SU1132204A1 - Способ контрол коэффициентов пропускани объектов с координатно-зависимым законом пропускани - Google Patents

Abstract

СПОСОБ КОНТРОЛЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ ПРОПУСКАНИЯ ОБЪЕКТОВ С КООРДИНАТНО-ЗАВИСИМЫМ ЗАКОНОМ ПРОПУСКАНИЯ, включающий сканирование световым лучом поверхностей контролируемого и эталонного образцов преобразование прошедшего через образцы излучени  в электрические сигналы и регистрацию отличи  сигнала от контролируемого образца и сигнала от эталонного образца, отличающий с   тем что, с целью упрощени  аппаратурной реализации при сохранении точности контрол , сканирование контролируемого образца осуществл ют лучом, модулированным по мощности по закону, обратному закону пространственного изменени  пропускани  эталонного об .разца.: 3

Description

Изобретение относитс  к измерительной технике, а именно к исследованию оптическими методами объектов с целью определени  коэффициентов пропускани , и может быть использовано в оптико-механической и электронной промышленности, в частности, дл  контрол  объектов с координатнозависимым законом пропускани , например светофильтров, фотошаблонов и теневых масок, примен емых в произ водстве цветных электронно-лучевых трубок (ЦЭЛТ). Известен способ автоматизированного многомерного контрол  оптического пропускани  материалов, включаю щий сканирование поверхности объекта световым лучом (оптическим зондом), регистрацию и последующее преобразование прошедшего контролируемый объект светового луча в электрический сигнал, измерение или индикацию его величины Г1Л Недостатком данного способа  вл етс  низка  точность контрол  объектов , оптическое пропускание которых измен етс  по сложному закону в широких пределах. Наиболее близким по технической сущности к предложенному  вл етс  «. способ контрол  коэффициентов пропус кани  объектов с координатно-зависимым законом пропускани , .включающий сканирование световым лучом поверхностей контролируемого и эталонного образцов, преобразование прошедшего через образцы излучени  в электричес кие сигналы и регистрацию отличи  сигнала от контролируемого образца и сигнала от эталонного образца C2J. Известный способ обеспечивает высокую точность контрол  за счет преобразовани  регистрируемых значений величин пропускани  эталона и объекта в двоичные К9ДЫ, сравнени  двоичных кодов эталонного значени  сигнала . Однако дл  получени  требуемой точности контрол  известный способ обусловливает необходимость использовани  синхронизации, аналого-цифро вого преобразовани , запоминани , считывани , сравнени  и индикации, что значительно усложн ет аппаратурную реализацию. Это преп тствует широкому использоранию способа в массовом производстве, поскольку сложность техничес.ких средств его реализации требует, в свою очередь, использовани  высококвалифицированного труда наладчиков. Цель изобрет ени  - упрощение аппаратурной реализации способа при сохранении точности контрол . Поставленна  цель достигаетс  тем, что согласно способу контрол  коэффициентов пропускани  объектов с координатно-зависимым законом пропускани , включающему сканирование световым лучом поверхностей контролируемого и эталонного образцов, преобразование прошедшего через образцы излучени  в электрические сигналы и регистрацию отличи  сигнала от контролируемого образца и сигнала от эталонного образца, сканирование контролируемого образца осуществл ют лучом , модулированным по мощности по закону, обратному закону пространственного изменени  пропускани  эталонного образца. Предлагаемьй способ контрол  пропускани  заключаетс  в следующем. Исход  из требований закона изменени  пропускани , оптических свойств и однородности материала объекта и т.д. дл  каждого конкретного типа контролируемых объектов устанавливают эталон и определ ют с помощью известных средств с высокой точностью истинное значение его пропускани  - :ГХУ ТО-(Х,У;, где Тл минимальное {значение пропускани ; f(х,у) - функциональна  зависимость пропускани  от ко ординат X, у. Затем световым лучом посто нной мощности Р0 последовательно сканируют эталонный образец, регистрируют величину прошедшего излучени  хуРо пропор1 иональную пропусканию, и преобразовывают оптические сигналы в электрические Jxy cfPxy oC-Po Jxy oC-Po-%-f(X,yJ, где ot- - коэффициент пропорщюнальности . Полученное значение фототока Jxу усиливают, регистрируют и исход  из . значени  минимального уровн  регистрации фототока определ ют посто нный уровень - уровень годности, удовлетвор ниций условию сохранени  линейности приемно-преобразовательного тракта и превышени  уровн  сигнала над шумом. Закон модул ции мощности излучени  определ ют исходы из требовани  равенства уровней регистрации сигналов , казгдой точки контролируемого объекта с координатами х, у установленному посто нному уровню годности . (/Ро ТО «,-РО ТХУ лу, где k - коэффициент модул ции; Wjcy - значение мощности после модул ции W, K-.|.;W:5L,p, Jxy xv Это значит, что- при прохождении светового луча мощностью Wjjy через точку эталонного объекта с координатами X, у и пропусканием Тху регистриру ма  фотоэлектрическим преобразователем величина мощности прошедшего излучени , определ ема  выражением . Р,у а),у . РО т,у Jo Ро остаетс  посто нной дп  каждой .точки эталонного объекта. Отсюда вытекает что при контроле объектов с коорди .натно-зависимым эакоиом пропускани  дл  получени  посто нного уровн  регистрируемой- мощности прошедшего излучени  дл  каждой точки объекта необходимо и достаточно модулировать .-.... мощность Р сканирующего объекта луч ЗГ по закону -РоуТ.е. по закону обратному закону пропускани  эталонного образца. После определени  закона модул .ции все последующие объекты, простра ственное распределение пропускани  которых близко по пропусканию эталонного образца, сканируют световым лучом , промодулированным по закону (1). Отклонение значени  регистрируемого сигнала Jxy от уровн  годности Jo означает отклонение пропускани  объ екта от требуемой величины, так как модулиру  мощность луча по закону (1), получают дл  всех точек годного объекта посто нный уровень регистрации . Контроль за посто нством уровн  регистрации/Эо , измерение величины отклонени  от негоДЗ у ху с обработка результатов значительнсэ проще анализа сложных сигналов, не требует аппаратуры повьш1енной сложности, в частности ЭВМ. Принципиальное отличие предлагаемого способа от известного заключаетс  в том, что операци  сравнени  величин пропускани  излучени  эталоном и контролируемым образцом основана на использовании оптических сигналов без преобразовани  их в электрические, что позвол ет использовать в качестве сравнивающего устройства непосредственно сам контролируемый объект (образец). Вводимое модулирование сканирующего светового луча позвол ет исключить непосредственное измерение величин коэффициентов пропускани  и св занные с этим операции преобразовани  оптических сигналов в электрические, их усилени , кодировани , синхронного сравнени  и т.д.,что существенно упрощает аппаратурную реализацию способа (например, исключает использование схем аналого-цифрового преобразовани , линий задержки, сравне|ни  и др.) при сохранении точности.

Claims (1)

1. СПОСОБ КОНТРОЛЯ КОЭФФИЦИЕНТОВ ПРОПУСКАНИЯ ОБЪЕКТОВ С КООРДИНАТНО-ЗАВИСИМЫМ ЗАКОНОМ ПРОПУСКАНИЯ, включающий сканирование световым лу- чом поверхностей контролируемого и эталонного образцов , преобразование прошедшего через образцы излучения · в электрические сигналы и регистрацию отличия сигнала от контролируемого образца и сигнала от эталонного образца, отличающийся тем, что, с целью упрощения аппаратурной реализации при сохранении точности контроля, сканирование контролируемого образца осуществляют лучом, модулированным но мощности по закону, обратному закону пространственного изменения пропускания эталонного образца.

   >

   I

   1 1132204 2