SU1270552A1 - Способ контрол ориентации объекта при пробивке отверстий в нем - Google Patents
Способ контрол ориентации объекта при пробивке отверстий в нем Download PDFInfo
- Publication number
- SU1270552A1 SU1270552A1 SU853953594A SU3953594A SU1270552A1 SU 1270552 A1 SU1270552 A1 SU 1270552A1 SU 853953594 A SU853953594 A SU 853953594A SU 3953594 A SU3953594 A SU 3953594A SU 1270552 A1 SU1270552 A1 SU 1270552A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- microscope
- working
- tool
- punching
- reference mark
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 4
- 238000004080 punching Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 4
Landscapes
- Perforating, Stamping-Out Or Severing By Means Other Than Cutting (AREA)
Abstract
Изобретение может использоватьс в радиозлектронйке при ультразвуковой пробивке некруглых отверстий в подложках микросхем. Целью изобретени вл етс повьшение точности ориентации объекта при пробивке некруглых отверстий в нем за счет контрол положени торца рабочего инструмента, осуществл ющего пробивку. Предварительно нанос т слой пластичного материала на контрольный объект, фиксируют на нем след торца рабочего инструмента , наблюда след торца инструмента в микроскоп, ориентируют перекрытие его окул ра вдоль осей симметрии следа торца. Фиксируют окул р в данном положении, замен ют контрольньй объект рабочим и совмещают оси его реперной метки с перекрестием окул ра микроскопа, разворачива рабочий объект, после чего его перемещают на базовое рассто ние под рабочий инструмент.
Description
Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может найти применение в радиоэлектронике при ультразвуковой пробивке некруглых отверстий в подложках микросхем. 5
Целью изобретения является повышение точности ориентации при пробивке некруглых отверстий за счет контроля положения торца рабочего инструмента, осуществляющего пробивку. *0
На чертеже показана последовательность действия при контроле ориентации объекта.
На чертеже показаны подвижная каретка 1, контрольный объект 2, на *5 наружную поверхность которого предварительно наносят слой пластичного материала 3, след торца рабочего инструмента 4, перекрестие окуляра микроскопа 5, рабочий объект 6, напри- 20 мер подложка микросхемы и реперная метка 7.
Контроль согласно способу осуществляют следующим образом.
Устанавливают на подвижную каретку 1 контрольный объект 2, перемеща|ют его в зону обработки под рабочий инструмент, опускают рабочий инстру- мент на контрольный объект, фиксируя на нем след торца инструмента 4. За- 30 тем перемещают каретку на базовое расстояние (L.), подводя контрольный объект под микроскоп. Наблюдают след торца инструмента в микроскоп, ориентируя перекрытие его окуляра 5 вдоль 35 его осей симметрии. Фиксируют окуляр в данном положении. Заменяют контрольный объект рабочим и совмещают оси его реперной метки 7 с перекрестием окуляра микроскопа 5, разворачивая рабочий объект.
После этого перемещают каретку на базовое -расстояние (L) под рабочий инструмент.
Claims (1)
- ьэ о ел ел to Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике и может най ти применение в радиоэлектронике при ультразвуковой пробивке некруглых отверстий в подложках микросхем. Целью изобретени вл етс повыше ние точности ориентации при пробивке некругльк отверстий за счет контрол положени торца рабочего инструмента осуществл ющего пробивку. На чертеже показана последователь ность действи при контроле ориентации объекта. На чертеже показаны подвижна каретка 1, контрольный объект 2, на наружную поверхность которого предва рительно нанос т слой пластичного ма териала 3, след торца рабочего инструмента 4, перекрестие окул ра микроскопа 5, рабочий объект 6, например подложка микросхемы и реперна метка 7. Контроль согласно способу осуществл ют следующим образом. Устанавливают на подвижнзпо каретку 1 контрольный объект 2, перемеща|ЮТ его в зону обработки под рабочий инструмент, опускают рабочий инструмент на контрольньй объект, фиксиру на нем след торца инструмента 4. Затем перемещают каретку на базовое рассто ние (L), подвод контрольный объект под микроскоп. Наблюдают след торца инструмента в микроскоп, ориен тиру перекрытие его окул ра 5 вдоль его осей симметрии. Фиксируют окул р в-данном положении. Замен ют контрольный объект рабочим и совмещают оси его реперной метки 7 с перекрестием окул ра микроскопа 5, разворачива рабочий объект. После этого перемещают каретку на базовое -рассто ние (L) .под рабочий инструмент, Формула изобретени Способ контрол ориентации объекта при пробивке отверстий в нем, заключающийс в том, что совмещают реперную метку объекта с оптической осью микроскопа и перемещают объект на базовое рассто ние под рабочий инструмент , отличающийс тем, что, с целью повышени точности ориентации при пробивке некруглых отверстий , перед совмещением реперной метки объекта с.оптической осью микроскопа фиксируют след торца инструмента , осуществл ющего пробивку отверсти на контрольном объекте, перемещают контрольный объект на базовое рассто ние под микроскоп, ориентируют перекрестие окул ра микроскопа вдоль осей симметрии следа торца инструмента и замен ют контрольный объект рабочим, а после совмещени реперной метки объекта с оптической осью микроскопа разворачивают объект вокруг оптической оси микроскопа, совмеща линии его реперной метки с соответствующими лини ми перекрести окул ра микроскопа.X5
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853953594A SU1270552A1 (ru) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | Способ контрол ориентации объекта при пробивке отверстий в нем |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853953594A SU1270552A1 (ru) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | Способ контрол ориентации объекта при пробивке отверстий в нем |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1270552A1 true SU1270552A1 (ru) | 1986-11-15 |
Family
ID=21197370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853953594A SU1270552A1 (ru) | 1985-09-19 | 1985-09-19 | Способ контрол ориентации объекта при пробивке отверстий в нем |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1270552A1 (ru) |
-
1985
- 1985-09-19 SU SU853953594A patent/SU1270552A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Воинов В.А. и др. Алмазна обработка подложек микросхем. - Средства св зи,1983, 2, с. 66-69. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4035723A (en) | Probe arm | |
| DE102020204896A1 (de) | Bearbeitungsvorrichtung und werkstückbearbeitungsverfahren | |
| ATE251770T1 (de) | Steuerverfahren für einen industrieroboter | |
| US5174188A (en) | Process and device for marking and cleaving plaquettes of monocrystalline semiconductor materials | |
| DK0637482T4 (da) | Fremgangsmåde til positionering af en emneholder i en bearbejdsningsmaskine samt tilhörende emneholder | |
| US20040129756A1 (en) | Device for positioning a tool in relation to a workpiece | |
| US4755053A (en) | Secondary alignment fiducials for automatic alignment using machine vision. | |
| EP0916447A3 (en) | Method and device for aligning a workpiece on a machine tool table | |
| ATE350644T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum räumlichen vermessen von werkstücken an einer werkzeugmaschine | |
| SU1270552A1 (ru) | Способ контрол ориентации объекта при пробивке отверстий в нем | |
| CN113290330A (zh) | 一种六轴五联动机床的激光加工头空间位置标定方法 | |
| DE3786201D1 (de) | Anordnung zur genauen gegenseitigen ausrichtung einer maske und einer halbleiterscheibe in einem lithographiegeraet und verfahren zu ihrem betrieb. | |
| ATE335570T1 (de) | Bearbeitungsmaschine zum mehrachsigen bewegen eines werkzeuges oder werkstückes | |
| DE68920256T2 (de) | Kapazitiv geleitete Teilezusammensetzung. | |
| DE59108686D1 (de) | Bearbeitungszentrum für ebene, plattenförmige Werkstücke | |
| CN211278404U (zh) | 一种机械臂的手眼标定装置 | |
| KR890007852A (ko) | 작업대 좌표계를 갖는 표시로 작업대 표면상에 패널을 위치시키기 위한 방법 | |
| JPS56102823A (en) | Positioning device | |
| US4858334A (en) | Method and apparatus for locating the web center of a beam | |
| ES2190461T3 (es) | Procedimiento para la produccion y el posicionamiento preciso de microlentes en los extremos de fibras y laseres. | |
| ES2054151T3 (es) | Maquina taladradora de coordenadas para centrado. | |
| JPH0258345A (ja) | 半導体装置 | |
| EP0391630A3 (en) | Device for minimizing the temperature of precision apparatus | |
| JP2640690B2 (ja) | 移動ステージ | |
| JPS6454363A (en) | Manufacture of probe card |