SU1050140A1 - Устройство дл контактной фотолитографии - Google Patents

Устройство дл контактной фотолитографии Download PDF

Info

Publication number
SU1050140A1
SU1050140A1 SU823478079A SU3478079A SU1050140A1 SU 1050140 A1 SU1050140 A1 SU 1050140A1 SU 823478079 A SU823478079 A SU 823478079A SU 3478079 A SU3478079 A SU 3478079A SU 1050140 A1 SU1050140 A1 SU 1050140A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
photomask
holder
contact
substrate
photolitography
Prior art date
Application number
SU823478079A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Николаевич Березин
Аркадий Валентинович Кабаков
Петр Ефимович Кандыба
Игорь Иванович Кошелев
Андрей Владимирович Самохин
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8941
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8941 filed Critical Предприятие П/Я В-8941
Priority to SU823478079A priority Critical patent/SU1050140A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1050140A1 publication Critical patent/SU1050140A1/ru

Links

Landscapes

  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ, содержащее гибкий фотошаблон, источник актиничного излучени , механизм совмещени  фотошаблона и подложки в виде вакуумной камеры с. держателем фотошаблона и держателем подложки, о т л и ч а .tout е е с   тем, что/ с целью пов зИ1зени  качества и здели ,- держатель фотошаблона снабжен камерой избыточ:ного давлени . (Л

Description

( zL, ,5 Вакуум

Claims (1)

  1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ, содержащее гибкий фотошаблон, источник актиничного излучения, механизм совмещения фотошаблона и подложки в виде вакуумной камеры с держателем фотошаблона и держателем подложки, от л и ч а ющ ее с я тем, что, с целью повышения качества изделия,· держатель фотошаблона снабжен камерой избыточного давления.
    ^SU-. 1050140
    S •5
SU823478079A 1982-07-28 1982-07-28 Устройство дл контактной фотолитографии SU1050140A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823478079A SU1050140A1 (ru) 1982-07-28 1982-07-28 Устройство дл контактной фотолитографии

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU823478079A SU1050140A1 (ru) 1982-07-28 1982-07-28 Устройство дл контактной фотолитографии

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1050140A1 true SU1050140A1 (ru) 1983-10-23

Family

ID=21024910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU823478079A SU1050140A1 (ru) 1982-07-28 1982-07-28 Устройство дл контактной фотолитографии

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1050140A1 (ru)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4335735A1 (de) * 1993-10-20 1995-04-27 Bacher Graphische Geraete Gmbh Ansaugbaugruppe für Platten und Folien
RU2519872C2 (ru) * 2012-08-31 2014-06-20 ОАО "Научно-производственное предприятие космического приборостроения "КВАНТ" (ОАО "НППКП "КВАНТ") Способ нанесения прецизионного фотолитографического рисунка на цилиндрическую поверхность оптической детали и приспособление для контактного экспонирования изображения для его осуществления
RU2691159C1 (ru) * 2018-08-17 2019-06-11 Публичное акционерное общество "Сатурн" (ПАО "Сатурн") Установка контактной фотолитографии для полупроводниковых пластин с базовым срезом
RU2794611C1 (ru) * 2022-12-13 2023-04-24 Акционерное общество "Сатурн" (АО "Сатурн") Установка контактной фотолитографии для полупроводниковых пластин с базовым срезом

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1.Федотов Я. и Поль Г.Фотолитографи и оптика. М., Советское радио г Берлин, |Техника, 1979. ,2. IEEE-Trans,1975, V., p.496 (прототип) *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4335735A1 (de) * 1993-10-20 1995-04-27 Bacher Graphische Geraete Gmbh Ansaugbaugruppe für Platten und Folien
DE4335735C2 (de) * 1993-10-20 1999-04-01 Bacher Graphische Geraete Gmbh Ansaugbaugruppe für Platten und Folien
RU2519872C2 (ru) * 2012-08-31 2014-06-20 ОАО "Научно-производственное предприятие космического приборостроения "КВАНТ" (ОАО "НППКП "КВАНТ") Способ нанесения прецизионного фотолитографического рисунка на цилиндрическую поверхность оптической детали и приспособление для контактного экспонирования изображения для его осуществления
RU2691159C1 (ru) * 2018-08-17 2019-06-11 Публичное акционерное общество "Сатурн" (ПАО "Сатурн") Установка контактной фотолитографии для полупроводниковых пластин с базовым срезом
RU2794611C1 (ru) * 2022-12-13 2023-04-24 Акционерное общество "Сатурн" (АО "Сатурн") Установка контактной фотолитографии для полупроводниковых пластин с базовым срезом

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3173696D1 (en) Device for observing and/or taking photographs of the eye of a patient during adaptation of a contact lens
SU1050140A1 (ru) Устройство дл контактной фотолитографии
SE7903104L (sv) Apparat for framstellning av fotografiska bilder
GB1536602A (en) Portable copier
JPS52140333A (en) Optical device
JPS52120827A (en) Self-treating type camera
JPS5667226A (en) Manufacturing of cylindrical perforated print
JPS52126241A (en) Slit illumination device
JPS52113167A (en) X-ray exposing device
JPS5245927A (en) Enlarger for color photography
JPS55144228A (en) Full surface exposure device
JPS5339146A (en) Lens system
NL7904797A (nl) Lichtbron voor super 8 mm filmprojector.
GB1195517A (en) Improved Apparatus for Exposing Light-Sensitive Copy Paper to Light
SU672605A1 (ru) Устройство дл проецировани неподвижного оригинала на движущуюс светочувствительную поверхность
JPS5222873A (en) Light source positioning unit
JPS5256851A (en) Exposure light source
JPS5510654A (en) Optical induction type driverless wagon
JPS5382079A (en) Spot light
JPS552255A (en) Lighting device
JPS5370823A (en) Camera provided with light source light recording mechanism
JPS54121138A (en) Heat copying apparatus
JPS5689734A (en) Overhead type projector
JPS56154723A (en) Film cassette of camera for endoscope
JPS5512639A (en) Fluorescent lamp covered with filmy polaroid filter