SU1536344A1 - Сканирующий предметный столик дл систем автоматического контрол параметров полупроводниковых пластин - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к приборостроению и предназначено дл  использовани  в системах автоматического контрол  полупроводниковых пластин в массовом производстве. Цель изобретени  - повышение быстродействи  и точности позиционировани  пластины. Блок 14 управлени  включает приводы 12, 13, которые осуществл ют перемещение пластины 11 по ос м X, Y. Далее сигнал с блока 14 управлени  поступает на катушку 8 индуктивности, котора , взаимодейству  с магнитным полем посто нного магнита 7, перемещает шток 9 с держателем 10 полупроводниковой пластины 11 вдоль оси Z на позицию измерени . 1 ил.

Description

Изобретение относится к приборостроению и предназначено для использования в системах автоматического ; контроля полупроводниковых пластин . в массовом производстве.

Цель изобретения- повышение быстродействия и точности позиционирования пластины.

На чертеже представлено предлагав- . мое устройство.

Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров .полупроводникоЕ!ЫХ пластин содержит основание 1, на котором в направляющих 2 установлена каретка 3 с направляющими 4, в которых установлена каретка 5. На каретке 5 неподвижно закреплен корпус 6, в котором размещен кольцевой постоян^д ный магнит 7, в зазоре которого размещена катушка 8 индуктивности. На катушке 8 индуктивности закреплен шток 9 с держателем 10 пластины 11. Столик содержит приводы 12,13 перемещения кареток 3,5 во взаимно перпендикулярных направлениях (по осям Χ,Υ). Катушка 8 индуктивности и приводы 12, 13 подключены к блоку 14 управлёния. ίДля поворота штока 9 с держателем 10 пластины 11 предусмотрен микрометрический винт.

Устройство работает следующим образом.

В исходном состоянии каретки 3»5 занимают крайнее положение, при котором шток 9 с держателем 10 опущен. В этом положении контролируемая полупроводниковая пластина 11 с транспортных или загрузочно-разгрузочных моду- _t лей системы автоматически подаются на держатель 10, где фиксируются посред⁴ ством вакуума. Блок 14 управления включает приводы 12,13, осуществляющие перемещение пластины 11 по координатам Χ,Υ. Затем блок 14 управления формирует сигнал на включение катушки 8 индуктивности. В результате протекания через катушку тока, взаимодействующего с магнитным полем постоянного магнита 7, возникает ЭДС электромагнитной индукции, перемещая катуш10

Редактор М.Циткина ку 8 индуктивности со штоком 9 и дерг жателем 10 пластины вдоль оси Z на позицию измерения. При достижении заданного расстояния между контролируемой пластиной 11 и измерительным средством осуществляется измерение требуемого параметра пластины. По окончании процесса измерения посредством приводов 12,13 осуществляется перемещение пластины 11 относительно измерительного средства по координатам Χ,Υ и-выбор другой точки измерения. При этом осуществляется поддержание постоянного расстояния между пластиной 11 и измерительным средством.

По окончании процесса измерения блок 14 управления формирует сигналы на перемещение кареток 3,5, штока 9 с держателем 10 пластины 11 в исходное положение. Пластина *11 автоматически перегружается на другую позицию, а на ее место загружается следующая пластина.

Claims (1)

1. Сканирующий предметный столик для систем автоматического контроля параметров полупроводниковых пластин, содержащий установленные на основании две каретки, размещенные одна над другой, с приводом для их перемещения в двух взаимно перпендикулярных направлениях, привод вертикального перемещения кареток, держатель пластины, закрепленный на одной из кареток, блок управления, связанный с приводами перемещения кареток, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия и точности позиционирования пластины, дополнительно введены шток, катушка индуктивности, постоянный магнит, при этом держатель пластины размещен на жестко закреплённом на катушке тивности, размещенной в зазоре янного магнита, причем катушка дуктивности подключена к блоку ления, а шток и магнит размещены в корпусе, жестко закрепленном на каретке.