SU1467531A1 - Вакуумна камера дл селенировани электрофотографических цилиндров - Google Patents
Вакуумна камера дл селенировани электрофотографических цилиндров Download PDFInfo
- Publication number
- SU1467531A1 SU1467531A1 SU853946456A SU3946456A SU1467531A1 SU 1467531 A1 SU1467531 A1 SU 1467531A1 SU 853946456 A SU853946456 A SU 853946456A SU 3946456 A SU3946456 A SU 3946456A SU 1467531 A1 SU1467531 A1 SU 1467531A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pipeline
- vacuum chamber
- cylinder
- selenium
- electrophotographic
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011669 selenium Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к вакуумной технике, в частности к вакуум- v ной камере дл селенировани электрофотографических аппаратов. Цель - повысить качество напыл емого на цилиндр большой длины селенового сло путем обеспечени равномерного охлаждени цилиндра изнутри. Дл подвода охлаждающего реагента 6 в вакуумной камера средство подачи выполнено в виде двух полостей 7 и 8. Полость 7 представл ет трубопровод . Полость 8 вьтолнена в виде замкнутого цилиндрического кожуха. Кожух установлен с зазором относительно трубопровода. 1 ил.
Description
Изобретение относится к области нанесения полупроводниковых электрофотографических слоев на цилиндрические подложки и к вакуумной технике.
Цель изобретения - повышение качества напыляемого на цилиндр большой длины селенового слоя путем обеспечения равномерного охлаждения цилиндра изнутри. 10
На чертеже представлена вакуумная камера, общий вид в разрезе. .
Вакуумная камера состоит из цилиндрического корпуса 1, нагревателя 2, испарителя 3, узла 4 крепления цилин-15 дра, электрографической подложки 5, ’Место подачи охлаждающего реагента 6 состоит из полости 7, которая представляет собой трубопровод, и полости 8, выполненной в виде замкну- 20 того цилиндрического кожуха, установленного с зазором относительно трубопровода. Средство подачи охлаждающего реагента снабжено перфорационными отверстиями и установлено концентрич- 25 но в узле крепления электрофотографического цилиндра.
Вакуумная камера работает следующим образом.
Цилиндрическую подложку 5 герме- 30 тично закрепляют на узле 4 крепления подложки цилиндра и устанавливают в цилиндрическом корпусе 1 по его оси, как показано на чертеже. В корпусе 1 откачивают' вакуум до 10**мм рт. ст. и, воздействуя на селен в испарителе 3 нагревателем 2, создают температурные условия для его испарения. Пары селена заполняют вакуумную камеру и начинают конденсироваться на дд наружной поверхности подложки 5, при этом для поддержания технологического процесса формирования электрофотографического слоя селена к внутренней стороне подложки подводят холодный сжатый воздух автономно в нижнюю часть через полость 7 и в верхнюю часть через полость 8. Вывод отработанного сжатого воздуха производится через полость 9, имеющую отверстия в торцевой части для выхода в атмосферу. Контроль температуры и регулирование процесса технологического охлаждения производят с помощью термопары.
Claims (1)
- Формула изобретения Вакуумная камера для селенирования,электрофотографических цилиндров, содержащая размещенные в цилиндрическом корпусе нагреватель, испар'итель, средство подачи охлаждающего реагента, снабженное перфорационными отверстиями и концентрично установленное в узле крепления электрофотографического цилиндра, отличающаяс я тем, что, с целью повышения качества напыляемого на цилиндр большой длины селенового слоя путем обеспечения равномерного охлаждения цилиндра изнутри, средство выполнено в виде двух несообщающихся между собой полостей, одна из которых представляет трубопровод, а другая - замкнутый цилиндрический кожух, установленный с зазором относительно трубопровода, при этом перфорационные отверстия размещены в нижней части трубопровода и кожуха, а нижняя грань кожуха -установлена выше верхнего уровня отверстий трубопровода.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853946456A SU1467531A1 (ru) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | Вакуумна камера дл селенировани электрофотографических цилиндров |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU853946456A SU1467531A1 (ru) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | Вакуумна камера дл селенировани электрофотографических цилиндров |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1467531A1 true SU1467531A1 (ru) | 1989-03-23 |
Family
ID=21194956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU853946456A SU1467531A1 (ru) | 1985-08-21 | 1985-08-21 | Вакуумна камера дл селенировани электрофотографических цилиндров |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1467531A1 (ru) |
-
1985
- 1985-08-21 SU SU853946456A patent/SU1467531A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР №301677, кл. G 03 G 5/082. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6982005B2 (en) | Multiple-nozzle thermal evaporation source | |
| TWI390605B (zh) | Processing device | |
| US20070283890A1 (en) | Evaporation source | |
| KR910009607B1 (ko) | 스퍼터장치 | |
| KR960019503A (ko) | 화학증착법을 이용한 가공 챔버 | |
| US4714594A (en) | Reactor for vapor phase epitaxy | |
| KR100274754B1 (ko) | 성막장치 및 성막방법 | |
| FR2605647B1 (fr) | Procede de depot en phase vapeur par flash thermique d'une couche isolante sur un substrat en materiau iii-v, application a la fabrication d'une structure mis | |
| SU1467531A1 (ru) | Вакуумна камера дл селенировани электрофотографических цилиндров | |
| KR100685431B1 (ko) | 유기물 증착원 | |
| CN111748773A (zh) | 一种蒸发源和蒸镀装置 | |
| JPS5766625A (en) | Manufacture of film | |
| KR100666572B1 (ko) | 유기물 증발장치 | |
| SE9200555D0 (sv) | A method of coating a piezoelectric substrate | |
| KR102819779B1 (ko) | 기상 증착 장치 및 진공 챔버에서 기판을 코팅하기 위한 방법 | |
| JP2004027252A (ja) | 有機薄膜形成装置の加熱容器 | |
| KR100502613B1 (ko) | 기판냉각장치및반도체제조장치 | |
| SU1291719A1 (ru) | Термокомпрессор | |
| US20180286712A1 (en) | Heat source device and substrate processing apparatus including same | |
| JPH05267235A (ja) | ドライエッチング装置 | |
| JPS6411778A (en) | Heat-shielding cover having heat control function of robot joint section | |
| GB2019490A (en) | Improvements in or Relating to Cylinder Liners for Internal Combustion Engines | |
| EP4372122A2 (en) | Deposition source and deposition apparatus including the same | |
| Inoue | High Temperature Heating Sputtering Process | |
| KR200375236Y1 (ko) | 열처리 장치 |