SU1237387A1 - Способ обработки плоских поверхностей оптических деталей - Google Patents

Способ обработки плоских поверхностей оптических деталей Download PDF

Info

Publication number
SU1237387A1
SU1237387A1 SU853861471A SU3861471A SU1237387A1 SU 1237387 A1 SU1237387 A1 SU 1237387A1 SU 853861471 A SU853861471 A SU 853861471A SU 3861471 A SU3861471 A SU 3861471A SU 1237387 A1 SU1237387 A1 SU 1237387A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
tool
optical parts
working surface
curvature
diamond
Prior art date
Application number
SU853861471A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Даниилович Филатов
Валентин Васильевич Рогов
Лазарь Леонидович Бурман
Александр Иванович Иванов
Евгений Федорович Пятак
Original Assignee
Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср filed Critical Ордена Трудового Красного Знамени Институт Сверхтвердых Материалов Ан Усср
Priority to SU853861471A priority Critical patent/SU1237387A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1237387A1 publication Critical patent/SU1237387A1/ru

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

Изобретение относитс  к технологии обработки оптических деталей из стекла, керамики , кварца и других неметаллических материалов , примен ющихс  в оптико-механической , приборостроительной и других отрасл х промышленпости.
Цель изобретени  - повышение точности формообразовани  поверхностей оптических деталей за счет исключени  погрешности формообразовани  путем деформации инструмента.
При реализации данного способа обработки плоских поверхностей оптических деталей возникает возможность измен ть форму рабочей поверхности инструмента за счет деформации его корпуса, вызываемой силой прижима Р инструмента и детали друг к другу, непосредственно в процессе обработки. Однако регу.чированием усили  прижима можно деформировать корпус инструмента только в сторону увеличени  выпуклости его прилегающей к алмазно-абразивному слою поверхности. Если придать рабочей поверхности алмазно-абразивного сло  инстру.мен- та первоначалы;о вогнутую форму, то деформированием корпуса инструмента можно достичь ее выравнивани  и даже изгиба в сторону выпуклости в процессе обработки.
Таким образом, форма рабочей поверхности инструмента должна быть вогнутой, а усилие прижима должно быть таким, чтобы обеспечить изгиб инструмента на его краю на велич ину, равную стреле вогнутости рабочей поверхности инструмента ДЬ )/8R (D - - диаметр инструмента). Кроме того, радиус кривизны рабочей поверхности инструмента должен бьгпз }ie менее 0,8 () м, так как при меньших его значени х выравнивание рабочей поверхности инструмента в процессе обработки требует значительных нагрузок ( 4000 Н), обеспечить которые на примен ющемс  в насто щее врем  в промышленности оборудовании невозможно, что отрицательно вли ет на точность формообразовани  плоских поверхностей оптических деталей.
Пример. Лл  осуществлешт способа нснользова. 1с  то)цовый н лнфовальный круг - корпус диаметром 400 мм, с рабочей поверхностью алмазоносного сло  вогну- 1ОЙ формы со стрелой вогнутости Ah И) мкм. Шлифовались оптические детали (блоки 0350 мм) на станке ПЬМ-100 (фирмы «LOH, ФРГ). Вращение инструмента и блока обрабатываемых деталей осуихест- вл лось со скорост ми 68 с и 67 с соответственно . Цикл обработки 60 с. Форма рабочей поверхности инструмента и плоскостность обработанной поверхности определ лись при помон1,и измерительной скобы и интерференционным методом соответственно.
Усилие прижима, при котором осуществл лс  процесс тонкого шлифовани  плоских юверхностей оптических деталей алмазным
инструментом толщиной 25 мм, корпус которого изготовлен из стали с модулем упругости Е 20-10 Н/м, рассчитывалось следующим образом. Радиус кривизны поверхности алмазной планн айбы равен
R DV8Ah(0,4) /8-10-10 2-10 м, а усилие прижима Р составл ет
Р 125:
)- 20- 10
1562 Н.
2- 10
РезультатЕз расчета Р дл  разных R приведены в таблице (п.З-8). При таких величинах усили  прижима было обработано 20 блоков оптических деталей, при этом точность обработки составл ла N 0.25 - 1,0 мкм на диаметре 350 мм. При обработке поверхностей оптических деталей гфи помопди инструмента с радиусом кривизны рабочей поверхности ,8- 0 (н. 1---2) усили  прижима Р 4000 Н (максимального дл  станка PLM--400) было недостаточно дл  деформации корпуса инструмента , выравнивающей его рабочую поверхность , в результате чего значительно снижалась точность формообразовани  оптических деталей.
В таблице представлено вли ние кривизны рабочей поверхности инструмента на точность формообразовани  плоских поверхностей оптических деталей.
0,6 0,7 0,8 0,9
3900
3500
3100
2100
2,0
1500
55
1200
1237387 34
Тонкое шлифование плоских поверхнос-тотипа (10 блоков). При этом неплоскосттей оптических деталей осуществл лось так-ность обработанных поверхностей на том же
же и способом, прин тым в качестве про-диаметре (350 мм) составл ла 10-25 мкм.

Claims (1)

  1. СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПЛОСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ инструментом в виде закрепленного на корпусе алмазно-абразивного покрытия, при котором деталь и инструмент прижимают друг к другу и сообщают им вращение и относительное возвратно-поступательное перемещение, отличающийся тем, что, с целью повышения точности формообразования поверхностей, обработку ведут инструментом с рабочей поверхностью вогнутой формы, радиус кривизны R которой не менее 800 м, при этом усилие прижима Р выбирают из условия
    Р =-^-F 1 R Е, где h — толщина корпуса инструмента, м; Е — модуль упругости материала корпуса инструмента, Н/м2.
    КЗ со со QO >
    инструментом толщиной 25 мм, корпус которого изготовлен из стали с модулем упругости Е == 2О-1О10 Н/м2, рассчитывалось следующим образом. Радиус кривизны поверхности алмазной планшайбы равен
    R = D2/8Ah= (0,4)2/8-1О-1О6=2- 10:! м, а усилие прижима Р составляет
SU853861471A 1985-03-04 1985-03-04 Способ обработки плоских поверхностей оптических деталей SU1237387A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853861471A SU1237387A1 (ru) 1985-03-04 1985-03-04 Способ обработки плоских поверхностей оптических деталей

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU853861471A SU1237387A1 (ru) 1985-03-04 1985-03-04 Способ обработки плоских поверхностей оптических деталей

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1237387A1 true SU1237387A1 (ru) 1986-06-15

Family

ID=21164915

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU853861471A SU1237387A1 (ru) 1985-03-04 1985-03-04 Способ обработки плоских поверхностей оптических деталей

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1237387A1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Технологи оптических деталей. Под ред. М. Н. Семибратора, М.: Машиностроение, 1978, с. ПО-114, рис. 59. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100201791B1 (ko) 공작물에 블록 팁을 형성하는 방법 및 장치
JP2582030B2 (ja) 半導体ウエーハの製造方法
EP0790101B1 (en) Shape control method and nc machine using the method
EP0421350A1 (en) Method of and apparatus for electropolishing and grinding
KR0158005B1 (ko) 경면 폴리싱 장치
SU1237387A1 (ru) Способ обработки плоских поверхностей оптических деталей
JP3493208B2 (ja) 平坦な主面を持つ板の製造方法および、平行な二つの主面を持つ板の製造方法
Berggren et al. Pad polishing for rapid production of large flats
SU1678538A1 (ru) Способ формообразовани точных фасонных поверхностей
SU1255400A1 (ru) Способ блокировки оптических деталей
JP2930356B2 (ja) 加工用治具
SU1278182A1 (ru) Способ ультразвуковой безабразивной обработки
KR960005294B1 (ko) 다수의 가공치구를 이용하여 세공이 있는 원통형 구조물의 외경을 가공하는 장치 및 가공방법
SU1077764A1 (ru) Способ обработки оптических деталей
JPH1055986A (ja) 溝入れ加工方法及び加工装置
KR940010329B1 (ko) 원형의 가공치구를 이용하여 세공이 있는 원통형 구조물의 외경을 가공하는 장치 및 가공방법
KR960005295B1 (ko) 세공이 있는 원통형 구조물의 외경가공장치 및 가공방법
RU93044952A (ru) Способ изготовления упругого подвеса из кварцевого оптического стекла
KR960005296B1 (ko) 원통형 구조물의 센터리스 외경 가공 장치 및 방법
RU2024386C1 (ru) Способ обработки плоских поверхностей деталей прямоугольной формы
SU1577942A1 (ru) Способ обработки поверхностей оптических деталей
JPH06114745A (ja) 半導体ウェーハ研削用砥石
CN2222587Y (zh) 一种加工玻璃圆片的特殊磨具
SU1764964A1 (ru) Способ финишной обработки цилиндрических поверхностей оптических деталей
Okuyama et al. Theoretical study on the effect of form error of grinding wheel surfaces under free form grinding