SU1495500A1

SU1495500A1 - Вакуумна установка и способ ее работы

Info

Publication number: SU1495500A1
Application number: SU874329066A
Authority: SU
Inventors: Владимир Иванович Куприянов; Владимир Егорович Курташин; Олег Петрович Литовка; Николай Николаевич Тарасов
Original assignee: Предприятие П/Я А-3605
Priority date: 1987-11-17
Filing date: 1987-11-17
Publication date: 1989-07-23

Abstract

Изобретение относитс к вакуумной технике. Цель изобретени - снижение энергозатрат путем сокращени времени вакуумировани . К реципиенту 1 подключены два основных адсорбционных насоса (Н) 3 и 4, коллекторы 2 и 7, механический Н 9 с ловушкой 8, вспомогательный Н 11 и запорна арматура 5,6,10,18 и 19. Активное сопло эжектора 15 через регул тор расхода 14 подключено к вспомогательному Н 11, который выполнен адсорбционным. Пассивное сопло подключено через вентили 16 и 17 соответственно к входному 2 и выходному 7 коллекторам, а механический Н 9 - к выходному коллектору 7 через вентиль 12. Способ работы вакуумной установки включает предварительное и высоковакуумное вакуумирование реципиента 1 механическим 9 и адсорбционными 3 и 4 Н с последующей регенерацией адсорбционных Н путем прогрева и вакуумировани . Предварительное вакуумирование реципиента 1 до давлени 13-20 кПа производ т вспомогательным и, в случае необходимости, адсорбционными Н, а регенерацию последних осуществл ют путем подключени их к пассивному соплу эжектора 15, в качестве активной среды которого используют газ, десорбирующий во вспомогательном Н 11 при нагреве в нем адсорбента. В случае необходимости дополнительно осуществл ют предварительное вакуумирование реципиента после адсорбционных Н путем подключени реципиента к пассивному соплу эжектора 15. 2 осн. п.ф. 2 з.п. 1 ил.

Description

4i

СО ел

О1

Изобретение относитс к вакуумной технике , а именно к конструкци м вакуумных установок с безмасл ной системой.

Цель изобретени - снижение энергозатрат путем сокращени времени вакууми- ровани .

На чертеже схематично изображена вакуумна установка.

Вакуумна установка содержит реци- пиен г 1, последовательно подк юченный к нему входной коллектор 2, блок адсорбционных насосов 3 и 4 с высоковакуумными кранами 5 и кранами 6 предварительной откачки, выходной коллектор 7, защитную ловушку 8 и механический насос 9, подключенный к входному коллектору 2 через вентиль 10 вспомогательный насос 11, причем установка снабжена дополнительным вентилем 12, установленным между ловушкой и выходным коллектором 7, выходным вентилем 13, регул тором 14 расхода и эжектором 15, пассивное сопло которого через дополнительно установленные вентили 16 и 17 подключено к входному 2 и выходному 7 коллекторам, вспомогательный насос 11 выполнен адсорбционным, подключен к активному соплу через регул тор 14 расхода и дополнительно соединен с выходным коллектором 7 через выходной вентиЛь 13. Установка содержит также вентили 8 и 19.

Способ работы вакуумной установки включает предварительное и высокоракуум- ное вакуумирование реципиента 1 механическим 9 и адсорбционнь ми 3 и 4 насосами с последующей регенерацией адсорбционных насосов 3 и 4 путем прогрева и вакуумировани , причем перед включе- ним механического насоса 9 производ т предварительное вакуумирование реципиента 1 до давлени 3-20 кПа вспомогательным насосом 11, а вакуумирование при регенерации адсорбционных насосов 3 и 4 осуществл ют путем подключени их к пассивному соплу эжектора 15, в качестве активной среды используют газ, десорбирующий во вспомогательном насосе 1 при нагреве в нем адсорбента, расход которого регулируют путем изменени температуры нагрева адсорбента .

При предварительном вакуумировании реципиента 1 к вспомогательному насосу 11 параллельно подключают по меньшей мере один основной адсорбционный насос.

Кроме того, дополнительно осуществл ют предварительное вакуумирование реципиента 1 после адсорбционных насосов 3. 4 и 11 путем подключени реципиента 1 к: пассивному соплу эжектора 15.

Вакуумна установка работает следующим образом.

Перед запуском у.становки производитс подготовка к работе адсорбционных насо- COJ 3, 4 и 11 путем охлаждени адсорбента в них при помощи жидкого азота.

Вспомогательный адсорбционный насос 11 имеет большое количество адсорбента и хорошо развитую поверхность теплообмена, обеспечивающую интенсивные охлаждение и прогрев адсорбента.

После подготовки адсорбционных насосов 3, 4 и 11 открываютс вентили 18 и 10, и газ из реципиента 1 поступает в насос 11. Достижение в реципиенте давлени

- около 13-20 кПа позвол ет проводить дальнейшую откачку механическим насосом 9 через лозущку 8. При этом не требуетс дросселировани потока на входе в механический насос 9.

В случае вакуумировани реципиента 1,

имеющего объем, превосход щий предел, при котором емкости насоса 11 достаточно дл достижени давлени 13-20 кПа, установка позвол ет подключить к реципиенту 1 через краны 5 один или два основных адсорбj . ционных насоса 3 и 4, использу их в качестве форвакуумных, а затем уже подключить механический насос 9. Врем откачки реципиента адсорбционными насосами значительно меньше времени, которое требуетс механическому насосу 9. В процессе работы

5 на реципиент насосов 3 или 4 производ т отогрев адсорбента в насосе II, что приводит к десорбции ранее адсорбированного в нем газа и повышению давлени в объеме насоса. После насыщени насосов 3 и 4 откачку производ т механическим насосом 9,

0 3 насосы 3 и 4 регенерируют путем отогрева. О.Г1Новременно с отогревом адсорбента в насосах 3 и 4 производ т их вакуумирование , причем осущ.ествл ют его при помощи эжектора 15. Дл этого открывают вентиль 17 и через регул тор расхода 14 подают в

5 активное сопло эжектора 15 газ, десорби- рованный в насосе 11.

В том случае, когда объем реципиента столь велик, что использование насосов 3, 4 и 11 недостаточно дл достижени в нем

0 давлени 13-20 кПа, регенераци насосов 3 и 4 производитс при вакуумировании через вентили 6 при открытом вентиле 12 механическим насосом 9, а откачка реципиента 1 до требуемого давлени осуществл етс с помощью эжектора 15 через вентиль 16.

5 После того, как насос 9 с ловушкой 8 откачает реципиент до давлени 1 -10 Па, дальнейша откачка до высокого вакуума в реципиенте 1 производитс насосами 3 и 4.

0 В процессе откачки реципиента 1 насосами 3 и 4 производитс регенераци насоса 11 с вакуумированием при помощи механического насоса 9.

Таким образом, предлагаема вакуумна

С установка обеспечивает снижение энергозатрат за счет рационального использовани имеющегос оборудовани . Использование энергии десорбирующегос газа дл от

качки либо насосов, либо ,;)сципиента 1 также снижает энергозатраты.

Claims

Формула изобретени

механическим и адсорбционными асосами с последующей регенерацией адсорбционных насосов путем прогрева и вакуумировани , отличающийс тем, что, с целью снижени энергозатрат путем сокращени времени вакуумировани , перед включением механического насоса провод т предварительное вакуумирование реципиента до давлени 13-20 кПа вспомогательным адсорбционным насосом, а вакуумирование при регене1 . Вакуумна установка, содержаща Р ципиент, последовательно подключенные к нему входной коллектор, блок адсорбционных насосов с высоковакуумными кранами и кранами предварительной откачки, выходной коллектор, защитную ловушку, мехами- 10 рации адсорбционных насосов осуществл ют ческий насос и подключенный к входному путем подключени их к пассивному соплу коллектору через вентиль вспомогательный эжектора, в качестве активной среды ис- насос, отличающа с тем, что, с целью пользуют газ, десорбирующий во вспомога- снижени -июргозатрат путем сокращени тельном насосе при нагреве в нем адсорбента, времени вакуумировани , установка снабже- . , расход которого регулируют путем изменени

на дополнительным вентилем,установленным между ловушкой и выходным коллектором, выходным в( Нтилем, регул тором расхода и эжектором, пассивное сопло которого через дополнительно установленные вентили подтемпературы нагрева адсорбента.

3. Способ по п. 2, отличающийс тем, -rui при предварительном ва куумировании реии пиента к вспомогательноу насосу параллельключено к входному и выходному коллек- 20 но подключают по меньшей мере один основ

торам, вспомогательный насос выполнен адсорбционным , подключен к активному соплу через регул тор расхода и дополнительно соединен с выходным коллектором через выходной вентиль.
2. Способ работы вакуумной установки , включающий вакуумироваиие реципиента

механическим и адсорбционными асосами с последующей регенерацией адсорбционных насосов путем прогрева и вакуумировани , отличающийс тем, что, с целью снижени энергозатрат путем сокращени времени вакуумировани , перед включением механического насоса провод т предварительное вакуумирование реципиента до давлени 13-20 кПа вспомогательным адсорбционным насосом, а вакуумирование при регенерации адсорбционных насосов осуществл ют путем подключени их к пассивному соплу эжектора, в качестве активной среды ис- пользуют газ, десорбирующий во вспомога- тельном насосе при нагреве в нем адсорбента, расход которого регулируют путем изменени

температуры нагрева адсорбента.
3. Способ по п. 2, отличающийс тем, -rui при предварительном ва куумировании реии пиента к вспомогательноу насосу параллель25

ной адсорбционный насос.
4. Способ по п. 3, отличающийс тем, что дополнительно осуществл ют предварительное вакуумирование реципиента после адсорбционных насосов путем подключени реципиента к пассивному соплу эжектора.