SU1184669A1 - Манипул тор,работающий в герметизированном объеме - Google Patents

Манипул тор,работающий в герметизированном объеме Download PDF

Info

Publication number
SU1184669A1
SU1184669A1 SU843729804A SU3729804A SU1184669A1 SU 1184669 A1 SU1184669 A1 SU 1184669A1 SU 843729804 A SU843729804 A SU 843729804A SU 3729804 A SU3729804 A SU 3729804A SU 1184669 A1 SU1184669 A1 SU 1184669A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
actuator
screw
bellows
parallelograms
vacuum chamber
Prior art date
Application number
SU843729804A
Other languages
English (en)
Inventor
Александр Андреевич Никитин
Original Assignee
Nikitin Aleksandr A
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nikitin Aleksandr A filed Critical Nikitin Aleksandr A
Priority to SU843729804A priority Critical patent/SU1184669A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1184669A1 publication Critical patent/SU1184669A1/ru

Links

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

МАНИПУЛЯТОР, РАБОТАКЩИЙ В ГЕРМЕТИЗИРОВАННОМ ОБЪЕМЕ, содержащий крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган, отличающийс  тем, что, с целью расширени  зоны обслуживани  его исполнительного органа, он снабжен трем  шарнирными многократными параллелограммами, св зывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движени  с исполнительным органом, а последний представл ет собой радиально-упорный подшипник , внутреннее кольцо которого  вл етс  предметным столиком и соединено с помощью универсального шарнира винтового толкател  с центральным шарнирным многократным параллелограммом , а наружное кольцо указанного подшипника кинематически св зано с двух диаметрально располоi женных сторон с остальными двум  шарнирными многократными.параллело (Л граммами .

Description

сх . Эд
Эд
;о I Изобретение относитс  к машиностроению , в частности к манипул торам и промышленным роботам. Цель изобретени  - расширение зоны обслуживани  исполнительного органа герметизированного объема вакуумной камеры. На чертеже изображен манипул то работающий в герметизированном объеме, общий вид. Манипул тор содержит крьш1ку J вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода поступательн качательного 2 и вращательного 3 движений исполнительного органа 4 и три шарнирных многократных парал лелограмма 5, св зьшающих винтовые механизмы приводов сильфонного вво поступательно-качательного 2 и вра щате;1ьного 3 движений с исполнител ным органом 4, выполненным в виде радиально-упорного шарикоподшипника , внутреннее кольцо которого  вл етс  предметным столиком 6 и соеди нено универсальным шарниром 7 винтового толкател  8 вращательного д 9 2 жени  столика с центральным шарнирным многократным параллелограммом. Все устройство смонтировано на фланце стенки вакуумной камеры, Манипул тор работает следующим образом. При прступательно-качательном движении исполнительный орган 4 получает поступательное ( вертикальное ) или качательное перемещение от .вин.тойых механиз 1ов 2 приводов сильфонного ввода поступательно-качательного движени , через два шарнирных многократных параллелограмма, установленных с двух диаметрально расположенных сторон. При вращательном движении исполнительный орган 4 получает вращательное движение предметного столика 6 от винтового механизма 3 привода снльфонного ввода вращательного движени , через центральный шарнирный многократный параллелограмм 5 далее универсальному шарниру 7 винтового толкател  8 вращательного движени  столика. Устройство смонтировано на крыш ,ке 1 вакуумной камеры.

Claims (1)

  1. МАНИПУЛЯТОР, РАБОТАЮЩИЙ В ГЕРМЕТИЗИРОВАННОМ ОБЪЕМЕ, содержащий крышку вакуумной камеры, на которой смонтированы винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движений и исполнительный орган, отличающийся тем, что, с целью расширения зоны обслуживания его исполнительного органа, он снабжен тремя шарнирными многократными параллелограммами, связывающими винтовые механизмы приводов сильфонного ввода движения с исполнительным органом, а последний представляет собой радиально-упорный подшипник, внутреннее кольцо которого является предметным столиком и соединено с помощью универсального шарнира винтового толкателя с центральным шарнирным многократным параллелограммом, а наружное кольцо указанного подшипника кинематически связано с двух диаметрально расположенных сторон с остальными двумя ® шарнирными многократными параллелограммами . ’
    SU „„ 1184669
SU843729804A 1984-04-25 1984-04-25 Манипул тор,работающий в герметизированном объеме SU1184669A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843729804A SU1184669A1 (ru) 1984-04-25 1984-04-25 Манипул тор,работающий в герметизированном объеме

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843729804A SU1184669A1 (ru) 1984-04-25 1984-04-25 Манипул тор,работающий в герметизированном объеме

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1184669A1 true SU1184669A1 (ru) 1985-10-15

Family

ID=21114813

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843729804A SU1184669A1 (ru) 1984-04-25 1984-04-25 Манипул тор,работающий в герметизированном объеме

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1184669A1 (ru)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2705166C1 (ru) * 2019-03-21 2019-11-05 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2705165C1 (ru) * 2019-03-21 2019-11-05 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2708648C1 (ru) * 2018-12-05 2019-12-10 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2709280C1 (ru) * 2019-04-16 2019-12-17 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2720756C1 (ru) * 2019-04-16 2020-05-13 Александр Андреевич Никитин Баллистический манипулятор
RU2728274C1 (ru) * 2019-11-19 2020-07-28 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Медников М.И. Вводы движени в вакуум. М., 1974, с. 172-173. *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2708648C1 (ru) * 2018-12-05 2019-12-10 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2705166C1 (ru) * 2019-03-21 2019-11-05 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2705165C1 (ru) * 2019-03-21 2019-11-05 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2709280C1 (ru) * 2019-04-16 2019-12-17 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2720756C1 (ru) * 2019-04-16 2020-05-13 Александр Андреевич Никитин Баллистический манипулятор
RU2728274C1 (ru) * 2019-11-19 2020-07-28 Александр Андреевич Никитин Манипулятор, работающий в герметизированном объеме

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1184669A1 (ru) Манипул тор,работающий в герметизированном объеме
US4507043A (en) Counterbalance robot arm
JP4148280B2 (ja) 平行リンク機構及び産業用ロボット
US7513173B2 (en) Parallel link mechanism and industrial robot
CN110815183A (zh) 一种含双驱动支链的四自由度高速并联机器人机构
BR8703253A (pt) Dispositivo de fechamento de uma abertura central superior de um recipiente
SU1613321A2 (ru) Манипул тор, работающий в герметизированном объеме
GB2087837A (en) A flecible arm for a robot
HU208355B (en) Link work for operating cover
SU1484725A1 (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
WO2015136648A1 (ja) パラレルリンク機構、ロボットおよび組立装置
RU2705166C1 (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2705165C1 (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
SU1733774A1 (ru) Пространственный механизм с шестью степен ми свободы
SU1119837A1 (ru) Промышленный робот
RU94005020A (ru) Промышленный робот
RU2019111548A (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
SU1024272A1 (ru) Захват манипул тора
SU919804A1 (ru) Манипул тор
RU2019111549A (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
RU2708648C1 (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
SU1229027A1 (ru) Манипул тор
RU2728274C1 (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме
US11664256B2 (en) Placement system for door of wafer pod
RU2709280C1 (ru) Манипулятор, работающий в герметизированном объеме