SU1167620A1 - Устройство дл контрол планарных структур - Google Patents

Abstract

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР, содержащее два оптических дефектоскопа, соединенные выходами с входами соответственно первого, и второго блоков преобразовани  оптических сигналов в электрические дискретные сигналы, к входам строчной и кадровой синхронизации которых подключены соответственно первый и второй выходы синхронизатора, блок сравнени ,- выход которого соединен с первым входом блока индикации, второй вход которого подключен к перв8му входу блока сравнени , о т л и- чающеес  тем, что, с целью повышени  достоверности результатов контрол , в устройство введены первый и второй коммутаторы, управл ющий триггер, первый и второй блоки распознавани  метки, блок запуска, гене ратор тактовых импульсов, блок определени  координат метки, первый элемент задержки, блок формировани  задержки, блок переключени , блок счетчиков, первый счетный вход которого подключен к первому управл ющему входу генератора тактовых импульсов, к первому счетному входу блока определени  координат метки и к первому выходу синхронизатора, второй выход которого соединен с вторьм управл ющим входом генератора тактовых импульсов и с информационным входом блока запуска, подключенного выходом к входу сброса управл ющего триггера, второму счетному входу блока счетчиков и входу сброса блока определени  координат метки, второй счетный вход которого соединен с тактовым входом . блока счетчиков, выходом генератора С тактовых импульсов, тактовым входом блока формировани  задержки и первым , входом элемента задержки, второй вход которого подсоединен к первому выходу первого коммутатора, подключенного вторьм выходом к информационному входу б ока формировани  задержки, первый и второй выходы второго коммутатора соединены соответственно с первым и вторым входами блока сравнени , первый и второй управл ницие ю входы первого коммутатора соединены о соответственно с первым и вторым управл ющими входами второго коьФ1утатора и с первым и вторым выходами управл ющего триггера, второй выход управл ющего триггера также соединен с первым управл ющим входом блока определени  координат метки, второй управл ющий вход которого подключен к первому ршформационному входу управл ющего триггера и выходу первого

Description

блока распознавани  метки, трет управл ющий вход - к выходу блока распознавани  метки и второму инфор мационному входу управл ющего триггера , четвертый и п тый управл ющий входы - соответственно к второму и третьему выходам блока счетчиков, выход которого подсоединен к управл ющим входам первого и второго блоков распознавани  метки, информационный вход первого блока распознавани  метки соединен с выходом первого блока преобразовани  оптических сигналов в электрические дискретные сигналы и с первым Ш1формационным входом первого коммутатора, информационный вход второго блока распознавани  метки соединен с выходом второго блока преобразовани  оптических сигналов в электрические дискретные сигналы и с вторьв4 информационным входом первого коммутатора, первый, второй и третгй выходы блока определени  координат метки соединены соответственно с первым, вторым и третьим входами блока переключени , четвертый вход которого подклочен к выходу блока формировани  задержки, первый и второй информационные входы второго коммутатора соединены соответственно с выходами блока переключени  ц элемента задержки, управл ющий вход блока запуска  вл етс  запускающим входом устройства.

2.Устройство по п. 1, о т л ичающеес  тем, что блок формировани  задержки содержит т-1 вторых элементов задержки и m регистров сдвига, информационный вход первого из которых-соединен с информационным входом блока и входом первого элемента задержки, выход i-ro элемента задержки подключен к информационному входу соответствующего регистра рдвига и входу (i+1)-ro элемента задержки , тактовые входы регистров сдвига соединены с тактовым входом блока, выходы разр дов регистров сдвига  вл ютс  выходом блока.

3.Устройство по п. 1, о т л ичающеес  тем, что блок переключени  содержит третий коммутатор, первый элемент ИЛИ, первый и второй дешифраторы, 2п четвертых коммутаторов , первые и вторые входы которых

соединены соответственно с третьим и четвертым, входами блока, третьи вхоф1 каждого из четвертых коммутаторов с первого по п подключены к соответствующим выходам первого дешифратора, третьи входы остальных четвертых коммутаторов - к соответствукнцим выходам второго дешифратора, входы первого и второго дешифраторов подсоединены соответственно к первым и вторым выходам третьего коммутатора , первый и второй входы которого соединены соответственно с первым и BTOpbw входом блока, выходы четвертых коммутаторов подключены к входам первого элемента ИЛИ, выход которого  вл етс  выходом блокаi

4. Устройство по п. 1, о т л ичающее с  тем, что блок определени  координат метки содержит второй, третий и четнертьй элемент ИЛИ, с первого по шестой эле .менты И, с первого по п тый SR-триггеры , сумматор, первый, второй и третий счетчики Т-триггер, элемент ИСКЛОЧАЮЩЕЕ ИЛИ, первый вход которого подсоединен к знаковому разр ду сумматора, первый и второй входы которого соединены соответственно с выходами второго и третьего счетчиков , входы сброса которых подключены соответственно к выходам второго и третьего элемента ИЛИ, входы разрешени  счета - соответственно к выходам п того и шестого элементов И, счетные входы - к второму счетному входу блока, второй вход элемента ИСКЛОЧАЮЩЕЕ ИЛИ соединен с первым управл ющим входом блока, счетный вход первого счетчика подклочен к первому счетному входу блока , S-входам первого и второго SRтриггеров , вход разрешени  счета к выходу Т-триггера, вход сброса к входу сброса блока, R-входу Т-триггера , S-входу п того SR-триггера, R-входам третьего и четвертого SRтриггеров , первым входам второго и третьего элементов ШШ, вторые входы которых соединены соответственно с выходами первого и второго элементов И, первые входы которых подключены к R-входам первого и второго SR-триггеров и п тому управл кмцему входу блока, второй вход первого элемента И подключен к второму входу третьего элемента И и инверсному входу третьего SR-триггера, S-вход которого соединен с первым входом четвертого элемента ШШ и вторым управл ющие входом блока, второй вход второго элемента И подключен к второму входу четвертого элемента И и инверсному выходу четвертого SR-триггера, S-вход которого соединен с вторым входом четвертого элемента ИЛИ и третьим управл ющим входом блока, выходы первого и .второго SR-триггероэ подключены соответствен но к первым-входам третьего и четвертого элементов И, выходы которых соединены соответственно с первыми входами п того и шестого элементов И, вторые входы которых подключены к выходу п того SR-триггера, R-вход которого подключен к четвертому управл ющему входу блока, вьпсод четвертого элемента ИЛИ подключен к С-входу Т-триггера, выход элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, разр дные выходы сумматора и первого счетчика  вл ютс  соответственно первым, вторым и третьим выходами блока.

Изобретение относитс  к электронной технике и предназначено дл  контрол  планарных структур, к которым относ тс  незагерметизированные дискретные и интегральные полупровод никовые структуры, толсто-пленочные платы гибридных интегральных микросхем , фотошаблоны. Цель изобретени  - повьшение достоверности результатов контрол . На фиг. 1 представлена структурна  схема предлагаемого устройства дл  контрол  планарных структур; на фиг. 2 - структурна  схема блока сравнени ; на фиг. 3 - структурна  схема первого (второго) коммутатора на фиг. 4 - структурна  схема управ.л кицего триггера; на фиг. 5 - структурна  схема первого (второго) блока распозновани  метки; на фиг. 6 структурна  схема блока счетчиков; на фиг. 7 - структурна  схема блока запуска; на фиг. 8 - ст1)уктурна  схема генератора тактовых импульсов; на фиг. 9 - структурна  схема блока формировани  задержки; на фиг. 10 структурна  схема блока переключени  на фиг. 11 - структурна  схема .треть его коммутатора; на фиг. 12 - структурна  схема блока определени  координат метки. Устройство содержит координатный стол 1, два оптических дефектоскопа 2, первый преобразователь 3 оптических сигналов в электрические дискретные сигналы, второй преобразователь 4 оптических сигналов в элект рические дискретные сигналы, синхронизатор 5, блок 6 сравнени , блок 7 индикации, первый коммутатор 8, второй коммутатор 9, управл ющий триггер 10, первый блок 11 распозновани  метки, второй блок 12 распознавани  метки, блок 13 запуска, блок 14 счетчиков , генератор 15 тактовых импульсов , блок 16 определени  координат метки, элемент 17 задержки, блок 18 формировани  задержки, блок 19 переключени , перва  20 I и втора  20 | схемы совпадени , первый 21j -и второй 212 инверторы; элемент ИЛИ 22, элементы И с 23 по 23, элементы ИЛИ 24 И 242 ЗД-триггеры 25 и 25, элементы И 26| и 26, регистры с 27 по 27. сдвига, с 21 по 27j разр ды соответствующих регистров сдвига, электронное окно 28, коммутационные пол  29( и 29, элементы И с 30, по 30, элементы И с 31 по 31„, первый 32( и второй 32 счетчики, дешифраторы 33f и 33, SR-триггер 34, элемент И 35, элемент 36 задержки, эмиттерный повторитель 37, инверторы с 38 по 38, резистор 39, конденсатор 40, регистры с 41 ( по 4lj сдвига, элементы с 421 по 42 .;| задержки, третий коммутатор 43, первый 44J и второй 44г коммутаторы, 2п четвертых коммутаторов 45, элемент ИЛИ 46, инвертор 47, информационные каналы с 48 по 48- , элементы И 49 и 49, второй 50, третий 50 2 и четвертый 50 элементы ИЛИ, с первого 51 по шестой 51 элементы И, с первого .52, по п тый 52 ; SR-триггеры, первьй 53f. второй 53jj и третий 53j счетчики, Т-триггер 54, сумматор 55, элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ 56, эталонна  пленар на  структура 57, контролируема  планарна  структура 58. В устройстве обеспечиваетс  повы шение достоверности контрол  за счет того, что достигаетс  электронное и автоматическое предварительное совмещение изображений контролируемой и эталонной планарных структур. В предлагаемом устройстве контрол планарных структур дл  выполнени  требуемого совмещени  изображений сравниваемых структур используютс  имеющиес  на этих структурах техноло гические метки, т.е. в устройстве обеспечиваетс  и контролируетс  точное совмещение изображений технологи ческих меток. Корректность такого подхода, т.е. использовани  дл  этой цели меток, определ етс  тем, что он нанос тс  одновременно с основным рисунком (в одном технологическом цикле, с использованием одних и тех же трафаретов, масок и т.п.), и поэтому координатЬ всей структуры могут быть идентифицированы -координатами метки. Целесообразность использовани  меток дл  этой цели, т.е. дл  осуществлени  автоматического предварительного с высокой точностью совмещени  сравниваемых планарных структур дл  последук цего дефектоскопического контрол  на блоке индикации и включающего в себ  распознавание структур, определение разности координат их взаимного положени  и последующего электронного совмещени  определ етс  простотой технической реализации в этом случае, что, в свою очередь, определ етс  такими преимуществами меток, как четкий ипро той геометрический рисунок (как правило , пр молинейный контур), небольшие (по отношению к основному рисунку ) размеры и то, что метки отделены от основного рнсут1ка (т.е. могут быть легко вьщелены),. Устройство работает следующим образом. Сравниваемые планарные Структуры 57 и 58 устанавливаютс  на коорди натный стол 1 и фиксируютс . Увеличенные с помощью дефектоскопов 2 изображени  контролируемой и эталонной планарных структур проецируютс  на мишени видиконов соответствующих преобразователей 3 и 4, в которых происходит квантование, кодирование и фильтраци  сигналов. Преобразованные видеосигналы с выходов преобразователей 3 и 4 поступают соответственно на третий вход коммутатора 8 и на первый вход блока 11, на четвертый вход коммутатора 8 и первый вход блока 12. Работа преобразователей 3 и 4, блоков 14 и 16, генератора 15 синхронизируетс  с помощью строчных и кадровых синхроимпульсов, поступающих с первого и второго выходов синхронизатора 5, причем тактовые импульсы, выдаваемые генератором 15, принудительно синхронизируютс  cTifo4ными и кадровыми синхроимпульсами. Кроме того, кадровые синхроимпульсы, поступающие на второй вход блока 13, используютс  дл  управлени  работой устройства - включени  его в цепь распознавани  и совмещени . Генератор 15 генерирует тактовые импульсы, синхронизированные со строчными и кадровыми синхроимпульсами , поступающими соответственно на его первьш и второй входы. Тактовые импульсы обеспечивают работурегистров сдвига, вход щих в состав блоков 11 и 12, блока 18 и элемента 17 задержки, а также обеспечивает работу блока 16,  вл  сь носител ми временной информации. С выхода генератора 15 тактовые импульсы поступают на первые зходы элемента 17 задержки и блока 18 и на третьи входы блоков 1 4 и 1 6.. Включение устройства и цикл распознавани  и совмещени  осуществл ютс  по командному импульсу (подаваемому оператором путем нажати  соответствующей кнопки), поступающему на вход запуска блока 13. В резуль- . тате, блок 13 обеспечивает пропуск одного из непрерывно поступающей на его второй вход последовательности синхроимпульсов кадрового синхроимпульса . Этот кадровый синхроимпульс разрешени  совмещени  поступает с выхода блока 13 на первый вход триггера 10 и на вторые входы блоков 14 и 16 и устанавливает их в исходное состо ние, тем самым подготавлива  и включа  эти блоки в цикл распознавани  и совмещени . По командному импульсу, поступающему на вход блока 13, первый по времени после этого кадровый синхроимпульс (разрешение совмещено) поступает на второй вход блока 14, котор пропускает по этой команде из после довательности непрерывно поступающи на его третий вход тактовых импульсов m пачек по п тактовых импульсов которые поступают с его первого выхода на вторые входы первого 11 и второго 12 блоков. Одновременно и синхронно с этими импульсами на первые входы этих блоков поступает в темпе развертки информаци  с раст ра мишени видиконрв соответствующих преобразователей 3 и 4. В результате , в электронные окна 28 блоков 11 и 12 записываетс  информаци  с части (или области ) растра мишени види конов соответствующих преобразовате лей 3 и 4, выделенной дл  распознавани . При этом в блоках 11 и 12 происходит непрерывное сравнение получаемого в электронном окне 28 изображени  с изображением метки , записанным в коммутационных пол х 29. В момент совпадени  этих изображений первый 1Г и второй 12 блоки распознавани  метки выдают им пульс распознавани , который с их выходов поступает соответственно на второй или третий входы триггера 10 и на четвертый или п тый вход блока 16. Так как в поло.жении плана ных структур на координатном столе существует рассогласование, а считыва ние изЬбражений происходит строго синхронно, то распознавание меток происходит в разные моменты времени Соответственно, в разные моменты времени выдают импульсы распознаваки  блоки 11 и 12, В зависимости от того, на какой вход триггера 10 второй или третий поступает первым импульс распознавани , т.е. в зависимости от того, на какой планарной структуре - контролируемой или эталонной метка распознаетс  раньше, t триггер 10 выдаёт соответствующие управл ющие воздействи  на первый и второй входы коммутаторов 8 и 9 и-на восьмой вход блока 16. В соответствии с этими воздействи ми (т.е. в соответствии с тем, кака  метка распознана раньше, а точнее, в соответствии с реальным простран-. ственным взаимным положением сравниваемых планарных структур) коммутатор 8 переключает видеосигналы со своих третьего и четвертого входов на первый и второй в.ыходы таким образом, чтобы видеосигнал изображени  той планарной структуры, чь  метка была распознана первой (опережающий видеосигнал), поступил на второй вход блока 18, а второй видеосигнал (отстающий) - на второй вход элемента 17 задержки. Коммутатор 9 обеспечивает выбранный режим контрол  с использованием блока 7. Дл  того , чтобы на экране блока 7 разностна  картина представл лась на фоне изображени  эталонной структуры необходимо , чтобы на первый вход блока 6.и второй вход блока 7 посто нно поступал видеосигнал, соответствующий изображению эталонной планарной структуры. Дл  этого необходимо синхронное переключение входов и выходов обоих коммутаторов 8 и 9, что осуществл етс  в устройстве за счет использовани  дл  управлени  ими одних и тех же управл ющих воздействий , выдаваемь х триггером 10. Эти же управл к цие воздействи  обеспечивают необходимую последовательность вычислени  разности координат взаимного положени  меток в блоке 16. Кадровый синхроимпульс Разрешение совмещени , поступа  на второй вход блока 16, подготавливает (обнул ет ) и включает его в работу. Блок 16 вычисл ет разность координат между метками по ос м X (кодичество тактов ) и У (количество строк) и таким образом определ ет разность координат взаимного положени  сравниваемых планарных структур. На четвертый и п тый входы блока 16 поступают импульсы распознавани  с выходов первого 11 и второго 12 блоков. Эти импульсы разнесены по времени и характеризуют взаимное пространственное положение сравниваемых структур. Определение разности координат по ос м X и У в блоке 16 происходит поразному . Разность координат по оси У i определ етс  числом строчных синхроимпульсов , укладывающихс  между первым и вторым импульсами распознавани . Эта разность всегда положительна . Определение разности коорди нат по оси X происходит иначе. В блоке 16 подсчитываетс  число тактовых импульсов от начала строки до момента поступлени  каждого из импульсов распознавани , эти значени  запоминаютс , а затем вычитаютс , причем, так как взаимное положение меток по оси X не определ етс  тем, кака  метка будет распознана первой а блок 16 всегда выдает результат вычитани  из координаты метки, распознанной второй, координаты метки, распознанной первой (всегда именно в такой последовательности, что обеспечиваетс  поступающим с второго выхода триггера 10 на восьмой вход блока 16 соответствующего управл ющего воздействи ), эта разность может иметь любой знак. Таким образом , блок 16 вычисл ет разность координат положени  сравниваемых стру тур по оси У и абсолютную величину разности и знак разности координат по оси X. Эти значени  в виде соответствующего двоичного кода поступают с первого, второго и третьего выходов блока 16 определени  коорди нат на первый, второй и третий входы блока 19..Дл ,того, чтобы реализ вать требуемое электронное совмещение и в том случае,, когда разность координат по оси X отрицательна, т.е. возникает необходимость не задержать, а ускорить опережающий видеосигнал, в устройстве предусмот рено дополнительна  временна  задержка отстающего ввдеосигнала на врем  п .тактовых импульсов. Эта вре менна  задержка реализуетс  с помощью элемента 17 задержки, выполненного в виде регистра сдвига, содержащего соответственно п разр дов . Таким образом, на первый вход элемента 17 задержки поступает посл дoвaтeль ocть тактовых импульсов, а на второй вход с первого выхода первого коммутатора 8 - отстающий видеосигнал. Этот видеосигнал, . дополнительно задержанный, поступае с выхода элемента 17 задержки на четвертьй вход коммутатора 9. Блок 19 в соответствий с поступающими на его первый, второй .и тре тий входы двоичными кодами, характеризукзЩими разность координат взаи ного положени  сравниваемых пленарн структур, подключает к третьему входу коммутатора 9 выход требуемог одного разр да электронного окна в бира  его из подключенных на его четвертый вход с выхода блока 18 выходов всех разр дов регистров сдвига электронного окна и подклю208 ча  его на свой выход. Тем cawijiM, формируетс  не.обходима  (требуема ) величина временной задержки дл  опережающего видеосигнала. Опереж щий видеосигнал поступает с второго выхода первого коммутатора 8 на второй вход блока 18, на первый вход которого поступают тактовые импульсы. Временна  задержка осуществл етс  блоком 18 за счет того, что блок 19 подключает k третьему входу второго коммутатора 9 выход только одного (требуемого) разр да электронного окна блока 18, формиру  таким образом из элементов этого блока элемент задержки, реализующий , требуемую временную задержку опережающего видеосигнала. Таким образом, в предлагаемом устройстве реализуетс  электронное совмещение изображений cpaвнивae й)}x планарных структур в блоке 7. Второй коммутатор 9 обеспечиваетпосто нство подключени  видеосигнала ,, соответствующего изображению эталонной структуры к первому входу блока 6, видеосигнал, соответствующий изображению контролируемой структуры, подключаетс  к второму входу блока 6. После выполнени  совмещени  изображений контролируемой и эталонной структур осуществл етс  сам процесс контрол , заключающийс  в выделении дефектов контролируемой структуры. В блоке 6 обеспечиваетс  одновременное совмещение позитивного изображени  контролируемой структуры с негативным изображением эталонной и негативного изображени  контролируемой структуры с позитивным изображением эталонной и сложение этих разностных изображен1й. При сложении обоих разностных изображений получаем .полную разностную картину, характеризующую отличие изображени  контролируемой планарной стру1стуры от эталонной. Этот разностный сигнал поступает с выхода блока 6 на первый вход блока 7. С целью визуального наблюдени  изображени  вьщеленных дефектов и их визуальной классификации при настройке устройства, анализе отказов интегральных схем и т.д. на второй вход блока 7 дополнительно подаетс  сигнал, соответструкщий позитивному изображению эталонной структуры, в результате сложени  двух сигналов в блоке 7 воспроизводитс  изображение выделен ных дефектов на фоне частично подав ленного изображени  эталонной топологии , что позвол ет наиболее правильно классифицировать дефекты и осуществить отбраковку дефектных структур. При необходимости цикл распознавани , совмещени  и анализа может быть повторен, дл  этого необходимо на вход запуска блока 13 подать командный импульс. Первый коммутатор 8 видеосигнала работает следующим образом. На первый и второй входы первого коммутатора 8 поступают управл ющие воздействи  (в виде логической единицы 1 или О) соответственно с первого и второго выходов триггера 10, а-на третий и четвертый соответственно видеосигнал изображе ни  контролируемой планерной структуры- (с выхода блока 3) и видеосигнал изображени  эталонной планарной структуры (с выхода блока 4). Таким образом, первый видеосигнал поступа ет на вторые входы второго 232 и третьего 23 элементов И, а второй - на входа первого 23, и четвер того 23X элементов И. Если первой распознана метка на контролируемой планарной структуре, то на первый вход первого коммутатора 8 и соответственно на первые входы первого 23 .и второго 232 элементов И по ступает логическа  1, т.е. на пер вом входе коммутатора 8 устанавлива етс  1, а на втором остаетс  О. В результате, видеосигнал изображен ни  контролируемой планарной структуры (в этом случае опережающий) с выхода второго элемента И 23 поступает на первый вход второго элемента ИЛИ 24, с выхода которого образующего второй выход коммутатора 8, он поступает на второй вход блока 18, который и обеспечивает тре буемую временную задержку этого видео сигнала. Одновременно второй видеосигнал (отстающий) с выхода первого элемента И 23( поступает на первьй вход первого элемента ИЛИ 24, с выхода которого, образующего первый выход коммутатора 8, он поступает на второй вход элемента 17 задержки . Если первой распознана метк 0 .О на эталонной структуре, то на втором входе коммутатора 8 устанавливаетс  1, а на первом остаетс  О и, в результате, на первый выход коммутатора 8 и соответственно на второй вход элемента 17 задержки поступает видеосигнал изображени  контролируемой планарной структуры (в этом случае отстающий), а на второй выход и соответственно на второй вход блока 18 - видеосигнал эталонной структуры (в этом случае опережающий). Таким образом, на второй вход блока 18 всегда обеспечиваетс  поступление опере.жающего видеосигнала. Второй коммутатор 9 выполнен и работает аналогично первому коммутатору 8 видеосигнала, обеспечива  посто нство на своих выходах: на первом - видеосигнала, соответствующего эталонной планарной структуре, на втором - видеосигнала, соответствующего контролируемой планарной структуре, что достигаетс  синхронностью работы обоих коммутаторов 8 и 9 видеосигнала. Синхронность работы обеспечиваетс  общим управлением, осуществл емым триггером 10. Триггер 10 работает следующим образом. По команде Разрещение совмещени  управл ющий триггер 10 подготавливаетс  к работе, а именно кадровый синхроимпульс Разрешение совмещени  поступает на первый вход управл ющего триггера 10 и соответственно на R-входы первого 25 t и второго 25 SR-триггеров, обнул   их (на пр мых. выходах устанавливаетс  О, на инвареных - 1). В результате, на первых входах первого 26 и второго 26 элементов И устанавливаютс  1, поступакмцие с инверсных выходов соответственно первого 25( и второго 252 SR-триггеров. Если первой распознана метка на контролируемой планарной структуре, то импульс распознавани  с выхода первого блока 11 поступает на второй вход триггера 10 и соответственно на второй вход второго элемента И 26, на первьй вход которого 1 уже подана. В результате, с выхода второго элемента И 26 сигнал поступает на S-вход первого SR-триггера 25,, и он опрокидываетс . При этом на его пр мом выходе устанавливаетс  1, на инверсном - О. В результате, на первом входе элемента И 26V устанавливаетс  О, т.е. он запираетс  и прохождение сигнала (импульса распознавани ) о р спознавании метки на эталонной планарной структуре на S-вход второго SR-триггера 25 исключаетс . Таким образом, на первом выходе управл нлцего триггера 10 устанавливаетс  1, а на втором - О. Если первой распознана метка на эталонной планарной структу ре, то триггер 10 работает аналогично , но в результате на его первом выходе устанавливаетс  О, а на втором - 1.

Влок 11 работает следующим образом На первый вход блока 11 и соответственно на информационный вход первого регистра 27( электронного окна 28 с выхода преобразовател  3 поступает квантованный по уровн ю

и кодированный видеосигнал, (в виде последовательности логических 1 и О, причем метке соответствует а фону - О), соответствующий . контролируемой планарной структуре. На его второй вход и соответственно на тактовые входы всех регистров 27 с первого выхода блока 14 поступают m пачек из п тактовых импульсов, которые этот блок пропускает из непрерывно поступающей на его третий вход последовательности тактовых импульсов при поступлении на его второ вход кадрового синхроимпульса Разрешение совмещени  (т.е. поступает с первого по п-й тактовые импульсы первой строки, затем пропуск, затем с первого по п-й тактовые импульсы второй строки, оп ть пропуск и т.д. . по щ-ю строку включительно). В соответствии с этим в регистры 27., образующие электронное окно 28, считываес  ннфорйаци  с требуемого выделенного дл  распознавани  участка растра мишени, видикона преобразовавтел  3, который имеет размеры nxm (т.е. га строк с первой по т-ю и п тйктов с первого по п-й). Записываема  информаци  последовательно смещаетс  по разр дам регистров 27 сдвига

В соответствии с предварительными сведенй ми о конфигурации и размерах метки на коммутационных пол х 29 до начала работы набираетс  (записываетс ) их изображение, причем на пер вом коммутационном поле 29j замыкаютс  контакты, соответствующие конфигурации метки, а на втором поле 29

наоборот - контакты вне ее, остальные контакты разомкнуты. Так как входы всех контактных  чеек первого коммутационного пол  29j подключены к пр мым выходам соответствующих разр дов регистров 27 электронного окна 28, а входы второго коммутационного пол  29 - к их инверсным выходам, в момент совпадени  перемещающегос  по электронному окну 28 изображени  с изображением, записанным на коммутационных пол х 29, с выходов -замкнутых контактных  чеек коммутационных полей 29 на все входы первого 30, и второго 30 элементов И поступает логическа  1, с выходов которых она поступает на соответствующие входы третьего элемента И 30j. В результате на выходе третьего элемента И 30 и соответственно на выходе блока 11 по вл етс  логическа  1 - импульс распознавани . Если хот  бы один рлемент изображени , полученного в электронном окне 28, не совпадает с изображением первого коммутационного Пол  29{ (дл  пр мых выходов соответствующих разр дов регистров 27) или второго коммутационного пол  29 (дл  инверсных выходов тех же разр дов), то импульс распознавани  блоком 11 метки не выдаетс , т.е. если метка на планарной структуре имеет инзто, чем требуема , конфигурацию , то она не распознаетс  и совмещение сравниваемых планарных структур , а следовательно, и дефектоскопи  не производ тс .

Блок 12 выполнен и работает аналогично блоку 11. Он осуществл ет распознавание метки на эталонной планарной структуре. t ...

Блок 13 работает следующим образом .

Исходно SR-триггер 34 находитс  в состо нии О, таким образом, на втором входе элемента И 35 присутст вует О, что преп тствует прохождению на вход блока кадровых сийхроимпульсов , поступающих на второй вход блока 13 и соответственно на первый вход элемента И 35. Кактолько на S-вход SR-триггера 34 поступает командный импульс, имеющий потенциал 1, SR-триггер опрокидываетс  в состо ние 1. Поскольку его пр мой вы- ход подключен к второму входу элемента И 35, последний таким образом подготавливаетс  к пропуску кадрового синхроимпульса из последовательности непрерывно поступающих на его первый вход кадровых синхроимпульсов Первый после этого поступивший на второй вход блока 13 и соответственно на первый вход -элемента И 35 кадровый синхроимпульс поступает с выхо да элемента И 35 на выход и на вход элемента 36 задержки. После необходи мой задержки, обеспечивающей пропуск только одного кадрового синхроимпуль са, этот импульс поступает с выхода элемента 36 задержки на, R-вход SRтриггера 34 и устанавливает его в исходное состо ние О, тем самым снима  1 с второго входа элемента И 35, т.е. запира  его, преп тству  прохождению последующих кадровых синхроимпульсов на выход блока. В ре зультате J блок 13 переводитс  в ксходное состо ние. Блок 14 работает следующим образом . После того, как кадровый синхроим пульс Разрешение совмещени  с выхо да блока 13 поступает на R-вход (вхо обнулени ) второго счетчика 32, npd исходит сброс (обнуление) этого счет чика, и он подготавливаетс  к новому циклу работы (счета). Св занный с этим счетчиком второй дешифратор 33 устроен и работает так, что при нали чии на его входе соответствующего текущему значению номера строки с первой по т-ю на его выходе присут ствует сигнал, который снимаетс , как только текущее значение номера строки становитс  больше т. Таким образом, после-обнулени  второго счетчика 32, на выходе второго деши-2 на выходе второго дешифратора 33. ,j по вл етс  сигнал, который поступи рый поступает на третий вход третьего элемента И 31з и второй вход первого элемента И 31, обеспечив тем самым пропуск поступающих на первый вход первого элемента И 31 строчных синхроимпульсов на счетный вход второго счетчика 32. Аналогично каж дый из строчных синхроимпульсов, поступа  на R-вход (вход обнулени ) первого счетчика 32,, обеспечивает сброс (обнуление) этого счетчика и, тем самым, подготовку его к новому циклу работы (счета). Св занный с этим счетчиком первый дешифратор 33 устроен и работает так, что при нали чии на его входе кода, соответствующего текущему значению номера тактового импульса с первого по п-й (в каждой строке), на его выходе присутствует сигнал, который снимаетс , как только текущее значение номера тактового импульса становитс  больше п. Таким образом, после обнулени  первого счетчика 32 на выходе первого дешифратора 33 по вл етс  сигнал, который поступает на второй вход третьего элемента И ЗЦ и второй вход второго элемента И З., обеспечив, тем самым, пропуск поступающих на первый вход второго элемента И 312 тактовых импульсов на счетный вход первого счетчика 32. В результате, после поступлени  на его второй вход кадрового синхроимпульса Разрешение совмещени  блок 14 подготавливаетс  к пропуску на его первый выход поступающих на его третий вход тактовых импульсов в требуемом дл  этого колич стве и пор дке (т последовательностей из п тактовых.импульсов или m пачек по п тактойых импульсов с требуемым временным интервалом между ними), что осуществл етс  следующим образом. Наличие на втором и третьем входах третьего элемента И 31.j сигналов , поступающих с выходов соответственно первого 33j и второго 33, дешифраторов, обеспечивает пропуск поступающих на его первый вход тактовых импульсов на первый выход бло- ка 14. После отсчета первых п тактовых импульсов на выходе первого дешифратора 33, и соответственно на вторых входах второго 31 и третьего 31 элементов И сигнал снимаетс  и тем самым, прекращаетс  поступление тактовых импульсов соответственно на счетный вход первого счетчика 32| и на первый выход блока 14. Информаци  об отсчете первых п тактовых импульсов поступает также с выхода первого дешифратора 33,х на третий выход блока 14 и соответственно на седьмой вход блока 16 Точно также следующий по пор дку строчный синхроимпульс обнул ет первый счетчик 32, в результате по вл етс  сигнал на выходе первого дешифратора 33 j и со- ответственно на вторых входах второго 31 и третьего 31j элементов И, и цикл работы блока 14 повтор етс , т.е. обеспечиваетс  пропуск следуюей пачки из п тактовых )импульсов а первый выход блока и т.д. Одновременно второй счетчик 32 считает количество поступающих на его счетный вход строчных синхроимпульсов После отсчета первых m строчных синхроимпульсов на выходе второго дешифратора 33л и соответственно на втором входе первого элемента И 31 и третьем входе третьего элемента И 31 снимаетс  сигнал и, тем самым, прекращаетс  поступление строчных синхроимпульсов на счетный вход второго счетчика 322 и тактовых импульсов на первый вход блока 14. Информа ци  об отсчете первых m строк (строч ных синхроимпульсов) в кадре поступает также с выхода второго дешифратора 33 на второй выход блока 14 и соответственно на шестой вход блока 16. Блок 16- работает следующим образо В работе блока 16 можно выделить три составных элемента: подготовка и включение блока в -работуj определе ние разности координат взаимного положени  сравниваемых структур по оси У; определение разности координат взаимного положени  сравниваемых планарных структур по оси X. По команде Разрешение кадровый синхроимпульс Разрешение совмещени  поступает с выхода блока 13 на второйвход блока 16. При этом он поступает на R-входа (входы обнулени ) Т-триггера 54, третьего 52- и четвертого 52 SR-триггеров, на вход обнулени  первого, счетчика 53., а через второй 50) и третий 502 элементы РШИ на входы обнулени  соответственно второго 53 и третьего 33 счетчиков обеспечива  их обнуление, и на S-вхо п того SR-триггера 525, опрокидыва  его в 1 и, тем самым, обеспечива  наличие 1 на вторых входах п того 515 и шестого 51 элементов И. В результате, блок 16 подготавливает с  к работе. В блоке вычисл етс - разность координат межиУ метками по ос м X (в числе тактов) .и У (в числе строк), и таким образом определ етс  разность координат взаимногч положени  сравниваемых йланарных структур дл  выполнени  последующего электронного совмещени  их изображе-ний в блоке 7. Разность взаимного положени  сравниваемых планарных структур по оси 3 в блоке 16 вычисл етс  путем подсчет целого числа строчных синхроимпуль- сов, укладывающихс  между импульсами 0 распознавани , поступающими из первого 11 и второго 12 блоков соответственно на его четвертый и п тый входы. В зависимости от того, кака  метка распознана первой - метка на контролируемой планарной структуре или на эталонной первый импульс распознана- ни  поступает соответственно на четвертьй или п тый входы блока 16 и соответственно на первьй или второй вход четвертого элемента ИЛИ 50 с выхода которого импульс потенциала 1 поступает на С-вход Т-триггера 54, который опрокидываетс  в состо ние 1 и с выхода которого 1 поступает на вход Разрешение счета первого счетчика 53)/. В результате, первый счетчик 53 начинает считать строчные синхроимпульсы, непрерывно поступающие на первый вход блока 16 и соответственно на счетный вход это го счетчика. После прихода второго импульса распознавани  Т-триггер 54 опрокидываетс  в состо ние О, О с его выхода поступает на вход Разрешение счета первого счетчика 53j и запрещает счет. В результате, на выходах первого счетчика 53( сформируетс  двоичный код координаты У разности координат взаимного положени  сравниваемых планарных структур, соответствующий количеству строчных синхроимпульсов (строк), укладывающихс  по времени между первым и вторым импульсами, распознавани . Этот код (координата У) поступает на третий выход блока 16. Разность координат взаиу1ного положени  сравниваемых планарных структур по оси X в блоке 16 вычисл етс  следующим образом. .Определ етс  координата X каждой из.распознаваемых меток , а именно подсчитываетс  число тактовых.импульсов (тактов) от начала строки до момента поступлени  соответствующего импульса распознавани . Дл  этой цели используютс  второй 53 и третий 53 счетчики. Если распознавани  метки не происходит, то строчной синхроимпульс обнул ет эти счетчики. ЕСли распознавание произошло, т.е. если поступил импульс распознавани , то число тактовых импульсов от начала строки до момента распознавани ,, т.е. до поступлени  импульса распознавани , запоми- наетс . Эти значени  поступают в сумматор 55, где определ етс  координата X разности положени  сравниваемых планарных структур, причем в зависимости от взаимного положени  меток эта разность -имеет знак + или -. Итак, определение координаты X в блоке 16 определени  координат происходит следующим образом. Строчной синхроимпульс, поступа  на S-входы первого 52j и второго 52 SR-триггеров, опрокидывает их в поло жение 1. 1 с выхода этих SR-триг геров поступает на первые входы соот ветственно третьего 51 и четвертого 51 4 элементов элементов И, на вторые входы которых 1 подана с ин BepcfiHX .выходов третьего 52 и четвертого 524 SR-триггеров (кадровый синхроимпульс Разрешение совмещени  подготавлива  блок 16 к работе, обнул ет эти SR-триггеры). 1 с вы хода третьего 51, и четвертого 514 элементов И поступает на первые входы соответственно п того 51j и шестого 51 элементов И, на вторые входы которых 1 подана с выхода п того SR-триггера 52 (кадровьш синхроимпульс Разрешение совмещени , подго тавлива  блок16 к работе, опрокидывает , этот триггер в I) 1 с вы ходов этих элементов И поступает на входы разрешени  счета соответственно второго 532 третьего 532 счетчиков, которые начинают считать поступающие на их счетные входы с третьего входа блока 16 (тактовые , импульсы поступают непрерывно на тре тий вход блока 16) тактовые импульсь| Если распознавани  меток не произошло (т.е. импульсы распознавани  не поступили), то поступающий с третьего выхода блока 14 на седьмой вход блока 16 и соответственно на R-входы первого 52, и второго 52 SR-триггеров сигнал обнул ет их.. О с выхода этих SR-триггеров поступает на пер-. вые входы соответственно третьего 51 и четвертого 51ц элементов И, с выхо да которых он поступает на первые ВХОДЭ1 соответственно п того шестого 51g элементов И, с выхода . которых - на входы разрешение счета соответственно второго 53 и третьего 53 счетчиков, запреща , тем самым , счет. Кроме того,сигнал с треть- т его выхода блока 14 поступает на пер вые входы первого 51 и второго 51 элементов И, на вторые входы которых подана с инверсных выходов соответственно третьего 52.J и четвертого 524 SR-триггеров (кадровый синхроимпульс . Разрешение совмещени , подготавлива  блок 16 к работе, обнул ет эти SR-триггеры). В результате , 1 с выходов первого 51 и второго 512 элементов И поступает на вторые входы соответственно первого и второго 50 элементов ИЛИ, с выходов которых она поступает на входы обнулени  соответственно второго 532 третьего 53 счетчиков, обнул   их. При поступлении следующего строчного синхроимпульса цикл работы блока 16повтор етс . Если метка распознаетс , т.е. на четве тый или п тый входы блока 16 поступает импульс распознавани , то (дл  определенности предположим, что импульс распознавани  поступил на четвертый вход блока 16 и соответственно на S-вход третьего SR-триггег:. / ра 52), поступа  на S-вход третьего SR-триггера 52з, этот импульс опрокидывает триггер в 1. О с инверсного выхода этого SR-триггера поступает на вторые входы первого 51 и третьего 51 - элементов И, с дов которых он передаетс  соответственно на второй вход второго элемента ИЛИ 501 и на первый вход п того элемента И 51., с выходов которых он поступает соответственно на вход обнулени  второго счетчика 532 предотвраща  его обнуление сигналом с третьего выхода блока 14, и на вход разрешени  счета этого же счетчика, обеспечива  запоминание в нем числа тактовых импульсов с начала текущей строки до прихода импульса распознавани  (т.е. до момента распознавани  метки). Это сформированное (в виде двоичного кода) на выходе второго счетчика 532 значение поступает на первый вход сумматора 55. Сброс этого значени  может тепер1ь осуществить тс)лько следующий, кадровый синхроимпульс Разрешение совмещени . До того, как поступит сигнал о распознав вании второй метки (второй импульс распознавани  на п тый вход блока 16), третий счетчик 53 подсчитывает число тактовых импульсов с начала каждой строки (текущей) до сигнала с третьего выхода блока 14 и обнул етс  этим сигналом и т.п. Как только на п тый вход блока 16 поступает второй импульс-распознавани  (сигнал о распознавании второй метки) и в третьем /счетчике 53}. происходит запоминание числа тактовых импульсов от начала т кзтцей строки до момента прихода им-пульса распознавани , код этого знач ни  поступает с выхода третьего счет чика 533 на второй вход сумматора 55 работающего в режиме вычитани , в ко тором из значени , поступающего на первый вход (т.е. из координаты метки на контролируемой планарной струк туре), вычитаетс  значение, поступаю щее на второй вход (т.е. координата метки на эталонной планарной структуре ), причем вне зависимости от того кака  из этих меток распознана первой , В результате, абсолютное значение этой разности, т.е. разности ко ординат взаимного -положени  сравниваемых планарных структур по оси X, и ее знак поступают соответственно на второй и первый выходы сумматора 55. Дл  согласованной работы бло ков 16 и 19 (т.е. дл  правильного формировани  требуемой временной задержки опережающего видеосигнала) необходимо, чтобы блок 16 выдавал результат вычитани  из координаты метки, распознанной второй, координаты метки, распознанной первой. Этот результат отличаетс  от .выдавае мого сумматором 55 только знаком и только в том случае, .если-первой распознана метка на контролируемой планарной структуре. Дл  необходимой коррекции знака разности используетс  элемент ИСКШОЧАЮЩЕ ИЛИ 56. В том случае, когда первой распознана метка на контролируемой планарной структуре, с второго выхода триггера 10 на восьмой вход блока 16 и со-° ответственно на второй вход элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ, ИЛИ 56-поступает О. В результате, на второй выход блока 16 поступает с второго выхода сумматора 55 абсолютное значение разности координат взаимного положени  меток по оси X (точнее, соответствующий этому значению код), а на первый выход с выхода элемента ИСКЛЮ ЧАЮЩЕЕ 11ПИ 56 - код знака, противоположного знаку, выдаваемому сумматором 55, т.е. этот результат соответствует требуемому и обеспечивает правильное формирование временной задержки. Если первой распознана метка на эталонной планарной структуре , то на второй вход элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ШШ 56 поступает 1 и, в результате, на первьй выход блока 16 поступает код знака, вьщаваемый сумматором 55. Таким образом, абсолютное значение разности координат взаимного положени  сравниваемых планарных структур по оси X и ее знак поступают соответственно на второй и первый выходы блока 16 определени  координат . Блок 16 работает следующим образом . На информационные входы регистра 41 поступает информаци  (в нашем случае видеосигнал), на тактовые входы регистров 41 - последовательность тактовых импульсов, в результате происходит последовательна  запись информации в раз1Ь ды регистров , но, в.отличие от известных примеров использовани , электронное окно в. предлагаемом устройстве позвол ет получить требуемую временную задержку видеосигнала. В предлагаемом устройстве в регистр 41 блока 18 информаци  поступает пр мо с выхода соответствующего преобразовател  3 или 4 и записываетс  без задержки, в. регистр 41 эта информаци  поступает уже с задержкой на одну строку, что обеспечиваетс  элементом 42( задержки, в регистр 41,с задержкой на две строки, что обеспечиваетс  последовательным включением элементов 42( и 42 заде рйжи и т.д. Использу  выходы разр дов каждого из регистров 41 сдвига , можно получить требуемую временную задержку опережающего видеосигнала , т.е. подсоедин   к входу блока 7 выход нужного разр да соответствующего регистра 41, получаем требуемую временную задержку, причем номер регистра 41 соответствует числу строк, а номер разр да этого регистра - числу тактов и знаку, сформированным в блоке 16 в соответствии с реальной разницей в положении сравниваемых планарных структур. Блок 19 работает следующим образом . . На первьй, второй и третий входы блока 19 поступают (с соответствующих выходов блока 16) двоичные коды, соответствующие знаку разности координат положени  сравниваемых пла ЙР:

Hbjx структур по оси.Х, абсолютному значению этой разности и значению разности координат положени  сравниваемых планарных структур по оси У. Соответствейно первые два кода по- 5 ступают на первый и второй входы . коммутатора 43, который работает следующий образом. Каждый элемент кода,, имеющий значение 1 или О, поступает на вход соответствующего Ю информационного канала 48 (/ и соответственно на вторые входы перво-го 49-f и второго 49, элементов И . На первый вход второго элемента И 49 всех информационных каналов 48 посту-15 пает сигнал (1 или О) с выхода инвертора 47, а первые входы первых элементов И 49, всех информационных каналов 48 объединены с входом инвертора 47. Таким образом, если20 разность координат положени  сравниваемых планарных структур по оси X положительна, то на первый вход мутатора 43 знака и соответственно на вход инвертора 47 и первые вхо 25 да. первых элементов И 49с всех информационных каналов поступает 1 . (на первые входы вторых элементов И 492 всех информационных канатов 48 поступает О с выхода ин- 30 вертора 47), в результате обеспечиваетс  пропуск кода с второго входа коммутатора 43 знака на его второй выход. Если разность координат отрицательна, то на первый вход « коммутатора 43 знака и соответственно на вход инвертора 47 и первые входы первых элементов И 49, всех информационных каналов 48 поступает О. С выхода инвертора 47 на дО первые входы вторых элементов И всех информационных каналов 48 поступает 1, в результате обеспечиваетс  пропуск кода с второго входа коммутатора 43 знака на его первый вы- 45

ход..

I-

Таким образом, двоичный код, соответствующий разности положени  сравниваемых планарных структур по оси X (с учетом знака разности), 50 с первого или второго выхода коммутатора 43 знака поступает на вход либо первого 44д, либо второго 44 дешифраторов. Дешифраторы 44 преобразуют поступан ций на их входы двоич-55 ный код в дес тичный, т.е. в результате преобразовани  1, сформируетс  только на одном, соответствующем

значению разности координат взаимого положени  сравниваемых планарных структур по оси X, выходе одного из дешифраторов. Эта 1 поступает на третий вход соответствующего (имещего соответствующий номер) одного коммутатора 45, тем самым только этот коммутатор 45 подготавливаетс  к пропуску видеосигнала. К второму входу каждого коммутатора 45 столбца подключен выход столбца регистров 41 блока 18, который образуют объединенные в подгруппу разр ды, имеющие тот же номер, всех регистров 41 сдвига блока 18. В результате, подготавливаете подключение к третьему входу коммутатора 9 выхода одгЛэго из тех разр дов регистров 41 блока 18, которые имеют соответствующий величине разности координат положени  срав ниваемых планарных структур по оси X номер и, тем самым, обеспечиваетс  (путем формировани , таким образом, необходимой временной задержки) требуемое смещение изображени , соответствующего опережающему видеосигналу, на блоке 7 по оси X. На третий вход блока 19 и соответственно на первые входы всех коммутаторов 45 с третьего выхода блока 16 поступает соответствующий значению координаты У двоичный код, т.е. код соответствующего этой разности положени  сравниваемых планарных структур по оси У числа строк. В результате, в каждом коммутаторе 45 осуществл етс  дл  подключени  .на его выход выбор одного из подключенньге на его второй вход выходов одноименных разр дов регистров 41 блока 18, а именно разр да того регистра 41, номер которого соответствует коду координаты У, т.е. числу строк, на которое необходимо сместить изображение, соответствующее опережающему видеосигналу на блоке 7 по оси У дл  выполнени  требуемого срвмещени  изображений сравниваемых планарных структур. Но только в одном коммутаторе 45 обеспечиваетс  подключение выхода этого разр да соответствующего регистра 41 на выход коммутатора 45 и соответственно через элемент ИЛИ 46 на выход блока 19. Итак, блок 19 обеспечивает в соответствии с поступающими на его первый, второй и третий входы координатами разности попожени  сравниваемых пленарных струк тур подключение на его выход из всех, подключенных на его четвертый вход выходов разр дов регистров 41 блока 18 выход только одного, соответствующего этим координатам (т.е. числу строк, числу и знаку тактов), разр да, т.е. подключение выхода только этого одного разр да регистСС I

2 опт ф

Юпт

канал кана/j

о-$j I разреме/ ие

1 0 -24 ра 41 к третьему входу коммутатора 9. Таким образом, блок. 19 формирует с помощью элементов 42 задержки и разр дов регистров 41 блока 18 необходимую дл  выполнени  точного совмещени  в блоке 7 изображений сравниваемых планарных структур временную задержку опережающего вндеЬсигнала .

Т t t

.Ш1Ш

ГгтЧ

г

/V

JL,.1.J:

w.

q:CISI -L ns -.

.

27/

f

FO

Разрешение ф-riУУГ- -Ф Ф Ф Ф Ф

4 4 Ф j/ 4

-2 -/

7 +2

+77 |

ИП 1j-- - «. iWil-li nr II II

PplLl2--J- .1 jjJ / i у I , I I

ффффФv4V жзCmonSubi T.№ , Ф i г ul,;H i ili. Ui iri, n-u -i-i -2-й -1-й H-u 2-и -i-й i-n-u - II I I l. 40.,.И j -2 -7 Фиг.З

112.11

yv

4X

TSi.

c;

CM

&

rj

Claims (4)

1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПЛАНАРНЫХ СТРУКТУР, содержащее два оптических дефектоскопа, соединенные выходами с входами соответственно первого, и второго блоков преобразования оптических сигналов в электрические дискретные сигналы, к входам · строчной и кадровой синхронизации которых подключены соответственно первый и второй выходы синхронизатора, блок сравнения,· выход которого соединен с первым входом блока индикации, второй вход которого подключен к перв8му входу блока сравнения, отличающееся тем, что, с целью повышения достоверности результатов контроля, в устройство введены первый и второй коммутаторы, управляющий триггер, первый и второй блоки распознавания метки, блок запуска, гене* ратор тактовых импульсов, блок определения координат метки, первый элемент задержки, блок формирования задержки, блок переключения, блок счетчиков, первый счетный вход которого подключен к первому управляющему входу генератора тактовых импульсов, к первому счетному входу блока определения координат метки и к первому выходу синхронизатора, второй выход которого соединен с вторым управляющим входом генератора тактовых импульсов и с информационным входом бло ка запуска, подключенного выходом к входу сброса управляющего триггера, второму счетному входу блока счетчи ков и входу сброса блока определения координат метки, второй счетный вход которого соединен с тактовым входом . блока счетчиков, выходом генератора тактовых импульсов, тактовым входом блока формирования задержки и первым входом элемента задержки, второй вход которого подсоединен к первому выходу первого коммутатора, подключенного вторым выходом к информационному 1 входу блока формирования задержки, первый и второй выходы второго ком мутатора соединены соответственно с первым и вторым входами блока срав нения, первый и второй управляющие входы первого коммутатора соединены ошшт соответственно с первым и вторым управляющими входами второго коммутатора и с первым и вторым выходами ^L управляющего триггера, второй выход ’ управляющего триггера также соединен с первым управляющим входом блока определения координат метки, второй управляющий вход которого подключен к первому информационному входу управ ляющего триггера и выходу первого блока распознавания метки, третгё управляющий вход - к выходу блока распознавания метки и второму информационному входу управляющего триггера, четвертый и пятый управляющий входы - соответственно к второму и третьему выходам блока счетчиков, выход которого подсоединен к управляющим входам первого и второго блоков распознавания метки, информационный вход первого блока распознавания метки соединен с выходом первого блока преобразования оптических сигналов в электрические дискретные сигналы и с первым информационным входом первого коммутатора, информационный вход второго блока распознавания метки соединен с выходом второго блока преобразования оптических сигналов в электрические дискретные сигналы и с вторым информационным входом первого коммутатора, первый, второй и третий выходы блока определения координат метки соединены соответственно с первым, вторым и третьим входами блока переключения, четвертый вход которого подключен к выходу блока формирования задержки, первый и второй информационные входы второго коммутатора соединены соответственно с выходами блока переключения ц элемента задержки, управляющий вход блока запуска является запускающим входом устройства.

2. Устройство по π. 1, о т л ичающееся тем, что блок формирования задержки содержит т-1 вторых элементов задержки и m регистров сдвига, информационный вход первого из которых соединен с информационным входом блока и входом первого элемента задержки, выход i-ro элемента задержки подключен к информационному входу соответствующего регистра рдвига и входу (i+1)-ro элемента задержки, тактовые входы регистров сдвига соединены с тактовым входом блока, выходы разрядов регистров сдвига являются выходом блока.

3. Устройство по п. ^отличающееся тем, что блок переключения содержит третий коммутатор, первый элемент ИЛИ, первый и второй дешифраторы, 2п четвертых коммутаторов, первые и вторые входы которых 'соединены соответственно с третьим й четвертым, входами блока, третьи входы каждого из четвертых коммута торов с первого по η подключены к соответствующим выходам первого дешифратора, третьи входы остальных четвертых коммутаторов - к соответствующим выходам второго дешифратора, входы первого и второго дешифраторов подсоединены соответственно к первым и вторым выходам третьего коммутатора, первый и второй входы которого соединены соответственно с первым и вторым входом блока, выходы четвертых коммутаторов подключены к входам первого элемента ИЛИ, выход которого является выходом 6noKai

4. Устройство по п. ^отличающее ся тем, что блок определения координат метки содержит второй, третий и четвертый элемент ИЛИ, с первого по шестой элементы И, с первого по пятый SR-триггеры, сумматор, первый, второй и третий счетчики_г Т-триггер, элемент ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, первый вход которого подсоединен к знаковому разряду сумматора, первый и второй входы которого соединены соответственно с выходами второго и третьего счетчиков, входы сброса которых подключены соответственно к выходам второго и третьего элемента ИЛИ, входы разрешения счета - соответственно к выходам пятого и шестого элементов И, счетные входы - к второму счетному входу блока, второй вход элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ соединен с первым управляющим входом блока, счетный вход первого счетчика подключен к первому счетному входу блока, S-входам первого и второго SRтриггеров, вход разрешения счета к выходу Т-триггера, вход сброса к входу сброса блока, R-входу Т-триггера, S-входу пятого SR-триггера, R-входам третьего и четвертого SRтриггеров, первым входам второго и третьего элементов ИЛИ, вторые входы которых соединены соответственно с выходами первого и второго элементов И, первые входы которых подключены к R—входам первого и второго SR-триггеров и пятому управляющему _;входу блока, второй вход первого элемента И подключен к второму входу третьего элемента И и инверсному входу третьего SR-триггера, S-вход которого соединен с первым входом четвертого элемента ИЛИ и вторым управляющие входом блока, второй вход второго элемента И подключен к второму входу четвертого элемента И и инверсному выходу четвертого SR-триггера, S-вход которого соединен с вторым входом четвертого элемента ИЛИ и третьим управляющим входом блока, выходы первого и второго SR-триггеров подключены соответственно к первым входам третьего и четвертого элементов И, выходы которых соединены соответственно с первыми входами пятого и шестого элементов И, вторые входы которых подключены к выходу пятого SR-триггера, R-вход которого подключен к четвертому управляющему входу блока, выход четвертого элемента ИЛИ подключен к С-входу Т-триггера, выход элемента ИСКЛЮЧАЮЩЕЕ ИЛИ, разрядные выходы сумматора и первого счетчика являются соответственно первым, вторым и третьим выходами блока.