SU1114887A1 - Пневматический дозатор жидкости - Google Patents

Abstract

ПНЕВМАТИЧЕСКИЙ ДОЗАТОР ЖИДКОСТИ, содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, расходную емкость с соединительными мап трал ми и штуцером слива дозы, насос, источ ник сжатого газа, систему управлени  с клапанами, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности дозировани , в него вв.едена дополнительна  емкость с крышкой нижн   часть которой соединена с насосом и через первый клапан - с верхней частью расходной емкости, котора  сообщена с верхней частью дополнительной емкости, котора  через второй клапан подключена к источнику сжатого газа, причем мерна  емкость с регулируемым объемом выполнена в виде гибкой трубки, первый конед которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости, а второй - соединен через третий клапан со штудером слива и снабжен приводом i вертикального перемещени , а мерной емкости выбран не бапыио объе (Л ма дополнительной емкости между ее крышкой и первым концом трубки.

Description

NCi

00 ОС

| Изобретение относитс  к дозирующим устройствам, в частности к паев матическим дозаторам агрессивных жидкостей, и может быть использовано дл  автоматизации операций дозировани  в химических установках дл  производства микроэлектронных прибо ров, в частности интегральных схем. Известен пневматический дозатор агрессивных сред, содержащий прибор управлени , вспомогательное устройс во в виде клапанного блока с пр модействукщими пневматическими мембра ными клапанами, реактор и мерную емкость. Мерна  емкость выполнена герметичной, с внутренней перегород кой, дел щей ее на две равные полос ти, соединенные в верхней части между собой и с реактором, а нижние части каждой полости соединены через клапанный блок исполнительного устройства с магистральным трубопро водом и реактором Jl . Недостатками данного дозатора  в л ютс  отсутствие универсальности, так как размеры мерной емкости однозначно определ ют величину дозы, и низка  точность дозировани , определ юща с  точностью изготовлени  мерной емкости. Наиболее близким к изобретению по технической сущности и дост гаемому результату  вл етс  пневматический дозатор содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, рас ходную емкость с соединительными ма гистрал ми и штуцером слива дозы, насос, источник сжатого газа, систему управлени  с клапанами 2 . Недостатком известного дозатора  вл етс  низка  точность дозировани  за счет вли ни  на размер дозы газовых пузырьков в ее объеме. Целью изобретени   вл етс  повышение точности дозировани . Указанна  цель достигаетс  тем, что в пневматический дозатор жидкост содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, расходную емкость с соединительными магистрал ми и штуце ром слива дозы, насос, источник сжатого газа, систему управлени  с клапанами, введена дополнительна  ем кость с крышкой, нижн   часть которо соединена с насосом и через первый клапан - с верхней частью расходной емкости, котора  сообщена с верхней частью дополнительной емкости, котора  через второй клапан подключена к источнику сжатого газа, причем мерна  емкость с регулируемым объемом вьшолнена в виде гибкой трубки, первый конец которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости, а второй - соединен через третий клапан со штуцером слива и снабжен приводом вертикального перемещени , а объем мерной емкости выбран не больше объема дополнительной емкости между ее крышкой и первым концом трубки. На чертеже изображен пневматический дозатор жидкости. Устройство содержит мерную емкость 1 с регулируемым объемом, расходную емкость 2 с соединительными магистрал ми 3-5 и штуцером 6 слива дозы., насос 7, источник 8 сжатого газа, систему 9 управлени  с клапанами 10-12, дополнительную емкость 3 с крьщ1кой 14, нижн   часть которой соединена с насосом 7 и через первый клапан 10 - с верхней частью 11 расходной емкости 2, котора  сообщена с верхней частью дополнительной емкости 13, последн   через второй клапан 11 подключена к источнику 8 сжатого газа. Мерна  емкость 1 с регулируемым объемом вьтолнена в виде гибкой трубки, первый конец 15которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости 13, а второй 16соединен через третий клапан 12 со штуцером 6 слива и снабжен приводом 17вертикального перемещени . Дозатор работает следующим образом . При дозировании включаетс  ласос 7. Жидкость из расходной емкости 2 насосом -7 по соединительной магистрали3 -подаетс  в дополнительную емкость 13 и, заполнив ее, по оединительной магистрали 4 сливает  обратно в расходную, емкость 2. После заполнени  дополнительной емкости 13 насос 7 включаетс  и открываетс  третий клапан 12. Дозируема  идкость заполн ет мерную емкость 1 (гибкую трубку) до уровн , общето с уровнем жидкости в дополнительной емкости 13, причем этот уровень выше ервого конца трубки 5, так как доолнительный объем мерной емкости 1 ыбран не больше объема дополнительной емкости 13 между ее крышкой 14 первым концом 15 трубки с целью беспечени  полного заполнени  труП31 ки 1 (мерной емкости) при максимальной дозе. При заполнении трубки 1 жидкостью газовые пузьгри барботируют через третий клапан 12, что обусловливает исключение вли ни  их объемов на точность дозировки. После заполнени  мерной емкости 1 (трубки) открываетс  первый клапан 10, избыточное количество жидкости сливаетс  по соединительной магистрали 3 через первый клапан 10, в расходную емкость 2, при этом по срезу первого конца 15 трубки 1 происходит формирование дозы жидкости. После получени  дозы закрываетс  первый клапан 10, открываетс  второй клапан 11. Инертный газ, поступа  по магистрали 5, выдавливает дозу 7Л в 1 абочий объем. Автоматическое управление насосом 7 и клапанами 10 12 осуществл ет система 9 управлени , Настройка величины дозы в дозоторе осуществл етс  вертикальным перемещением подвижного второго конца 16 трубки 1 приводом 17. Регулировка дозы в области малых значений может производитьс  заменой трубки 1 одного сечени  трубкой другого сечени . Таким.образом, при использовании и гибкой мерной емкости, соединенной с приводом перемещени , обеспечиваетс  повышение точности дозировани  малых доз жидкости, а также исключь;ние вли ни  на величину дозы газовых пузьфей.

Claims (1)

1. ПНЕВМАТИЧЕСКИЙ ДОЗАТОР ЖИДКОСТИ, содержащий мерную емкость с регулируемым объемом, расходную емкость с соединительными магистралями и штуцером слива дозы, насос, источник сжатого газа, систему управления с клапанами, отличающийся тем, что,' с целью повы шения точности дозирования, в него введена дополнительная емкость с крышкой нижняя часть которой соединена с насосом и через первый клапан - с верхней частью расходной емкости, которая сообщена с верхней частью дополнительной емкости, которая через второй клапан подключена к источнику сжатого газа, причем мерная емкость с регулируемым объемом выполнена в виде гибкой трубки, первый конец которой введен в нижнюю часть дополнительной емкости, а второй - соединен через третий клапан со штуцером слива и снабжен приводом вертикального перемещения, а объем мерной емкости выбран не больше объема дополнительной емкости между ее крышкой и первым концом трубки .

   1 π г·