Business Machines Corporation Focal plane phase-shifting lithography

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Steel Interferometry
DE3240234C2 (de) Oberflächenprofil-Interferometer
Holden Multiple-beam interferometry: intensity distribution in the reflected system
CA1163797A (en) Laser interferometer
CN107036552A (zh) 一种基于光学相移的跨尺度表面形貌测量装置及方法
US4383734A (en) Real-time optical correlation system
US4072422A (en) Apparatus for interferometrically measuring the physical properties of test object
SU1027669A1 (ru) Теневой прибор
DE4413758C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Prüfung der Gestalt einer Oberfläche eines zu vermessenden Objektes
US3432239A (en) Optical instruments of the interference type
JPH04310836A (ja) 屈折率分布測定方法
CN114459342B (zh) 基于平行光束分光棱镜的同轴与离轴数字全息切换装置
Glimstedt et al. Measurement of thickness in various parts of histological sections
CN212540119U (zh) 一种显微角分辨透射光相位信息表征系统
Pluta A double refracting interference microscope with variable image duplication and half-shade eyepiece
Nyyssonen Optical linewidth measurements on wafers
US3563629A (en) Device for measuring path differences on objects
US2880648A (en) Half-shade devices for use with polarizing instruments
Simon et al. Behaviour of the phases in the observation of surface electromagnetic waves
El-Zaiat et al. Applying multiple-beam Fizeau fringes for measuring the refractive indices of liquids
Pluta Incident-light double-refracting interference microscope with variable wavefront shear
Pluta Adaptive variable wavelength interferometry of birefringent retarders
Brossel Multiple-beam localized fringes: Part II.-Conditions of observation and formation of ghosts
Pluta Variable wavelength interferometry. III. Reflected-light techniques
RU2034322C1 (ru) Устройство для формирования пучка монохроматического излучения