SU1608558A1 - Датчик аммиака - Google Patents

Датчик аммиака Download PDF

Info

Publication number
SU1608558A1
SU1608558A1 SU884461691A SU4461691A SU1608558A1 SU 1608558 A1 SU1608558 A1 SU 1608558A1 SU 884461691 A SU884461691 A SU 884461691A SU 4461691 A SU4461691 A SU 4461691A SU 1608558 A1 SU1608558 A1 SU 1608558A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
sensitive element
ammonia
oxide film
concentration
porous
Prior art date
Application number
SU884461691A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Вячеславович Михо
Валерий Яковлевич Колебошин
Original Assignee
Одесский государственный университет им.И.И.Мечникова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Одесский государственный университет им.И.И.Мечникова filed Critical Одесский государственный университет им.И.И.Мечникова
Priority to SU884461691A priority Critical patent/SU1608558A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1608558A1 publication Critical patent/SU1608558A1/ru

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к датчикам дл  определени  концентрации аммиака в газовых смес х. Цель изобретени  - снижение порога чувствительности и увеличение срока работы датчика. Датчик содержит чувствительный элемент и два электрода, один из которых пористый. Чувствительный элемент выполнен в виде оксидной пленки, поверхность которой со стороны пористого электрода легирована ионами натри . Это позвол ет измер ть концентрацию аммиака до 0,1 г/м3. 1 ил.

Description

ной быть тро гих
по ка
flaTiJ
мер
paui
 вл
вне
цен
жен
Изобретение относитс  к измеритель- аппаратуре дл  анализа газов и может использовано дл  определени  и кон- содержани  аммиака в воздухе и дру- газовых смес х.
Целью изобретени   вл етс  снижение поррга чувствительности и увеличение сро- работы датчика.
На чертеже представлен предлагаемый ик.
Датчик состоит из электрода 1 (напри- алюмини , тантала или кремни ) с вы- раи енной на нем оксидной пленкой 2, ющейс  чувствительным элементом. Во BHeijuHeM слое 3 оксидной пленки 2 имеютс  4. с положительным эффективным д . Величина положительного эф- фек- ивного зар да 6 управл етс  введе- во внешний слой 3 ионов натри . На внешнем слое 3 оксидной пленки 2 располо- второй противоэлектрод 5, выполненры
ный из полупроводниковой пористой пленки окисла олова или кадми . Токосьемные электроды 1 и 5 подключаютс  к регистрирующему уатройству 6.
Датчик работает следующим образом.
Молекула аммиака из газовой среды проникает сквозь поры электрода 5 к поверхности оксидной пленки 2. Попада  на центры 4 с положительным эффективным зар дом д , молекула NHa диссоциирует. Продукты диссоциации (положительно и отрицательно зар женные ионы) вследствие различных в их коэффициентах диффузии пространственно раздел ютс  по толщине пленки. Пространственное разделение продолжаетс  до тех пор, пока возникающее внутреннее электрическое поле не уравновесит диффузионные потоки продуктов диссоциации . В результате этого возникает разность потенциалов на электродах 1 и 5. Величи.ча разности потенциалов измен ет
О
о
00
ел ел
00
с  при изменениихонцентрации аммиака в окружающей среде.

Claims (1)

  1. Формула изобретени  Датчик аммиака в газовой среде, содержащий чувствительный элемент и два электрода , один из которых пористый, отличающийс  тем, что, с целью снижени  порога чувствительности и увеличени  срока работы, чувствительный элемент выполнен в виде оксидной пленки, поверхность которой со стороны пористого электрода легирована ионами натри  с концентрацией атомов на 1 кв.см.
SU884461691A 1988-07-12 1988-07-12 Датчик аммиака SU1608558A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884461691A SU1608558A1 (ru) 1988-07-12 1988-07-12 Датчик аммиака

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884461691A SU1608558A1 (ru) 1988-07-12 1988-07-12 Датчик аммиака

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1608558A1 true SU1608558A1 (ru) 1990-11-23

Family

ID=21390271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884461691A SU1608558A1 (ru) 1988-07-12 1988-07-12 Датчик аммиака

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1608558A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2439546C2 (ru) * 2006-05-29 2012-01-10 Еадс Дойчланд Гмбх Устройство для эксплуатации металлооксидного газового датчика

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Агас н П.К.,ХамракуловТ.К. Кулономет- ри |(еский метод.анализа. - М.: Хими , 1984. Авторское свидетельство СССР Ns 1141326. кл.С 01 N27/02, 1983. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2439546C2 (ru) * 2006-05-29 2012-01-10 Еадс Дойчланд Гмбх Устройство для эксплуатации металлооксидного газового датчика

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4671852A (en) Method of forming suspended gate, chemically sensitive field-effect transistor
US4092232A (en) H2 S Direct gas sensor
US7554135B2 (en) Device for detecting a gas or gas mixture
US2965842A (en) Detection of ambient components by semiconductors
CN112352153A (zh) 一种消除环境温湿度变化影响的气体检测系统及其方法
US20160282295A1 (en) Method for analyzing analyte concentration in a liquid sample
RU2350936C1 (ru) Полупроводниковый газоанализатор
Endres et al. Impedance spectroscopy on dielectric gas sensors
SU1608558A1 (ru) Датчик аммиака
Moritz et al. Monitoring of HF and F2 using a field-effect sensor
RU2423688C1 (ru) Нанополупроводниковый газоанализатор
RU2274853C1 (ru) Датчик диоксида азота
Fomenko et al. The influence of technological factors on the hydrogen sensitivity of MOSFET sensors
Chauvet et al. Stability of silicon nitride/silicon dioxide/silicon electrodes used in pH microelectronic sensors
US4116796A (en) Selective halide and sulfide sensitive electrodes
RU2274854C1 (ru) Пьезорезонансный газовый датчик
US4666566A (en) Method of detecting oxygen partial pressure
RU2652646C1 (ru) Датчик микропримесей аммиака
RU2610349C1 (ru) Полупроводниковый газовый датчик микропримесей кислорода
RU2613482C1 (ru) Полупроводниковый датчик аммиака
US4492614A (en) Chlorine detection
Liang et al. Molecular electronic transducer based tilting sensors
RU2464553C1 (ru) Полупроводниковый газоанализатор
Guillet et al. The influence of the electrode size on the electrical response of a potentiometric gas sensor to the action of oxygen
RU2526226C1 (ru) Полупроводниковый газоанализатор