SU1761821A1

SU1761821A1 - Method of checking average current density for pulse power of electroplating bath

Info

Publication number: SU1761821A1
Application number: SU904795274A
Authority: SU
Inventors: Михаил Борисович Гладштейн; Николай Васильевич Ковалков; Александр Анатольевич Кульков; Борис Николаевич Горовой
Original assignee: Смоленский филиал Московского энергетического института
Priority date: 1990-02-22
Filing date: 1990-02-22
Publication date: 1992-09-15

Abstract

Изобретение относитс к гальванотехнике и может быть использовано дл автоматического контрол и регулировани средней плотности тока в гальванической ванне. Цель изобретени - повышение точности контрол средней плотности тока за счет исключени вли ни количественного и качественного состава электролита, его температуры путем питани ванны и дополнительного электрода известной площади импульсным напр жением, регулировани среднего тока дополнительного электрода таким образом, чтобы напр жение между катодом и дополнительным электродом во врем паузы тока было равно нулю, измерени среднего тока дополнительного электрода и нахождени средней плотности тока катода как величины, пропорциональной среднему току дополнительного электрода. Способ реализуетс с помощью устройства, содержащего ванну 1, анод 2, катод 3, дополнительный электрод 4, схему сравнени 5, устройство выборки-хранени 6, источник тока дополнительного электрода 7, основной источник питани 8, генератор тактовых импульсов 9, шунт 10, фильтрующий усилитель 11. Ошибка контрол плотности стока не превышает 1,4%. 1 ил. СО СThis invention relates to electroplating and can be used to automatically control and regulate the average current density in an electroplating bath. The purpose of the invention is to improve the accuracy of monitoring the average current density by eliminating the influence of the quantitative and qualitative composition of the electrolyte, its temperature by feeding the bath and the additional electrode of a known area with a pulse voltage, adjusting the average current of the additional electrode so that the voltage between the cathode and the additional electrode during the pause, the current was zero, the average current of the additional electrode was measured, and the average current density of the cathode was measured as oportsionalnoy average current of the additional electrode. The method is implemented using a device comprising bath 1, anode 2, cathode 3, additional electrode 4, comparison circuit 5, sampling-storage device 6, current source of additional electrode 7, main power source 8, clock pulse generator 9, shunt 10, filtering amplifier 11. The error of the control of the density of the drain does not exceed 1.4%. 1 il. WITH S

Description

Изобретение относитс к гальванотехнике и может быть использовано дл автоматического контрол и регулировани средней плотности тока в гальванической ванне.This invention relates to electroplating and can be used to automatically control and regulate the average current density in an electroplating bath.

Целью изобретени вл етс повышение точности контрол путем исключени вли ни на результаты измерени состава электролита v температуры.The aim of the invention is to improve the control accuracy by eliminating the effect on the measurement results of the composition of the electrolyte v temperature.

На чертеже представлена блок-схема устройства, реализующего способ.The drawing shows the block diagram of the device that implements the method.

Устройство содержит гальваническую ванну 1, анод 2, катод 3, дополнительный электрод 4, схему сравнени 5, устройствоThe device contains a galvanic bath 1, an anode 2, a cathode 3, an additional electrode 4, a comparison circuit 5, a device

выборки хранени 6, источник тока дополнительного электрода 7, основной источник питани 8, генератор тактовых импульсов 9, шунт в цепи источника тока дополнительного электрода 10, фильтрующий усилитель 11, причем выход основного источника питани 8 соединен с анодом 2, катод 3 заземлен. Дополнительный электрод4объединен стоковым входом источника дополнительного электрода 7 и с одним из входов схемы сравнени 5, другой вход которой заземлен. Выход схемы сравнени 5 соединен со сходом устройства выборки хранени 6, выход которой объединен с регулирующим входомstorage samples 6, the current source of the additional electrode 7, the main power source 8, the clock pulse generator 9, the shunt in the current source circuit of the additional electrode 10, the filter amplifier 11, the output of the main power source 8 is connected to the anode 2, the cathode 3 is grounded. The additional electrode 4 is connected by the drain input of the source of the additional electrode 7 and with one of the inputs of the comparison circuit 5, the other input of which is grounded. The output of the comparison circuit 5 is connected to the gathering of the storage sampling device 6, the output of which is combined with the control input

sjsj

0000

гоgo

источника тока дополнительного электрода 7, токовый выход которого соединен с шунтом 10, и входом фильтрующего усилител 11, второй конец шунта заземлен. Выход генератора тактовых импульсов 9 объеди- нен с управл ющими входами основного источника питани 8, устройства выборки хранени 6, источника тока дополнительного электрода 7.the current source of the additional electrode 7, the current output of which is connected to the shunt 10, and the input of the filter amplifier 11, the second end of the shunt is grounded. The output of the clock pulse generator 9 is combined with the control inputs of the main power source 8, the storage sampling device 6, the current source of the auxiliary electrode 7.

В ванну 1 устанавливаютс основные электроды 2 и 3 (анод-катод) и дополнительный электрод 4, предварительно измерив его площадь. Подключают электроды к источникам импульсного напр жени 8 и 7 соответственно. В процессе покрыти в мо- мент паузы тока ванны с помощью схемы сравнени 5 и устройства выборки хранени 6 величина тока источника тока дополнительного электрода 7 регулируетс таким образом, чтобы разность напр жений меж- ду дополнительным электродом и катодом 3 была равна нулю. Определение плотности тока катода 3 осуществл етс по величине среднего тока дополнительного электрода 4 с помощью шунта 10 и фильтрующего уси- The main electrodes 2 and 3 (anode-cathode) and the additional electrode 4 are installed in bath 1, after measuring its area. The electrodes are connected to the pulse voltage sources 8 and 7, respectively. During the coating process, when the bath current is paused using the comparison circuit 5 and the storage sampling device 6, the current value of the current source of the additional electrode 7 is adjusted so that the voltage difference between the additional electrode and the cathode 3 is zero. The current density of the cathode 3 is determined by the average current of the additional electrode 4 by means of a shunt 10 and filtering force.

Claims

letter 11. Clocking the operation of the entire device is produced by the generator 9. The formula of the invention

The method of controlling the average current density during a pulsed power supply of a galvanic bath, including the installation of an additional electrode in the bath between the anode and the cathode, connecting the electrodes to a pulse voltage source and determining the average current density that differs from nor on the results of the measurement of the electrolyte composition and temperature, before the deposition process of the coating, the area of the additional electrode is measured; during the deposition process, the average current is added So that the voltage between the additional electrode and the cathode at the time of the current pause is zero, the average current of the additional electrode is measured, and the average current density is found as a value proportional to the average current of the additional electrode.