SU270432A1 - УСТРОЙСТВО дл ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ - Google Patents
УСТРОЙСТВО дл ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕInfo
- Publication number
- SU270432A1 SU270432A1 SU1288209A SU1288209A SU270432A1 SU 270432 A1 SU270432 A1 SU 270432A1 SU 1288209 A SU1288209 A SU 1288209A SU 1288209 A SU1288209 A SU 1288209A SU 270432 A1 SU270432 A1 SU 270432A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- vacuum
- materials
- evaporating materials
- screen
- gases
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относитс к вакуумному нанесению различных материалов, в частности к устройствам дл испарени материалов при вакуумном нанесении тонких пленок, покрытий и т. п.
Известны устройства дл испарени материалов в вакууме, содержащие обогреваемый тигель, окруженный коаксиально расположенным цилиндрическим терморадизционным экраном . Однако использование известных устройств приводит к значительному ухудшению вакуума в камере за счет газовыделени из нагреваемых деталей.
Предложенное устройство позвол ет блокировать газовыделеиие из нагреваемых деталей, тем самым не измен вакуума в камере. Это достигаетс тем, что экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выдел ющихс газов, и в верхней части снабжен диафрагмой.
На чертеже изображено предложенное устройство .
Тигель / дл испар емого материала снабжен нагревателем 2 и окружен коаксиально расположенным экраном 3, выполненным в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеснечивающих улавливание выдел ющихс газов. В верхней части расположена диафрагма .
Набор съемных цилиндров, служ.ащий дл локального улавливани газов, может представл ть собой, например, геттерную, геттерно-ионную , криогенную, цеолитовую или другую откачную систему.
При работе устройства набор цилиндров может быть заранее охлажден, например, в жидком азоте. Несмотр на ограниченную теплоемкость последнего эта операци целесообразна , так как основна масса газов выдел етс в течение первых 2-3 мин работы испарительного устройства. После закладки испар емого материала в тигель устанавливают предварительно охлажденныГ набор цилиндров и,
диафрагму. Далее осуществл ют откачку камеры до высокого вакуума, при котором набор цилиндров сохран ет евою температуру достаточно долго. При нагреве испар емого материала диафрагма способствует локализации
выдел ющихс из нагретых деталей газов, которые сорбируютс внутренней поверхностью экрана.
25Предмет изобретени
Устройство дл испарени материалов в вакууме , содержащее обогреваемый тигель, окруженный коакеиально расположенным цилин30 дрическим экраном, отличающеес тем, что, с
целью блокировани газовыделени из нагреваемых деталей, экран выполнен в виде набора съемных цилиндров из материалов, обеспечивающих улавливание выдел ющихс газов, и в Верхней части снабжен диафрагмой.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1288209A SU270432A1 (ru) | 1968-12-08 | 1968-12-08 | УСТРОЙСТВО дл ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1288209A SU270432A1 (ru) | 1968-12-08 | 1968-12-08 | УСТРОЙСТВО дл ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864149563A Addition SU1390261A2 (ru) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Устройство дл предотвращени намотов на вальце к установке дл обработки химических волокон |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU270432A1 true SU270432A1 (ru) | 1970-05-08 |
Family
ID=39156138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1288209A SU270432A1 (ru) | 1968-12-08 | 1968-12-08 | УСТРОЙСТВО дл ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU270432A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986000092A1 (fr) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporateur pour le depot sous vide de films |
| RU2530073C1 (ru) * | 2013-09-23 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт лазерной физики Сибирского отделения Российской академии наук | Вакуумный дуговой испаритель металлов |
-
1968
- 1968-12-08 SU SU1288209A patent/SU270432A1/ru active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986000092A1 (fr) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporateur pour le depot sous vide de films |
| GB2172015A (en) * | 1984-06-12 | 1986-09-10 | Ki Polt I | Evaporator for vacuum deposition of films |
| US4700660A (en) * | 1984-06-12 | 1987-10-20 | Kievsky Politekhnichesky Institut | Evaporator for depositing films in a vacuum |
| AT387239B (de) * | 1984-06-12 | 1988-12-27 | Ki Polt I | Verdampfer zum aufbringen von duennschichten durch vakuumaufdampfen |
| RU2530073C1 (ru) * | 2013-09-23 | 2014-10-10 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт лазерной физики Сибирского отделения Российской академии наук | Вакуумный дуговой испаритель металлов |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5354433A (en) | Method for producing a flow of triisobutylaluminum from liquid triisobutylaluminum containing isobutene | |
| US3110156A (en) | Insulation of containers for the storage of liquids which boil at atmospheric or slightly superatmospheric pressure | |
| US3385420A (en) | Getter devices | |
| GB929748A (en) | Apparatus for performing fractional distillation in a vacuum | |
| US2885997A (en) | Vacuum coating | |
| US3281954A (en) | Freeze-drying apparatus | |
| US3228756A (en) | Method of growing single crystal silicon carbide | |
| US3447333A (en) | Helium film refrigerator | |
| US2818656A (en) | Process of separating volatile components from less volatile components by distillation or sublimation at a low pressure | |
| JPH0788996B2 (ja) | 冷却方法 | |
| SU433252A1 (ru) | Испаритель | |
| US2972697A (en) | Molecular beam apparatus of the maser type | |
| US2465793A (en) | Freezing trap for vacuum systems | |
| US2477926A (en) | Storage of readily damaged material | |
| JPS58197270A (ja) | 蒸発源るつぼ | |
| US3358640A (en) | Device for treating cigarette filter plugs | |
| SU466300A1 (ru) | Испаритель | |
| SU425988A1 (ru) | Испаритель для вакуумных установок | |
| US1647208A (en) | Refrigerating plant | |
| GB931965A (en) | Process and means for defrosting absorption refrigerators | |
| SU454284A1 (ru) | Пр моточный испаритель дл получени паро-газовых смесей | |
| SU129338A1 (ru) | Способ получени полупроводниковых материалов, содержащих несколько летучих компонентов | |
| SU1574697A1 (ru) | Устройство дл осаждени пленок твердых растворов | |
| SU496125A1 (ru) | Устройство дл пайки в атмосфере паров испар ющихс металлов | |
| US2735659A (en) | Condenser for |