SU1651180A1 - Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности - Google Patents
Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности Download PDFInfo
- Publication number
- SU1651180A1 SU1651180A1 SU894702525A SU4702525A SU1651180A1 SU 1651180 A1 SU1651180 A1 SU 1651180A1 SU 894702525 A SU894702525 A SU 894702525A SU 4702525 A SU4702525 A SU 4702525A SU 1651180 A1 SU1651180 A1 SU 1651180A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- moisture
- sensitive
- temperature
- substrate
- sensitive element
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract 2
- 241001135549 Porcine epidemic diarrhea virus Species 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- -1 salt compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к технической физике и может быть использовано при разработке и изготовлении подогревных электролитических датчиков влажности. Цель изобретени заключаетс в повышении точности измерени изготавливаемых датчиков влажности. Способ изготовлени датчика заключаетс в том, что после нанесени на диэлектрическую подложку влагочувстви- тельного элемента, т.е. электродов и влаго- чувствительного вещества, и размещени нагревательного элемента на последней подают номинальную электрическую нагрузку . При этом определ ют на подложке область, имеющую одинаковую с влагочувствительным веществом температуру. В этой области размещают термочувствительный элемент. 1 ил.
Description
(Л
С
Изобретение относитс к технической физике и может быть использовано при разработке и изготовлении подогревных электролитических датчиков влажности.
Целью изобретени вл етс повышение точности изготавливаемого подогревного электролитического датчика влажности.
Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности (ПЭДВ) заключаетс в том, что на диэлектрическую подложку нанос т влагочувстви- тельный элемент с влагочувствительным веществом, в на другой стороне подложки размещают нагревательный и термочувствительный элементы. После нанесени влагочувстеительного элемента с влагочувствительным веществом и размещени нагревательного элемента на нагревательный элемент подают номинальную электрическую нагрузку. Определ ют на подложке область , имеющую одинаковую с влагочувствительным веществом температуру, и в этой области размещают термочувствительный элемент.
На чертеже приведено устройство дл реализации предлагаемого способа изготовлени ПЭДВ.
В конкретном варианте выполнени влагочувствительное вещество 1 расположено в капилл рном зазоре между электродами 2 и 3, размещенными на одной стороне диэлектрической подложки 4. На другой стороне подложки расположены нагревательный 5 и термочувствительный б элементы. Причем термочувствительный элемент располагаетс в области, имеющей температуру , одинаковую с влагочувствительным веществом. В конкретном варианте вылол х ел
00 О
нени капилл рный зазор имеет кольцевую форму. Возможны другие варианты расположени элементов, например расположение влагочувствительного и термочувствительного элементов на одной стороне подложки.
Электроды, нагревательный и термочувствительный элементы нанесены методом вакуумного напылени на ситалловую подложку. 8 качестве влагочувствительного вещества используютс гигроскопические солевые составы (например Lid), в качестве электродов TIN, а нагревательного элемента и термочувствительного элемента N1.
Между влагочувствительным элементом и нагревательным элементом 5 предусмотрена внешн электронна аппаратура автоматического регулировани , состо ща из регул тора 7 и преобразовател 8 электрической проводимости. Входной величиной электронной аппаратуры вл етс ток, регулирующий электрическую проводимость поверхностного сло влагочувствительного вещества 1, а выход регул тора устанавливает регулирующий ток накала дл нагревательного элемента 5.
К термочувствительному элементу 6 подключен измерительный преобразователь 9 сопротивлени дл измерени температуры датчика влажности. Следом за измерительным преобразователем 9 сопротивлени подключен индикатор 10, который показывает равновесную температуру, устанавливающуюс в зависимости от точки росы.
ПЭДВ работает следующим образом.
На электроды 2 и 3 подаетс напр жение (во избежание пол ризации электродов подаетс напр жение с частотой 1-10 кГц). В случае, если парциальное давление вод ного пара над влагочувствительным веществом 1 Ер меньше давлени вод ного пара в измер емой среде Е0, происходит поглощение вод ного пара влагочувствительным веществом, что вызывает дальнейшее увеличение массы воды (толщины пленки электролита) в межэлектродном пространстве , т.е. капилл рном зазоре. Увеличение массы воды приводит к уменьшению сопротивлени влагочувствительного элемента.
Если в момент включени состо ние влагочувствительного элемента характеризуетс малым сопротивлением, то в этом случае выдел етс максимальна мощность в нагревательном элементе 5, расположенном на одной подложке с термочувствительным элементом б ПЭДВ. Нагрев влагочувствительного сло вызывает увеличение его сопротивлени и уменьшение выдел емой мощности на нагревательном элементе ПЭДВ. Таким образом, данный процесс в системе ведет к установлению
равновеси в некоторой устойчивой точке, при этом выравниваютс парциальные давлени Ер и Ео. Установивша с таким образом равновесна температура характеризует
влажность среды, измер етс никелевым термочувствительным элементом и отображаетс на показывающем приборе 10.
Расположение термочувствительного элемента б в области, имеющей одинаковую
температуру с влагочувствительным веществом 1, позвол ет измер ть непосредственно равновесную температуру.
Уменьшение массы воды приводит к увеличению сопротивлени влагочувствительного элемента, что вызывает уменьшение напр жени на нагревателе и понижение температуры ПЭДВ. Понижение температуры продолжаетс до тех пор, пока не установитс равновесна температура. На этом
переходный процесс заканчиваетс и устанавливаетс равновесие между количеством влаги, испар емым и поглощаемым влагочувствительным элементом. Установивша с равновесна температура фиксируетс никелевым термочувствительным элементом на показывающем приборе.
Дл изготовлени описанного ПЭДВ на одной стороне диэлектрической подложки 4 методом вакуумного напылени нанос т
электроды 2 и 3. Влагочувствительное вещество размещают в сформированном капилл рном зазоре кольцевой формы-. Затем на другой стороне подложки методом вакуумного напылени размещают нагревательный
элемент 5. на который подают номинальную электрическую нагрузку. С помощью тепло- визионных методов контрол определ ют на поверхности подложки область, имеющую одинаковую с влагочувствительным веществом температуру. Затем в этой области размещают методом вакуумного напылени термочувствительный элемент 6. Расположение термочувствительного элемента в области, имеющей одинаковую с влагочувствительным веществом температуру, позвол ет измер ть непосредственно температуру трехфазного равновеси влагочувствительного вещества (гигроскопичной соли LIC), св занную с точкой росы. Кроме того, отсутствие градиента температур между влагочувствительным веществом и термочувствительным элементом позвол ет повысить быстродействие ПЭДВ, изготовленного по предлагаемому способу
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности, заключающийс в том, что на диэлектрическую подложку нанос т влагочувствитель- ный элемент с влагочувствительным веществом , а на другой сторохе подложки размещают нагревательный и термочувствительный элементы, отличающийс тем, что, с целью повышени точности измерени изготавливаемого датчика, после нанесени влагочувствительного элемента свлагочувствительным веществом и размещени нагревательного элемента, на нагревательный элемент подают номинальную электрическую нагрузку, определ ют на подложке область, имеющую одинаковую с влагочувствительным веществом температуру , и в этой области размещают термочувствительный элемент.7 г8
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894702525A SU1651180A1 (ru) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU894702525A SU1651180A1 (ru) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1651180A1 true SU1651180A1 (ru) | 1991-05-23 |
Family
ID=21452907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU894702525A SU1651180A1 (ru) | 1989-05-19 | 1989-05-19 | Способ изготовлени подогревного электролитического датчика влажности |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1651180A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5597953A (en) * | 1993-10-19 | 1997-01-28 | Jury Gennadievich Usanov | Gas moisture sensor and method of producing same |
-
1989
- 1989-05-19 SU SU894702525A patent/SU1651180A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 273488, кл. G 01 W 1/11. 1969. За вка DE № 3409401, кл. G01 N27/12. 1985. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5597953A (en) * | 1993-10-19 | 1997-01-28 | Jury Gennadievich Usanov | Gas moisture sensor and method of producing same |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2538930C2 (ru) | Устройство и способ для калибровки термометра по месту | |
| US5792938A (en) | Humidity sensor with differential thermal detection and method of sensing | |
| GB2213271A (en) | Measuring the water vapour dew point in gases | |
| JPH07294469A (ja) | 露点または気体濃度の測定方法と着氷予測装置 | |
| JPH0151771B2 (ru) | ||
| FI92440C (fi) | Detektori ja menetelmä nesteen läsnäolon ja/tai sen faasimuutoksen havaitsemiseksi | |
| US4384934A (en) | Means for determining the partial pressure of oxygen in an atmosphere | |
| US3787764A (en) | Solid dielectric capacitance gauge for measuring fluid pressure having temperature compensation and guard electrode | |
| RU2096777C1 (ru) | Датчик влажности | |
| EP1861702A1 (en) | Method and apparatus for providing an electrochemical sensor at an adjustable temperature | |
| Garnier et al. | A new transient hot-wire instrument for measuring the thermal conductivity of electrically conducting and highly corrosive liquids using small samples | |
| RU152497U1 (ru) | Датчик влажности | |
| CN115308274A (zh) | 双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备 | |
| CN108534906A (zh) | 一种多点温湿度测试仪及其使用方法 | |
| JP3300110B2 (ja) | ガス検出器 | |
| JPS6011160A (ja) | 水分分析計 | |
| JPH064305Y2 (ja) | 小型水圧センサ | |
| EP4012393B1 (en) | Method for calibrating a fast humidity sensor | |
| SU1711057A1 (ru) | Первичный преобразователь гигрометра точки росы | |
| SU630575A1 (ru) | Первичный преобразователь теплоимпульсного влагосера | |
| JPH02179459A (ja) | 湿度センサ | |
| RU1566883C (ru) | Емкостный датчик температуры труднодоступных объектов | |
| JPH0769221B2 (ja) | 温度検知材料、温度センサー及び温度測定方法 | |
| RU1805367C (ru) | Конденсационный гигрометр | |
| SU1550395A1 (ru) | Подогревный электролитический преобразователь влажности газов |