SU1180685A1

SU1180685A1 - Датчик линейных перемещений

Info

Publication number: SU1180685A1
Application number: SU823491960A
Authority: SU
Inventors: Лев Захарович Дич; Владимир Андреевич Забелин; Евгений Рафаилович Маламед; Галина Николаевна Рассудова; Юрий Сергеевич Скворцов; Владимир Петрович Трегуб
Original assignee: Предприятие П/Я А-1705
Priority date: 1982-09-16
Filing date: 1982-09-16
Publication date: 1985-09-23

Description

1

Ии)бр(УГРНие относитс к VfJMfригельной техники и может быть исполыювано дл измерени перемещс кий подвижных элементов но двум координатам.

Целью изобретени вл етс обеспечение возможности измерени неремещений по двум координатам.

На фиг. 1 изображена оптическа схема датчика линейных перемещений; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1 .

Датчик линейных перемещений содержит источник 1 света и последовтельно расположенные по ходу оптического излучени конденсор 2, неподвижную прозрачную дифракционную решетку 3, выполненную с двум крестообразно расположенными группами 4 и,5 штрихов, пересекающимис под углом 90 , оптический клин 6, установленный так, что его главное сечение составл ет со штрихами решеток угол, равный 45 , подвижную отражательную дифракционную решетку 7, выполненную с ортого нально расположенными группами 8 штрихов, собирающие линзы 9-12 и фотоприемники 13. Конденсор 2 оптически св зан с зоной пересечени штрихов групп 4 и 5.

Датчик работает следующим образом .

Источник 1 света наход щийс в фокальной плоскости конденсора 2 освещает параллельным пучком зону пересечени штрихов групп 4 и 5, нанесенных на прозрачной решетке 3

06852

Шгрихи групп 4 и 5 ориентированы параллельно соответствующим штрихам ортогональной системы 8 штрихов на отражательной дифракционной решетке 7. В результате дифракции света на пересекающихс штрихах решетки 3 образуетс набор дифракционных пор дков , которые отража сь от дифракционной решетки 7, вновь попадают на группьг 4 и 5 штрихов прозрачной решетки 3, но вне зоны их пересечени . С помощью собирающих линз 9-12 прошедший решетку 7 свет фокусируетс на светочувствительных площадках фотоприемников 13.

Путем разворота оптического клина 6 в двух взаимно перпендикул рных плоскост х добиваютс сдвига фаз, равного Ж/2, сигналов на в выходах фотоприемников 13 каждой из пар, установленных по направлени м измерени перемещени . Конструкци датчика обеспечивает выполнение конденсора 2, собирающих линз 9 - 12 и прозрачной дифракционной решетки 3 в виде единого блока, что уменьшает габариты и повьш1ает надежность датчика.

Таким образом, выполнение неподвижной дифракционной решетки с двум крестообразно расположенными группами штрихов, а подвижной дифракционной решетки - с ортогонально расположенными группами штрихов установленных описанным образом, позвол ет измер ть перемещени по двум координатам при сохранении малых габаритов датчика.

Claims

(54X57) ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий источник света и последовательно расположенные по ходу оптического излучения, конденсор, неподвижную прозрачную дифракционную решетку, оптический клин, подвижную отражательную дифракционную решетку, собирающие линзы и фотоприемники, отличающийс я тем, что, с целью обеспечения возможности измерения перемещений по двум координатам, неподвижная дифракционная решетка выпол· йена с двумя крестообразно расположенными группами штрихов, пере· секающимися под углом 90°, конденсор оптически связан с зоной пересечения штрихов этих групп, подвижная решетка выполнена с ортогонально расположенными группами штрихов, а клин установлен так, что его главное сечение составляет' со штрихами решеток угол, равный 45°.

Фиг.1

SU ,„,1180685