SU1552005A1 - Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм - Google Patents

Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм Download PDF

Info

Publication number
SU1552005A1
SU1552005A1 SU884437728A SU4437728A SU1552005A1 SU 1552005 A1 SU1552005 A1 SU 1552005A1 SU 884437728 A SU884437728 A SU 884437728A SU 4437728 A SU4437728 A SU 4437728A SU 1552005 A1 SU1552005 A1 SU 1552005A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
output
raster
lens
phase difference
input
Prior art date
Application number
SU884437728A
Other languages
English (en)
Inventor
Игорь Ростиславович Котов
Дмитрий Николаевич Ситник
Владимир Викторович Хопов
Анатолий Анатольевич Цуканов
Александр Юрьевич Брюшинин
Original Assignee
Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики filed Critical Ленинградский Институт Точной Механики И Оптики
Priority to SU884437728A priority Critical patent/SU1552005A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1552005A1 publication Critical patent/SU1552005A1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике. Цель изобретени  - расширение функциональных возможностей за счет определени  направлени  вектора смещени  и упрощение настройки устройства за счет исключени  операции ориентации - интерферограммы. Устройство состоит из оптически св занных сканатора 3, линз 5 и 6, оборачивающей призмы 7 и блока 8 измерени  угла поворота, растра 12 и фотоприемника 14, коммутатора 15 и измерител  18 разности фаз. По набору разностей фаз сигналов, полученных при падении двух лучей на спекл-интерферограмму 21 при различных углах поворота плоскости падени , определ ют проекции вектора смещени  диффузного объекта на оси координат. 2 ил.

Description

ю
о о
СП
Изобретение относитс  к контрольно- измерительной технике и может быть использовано дл  определени  вектора смещени  диффузно отражающих объектов Цель изобретени  - расширение функциональных возможностей за счет определени  направлени  вектора смещени  и упрощение настройки устройства за счет исключени  операции ориентации спекл-интерферограммы.
На фиг,1 представлена блок-схема устройства; на фиг.2 - временные диаграммы электрических сигналов на выходах, блоков устройства.
Устройство состоит из оптически св занных установленных последовательно по ходу лучей источника 1 когерентного излучени , отклон ющего элемента 2, ска атора 3 с зеркалом 4, линз 5 и 6, оборачивающей призмы 7 с блоком 8 измерени , угла поворота, оборачивающей призмы 9, объектива 10, призменной панкратической системы 11, растра 12, линзы 13 и фотоприемника 14, коммутатора 15, вход которого подключен к выходу фотоприемника 14, резонансных усилителей 16 и 17, входы которых подключены к выходам коммута- I тора 15, измерител  18 разности фаз, входы которого подключены к выходам усилителей 16 и 17, генератора 19 пр моугольных импульсов,, выход которого подключен к выходам усилителей 16 и 17,, генератора 19 пр моугольных импульсов, выход которого подключен к управл ющему входу коммутатора 15, и аттенюатора 20, включенного между выходом генератора 19 и входом сканатора 3.
Устройство работает следующим образом.
Спекл-интерферограмма 21 с заре- ; гистрированными на ней спекл-картинами от объекта в возмущенном и невоз- мущенном состо ни х устанавливаетс  в заднюю фокальную плоскость линзы 6.
Пучок света от источника 1 когерентного излучени  после отражени  от элемента 2 попадает на зеркало 4 сканатора 3. Одновременно на сканатор подаетс  пр моугольное напр жение с периодом Тм, поступающее с генератора 19 через аттенюатор 20, Под действием пр моугольного напр жени  зеркало сканатора приходит в колебательное движение. Зеркало колеблетс  вокруг оси сканатора, перпендикул рной к плоскос.ти чертежа. Период колебаний
5
Q 5 п
5
0
0
5
равен Т ц., углова  амплитуда колебаний - 1/2ft 0. Так как в исходном положении зеркало 4 перпендикул рно к оптической оси устройства, то падающий на зеркало 4 пучок света отклон етс  последним на угол ot0 по обе стороны от оптической оси устройства с периодом, равным То.. Отклон ющий элемент 2 одновременно выполн ет функции экрана: его размеры выбраны так, что он экранирует линзу 5 от световых пучков, соответствующих промежуточным положени м сканатора 3, т.е„ дл  углов отклонени  /oi / 0 Поэтому световые пучки г. и г„, пройд  линзы 5 и 6, оборачивающую призму 7, поочередно освещают спекл- интерферограмму 21.
Интерференционные полосы формируютс  в задней фокальной плоскости объектива 10 на поверхности растра 12. Оборачивающа  призма 9 и приз- менна  панкратическа  система 11 предназначены дл  настройки интерференционных полос: с помощью вращени  оборачивающей призмы 9 вокруг оптической оси устройства подстраиваетс  ориентаци  полос, с помощью панкратической системы 11 - период.
При движении растра 12 косинусо- идальное распределение интенсивности в интерференционных полосах переходит в косинусоидальное изменение во времени суммарного светового сигнала на выходе растра, а пространственна  фаза полос - в фазу сигнала.
Линза 13 фокусирует световой сигнал на фотоприемник 14, электрический сигнал с выхода которого через коммутатор 15 подаетс  на резонансные
усилители 16 и 17. i
Так как спекл-фотографи  освещаетс  двум  световыми пучками г, и гЈ , существование которых разделено во времени, в задней фокальной плоскости объектива10 локализованы две системы интерференционных полос,также существующие в различные моменты времени . Соответственно на выходе фотоприемника 14 присутствуют два электрических сигнала, существование которых также разделено во времени, так как каждый из сигналов об зан своим происхождением соответственно одной из двух систем полос. Дл  разведени  электрических сигналов на резонансные усилители 16 и 17 в устройстве предусмотрена электронна  коммутаци .
Коммутатор 15 управл етс  тем же пр моугольным напр жением, что подаетс  на сканатор 3. С выходов усилителей сигналы поступают на входы измерител  18 разности фаз.
Процесс формировани  электрических сигналов по сн етс  с помощью фиг.2, где UЈ - пр моугольное напр жение с выхода генератора 19; U. - сигнал с выхода фотоприемника; U, , - сигналы с выходов коммутатора соответственно от первой и второй систем интерференционных полос; V,, , V2 - огинат , р - угол между осью X и плоскостью падени , Д - длина волны. Измерив несколько разностей фаз дл  различных $ можно найти dx и du, , т.е. определить вектор смещени .

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    JQ Устройство дл  расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм, содержащее оптически св занные источник когерентного излучени , отклон ющий элемент, объектив, щелевой растр,
    бающие сигналов и игв соответ ст- j«j установленный с возможностью перемевенно; U, U2 - сигналы с выходов резонансных усилителей 18 и 19;
    2
    Т --г- - период сигнала; СО - частота сигнала; - разность фаз сигналов.
    Резонансные усилители 16 и 17 на20
    щени  перпендикул рно оптической оси объектива, и фотоприемник, резонансный усилитель и измеритель разности фаз, первый вход которого подключен к выходу резонансного усилител , отличающеес  тем, что, с целью расширени  функциональных возможностей за счет определени  направлени  вектора смещени  и упрощени  настройки устройства, оно снабжено последовательно установленными оптически св занными с отклон ющим элементом сканатором, телескопической фокусирующей системой, первой оборачивающей призмой с блоком измерени  угла поворота и второй оборачивающей призмой, панкратической оптической системой, установленной между объективом и растром, фокусирующей линзой, установленной между растром и фотоприемником , коммутатором, вход которого подключен к выходу фотоприемника а первый выход - к входу первого резонансного усилител , вторым резонансным усилителем, включенным между вторым выходом коммутатора и вторым входом измерител  разности фаз, и генератором пр моугольного напр жени , выход которого подключен к управл ющим входам коммутатора и сканатора, отклон ющий элемент расположен между сканатором и телескопической фокусирующей системой.
    стрЪены на частоту СО ,
    со - -f,
    Л0
    где Х0 - период растра; V - скорость движени  растра. В процессе измерений сигналы U и U2 с выходов резонансных усилителей 16 и 17 поступают на входы измерител  18 разности фаз. С помощью оборачивающей призмы 7 поворачивают плоскость падени  лучей на спекл-интерферограмму 21. Разность фаз, измер ема  измерителем 18, зависит от угла поворота плоскости падени  и от вектора смеще- ни  следующим образом:
    f2dx sinoi0 cos/2 +
    ГЧ
    fll ---
    PJ
    sinod,
    sin
    где dx и du - проекции вектора смещени  на ось X, перпендикул рную плоскости чертежа фиг.1, и ось У, лежащую в плоскости чертежа фиг.1, причем оси X, У и ось Z, параллельна  оптической оси устройства, образуют ортогональную систему коорди155200 6
    нат, р - угол между осью X и плоскостью падени , Д - длина волны. Измерив несколько разностей фаз дл  различных $ можно найти dx и du, , т.е. определить вектор смещени .
    Формула изобретени 
    Устройство дл  расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм, содержащее оптически св занные источник когерентного излучени , отклон ющий элемент, объектив, щелевой растр,
    5
    0
    5
    0
    5
    щени  перпендикул рно оптической оси объектива, и фотоприемник, резонансный усилитель и измеритель разности фаз, первый вход которого подключен к выходу резонансного усилител , отличающеес  тем, что, с целью расширени  функциональных возможностей за счет определени  направлени  вектора смещени  и упрощени  настройки устройства, оно снабжено последовательно установленными оптически св занными с отклон ющим элементом сканатором, телескопической фокусирующей системой, первой оборачивающей призмой с блоком измерени  угла поворота и второй оборачивающей призмой, панкратической оптической системой, установленной между объективом и растром, фокусирующей линзой, установленной между растром и фотоприемником , коммутатором, вход которого подключен к выходу фотоприемника а первый выход - к входу первого резонансного усилител , вторым резонансным усилителем, включенным между вторым выходом коммутатора и вторым входом измерител  разности фаз, и генератором пр моугольного напр жени , выход которого подключен к управл ющим входам коммутатора и сканатора, отклон ющий элемент расположен между сканатором и телескопической фокусирующей системой.
    Ну
    Ту
    гттшт
    (/,
    tt
    Фие.2
SU884437728A 1988-06-08 1988-06-08 Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм SU1552005A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884437728A SU1552005A1 (ru) 1988-06-08 1988-06-08 Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884437728A SU1552005A1 (ru) 1988-06-08 1988-06-08 Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1552005A1 true SU1552005A1 (ru) 1990-03-23

Family

ID=21380139

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884437728A SU1552005A1 (ru) 1988-06-08 1988-06-08 Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1552005A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2319158C2 (ru) * 2002-02-14 2008-03-10 Данмаркс Текниске Университет Оптический измерительный преобразователь смещения

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР ff 1303817, кл. G 01 В 11/16, 1984. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2319158C2 (ru) * 2002-02-14 2008-03-10 Данмаркс Текниске Университет Оптический измерительный преобразователь смещения

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3715165A (en) Investigating the topography of reflecting surfaces
US2870671A (en) Autocollimator for measuring angle of incident light beam
US4872756A (en) Dual path interferometer with varying difference in path length
CA2397095C (en) Apparatus and methods for surface contour measurement
JPS63311121A (ja) エンコ−ダ−
US3767307A (en) Real time interferometer
US4890921A (en) Scanning interferometer
US4132940A (en) Apparatus for providing a servo drive signal in a high-speed stepping interferometer
SU1552005A1 (ru) Устройство дл расшифровки сдвиговых спекл-интерферограмм
US3535024A (en) Interferometer servo system
CN112577431A (zh) 光栅尺测量装置及测量方法
US3601491A (en) Distance-measuring interferometer
US4505588A (en) Fiber stellar interferometer
RU2092787C1 (ru) Способ определения коротких дистанций до диффузно-отражающих объектов и устройство для его осуществления
US3917409A (en) Optical apparatus for determining focus
US4105336A (en) Electro-optical device for use in improved interferometers
JP3842301B2 (ja) 干渉測定装置
US3552861A (en) Device for determining the displacement of a component of a machine tool with the aid of a grating mechanically connected to the component
CA2246374C (en) Apparatus and methods for surface contour measurement
GB991710A (en) Improvements in or relating to devices for measuring displacements
RU2166182C2 (ru) Интерференционный способ измерения угла поворота объекта
SU1753260A1 (ru) Устройство дл измерени профил объекта
US8842263B1 (en) Method of, and apparatus for, furnishing information to determine the position of a body
SU1416864A1 (ru) Устройство дл измерени угловых перемещений объекта
JPS63218827A (ja) 光スペクトル検出装置