SU284883A1 - Электродуговой испаритель - Google Patents
Электродуговой испарительInfo
- Publication number
- SU284883A1 SU284883A1 SU1296473A SU1296473A SU284883A1 SU 284883 A1 SU284883 A1 SU 284883A1 SU 1296473 A SU1296473 A SU 1296473A SU 1296473 A SU1296473 A SU 1296473A SU 284883 A1 SU284883 A1 SU 284883A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cathode
- electric arc
- evaporator
- anode
- arc evaporator
- Prior art date
Links
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 title claims description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме.
Известен электродугозой испаритель, содержащий поджигающий электрод, анод и катод .
Предложенный испаритель отличаетс от известного наличием дополнительного анода, охватывающего нерабочую поверхность катода .
Это обеспечивает стабильное горение дуги при малых токах.
Па чертеже представлен предлагаемый испаритель .
Он состоит из поджигающего электрода 1, анода 2, катода 3 и дополнительного анода 4, охватывающего нерабочую поверхность катода .
Деталь 5, подлежаща покрытию, расположена в области анода. Дуга в испарителе горит между катодом 3 и анодом 2, а ток в цепи дополнительного анода 4 по вл етс лишь в момент ухода катодного п тна с торцевой поверхности на боковую.
Благодар худшим услови м горени дуги 3 малых зазорах катодное п тно самопроизвольно возвращаетс на торцевую поверхкость катода, при этом дуга на торцевой поверхности катода при таких услови х самопроизвольно не гаснет.
Claims (1)
- Формула изобретениЭлектродуговой испаритель, содержащий поджигающий электрод, анод и катод, отлич а ю щ и и с тем, что, с целью обеспечени стабильного горени дуги при малых токах, испаритель снабжен дополнительным анодом, охватывающим нерабочую поверхность катода .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1296473A SU284883A1 (ru) | 1969-01-10 | 1969-01-10 | Электродуговой испаритель |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1296473A SU284883A1 (ru) | 1969-01-10 | 1969-01-10 | Электродуговой испаритель |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU284883A1 true SU284883A1 (ru) | 1976-05-15 |
Family
ID=20444304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1296473A SU284883A1 (ru) | 1969-01-10 | 1969-01-10 | Электродуговой испаритель |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU284883A1 (ru) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1982002906A1 (en) * | 1981-02-23 | 1982-09-02 | Leonid Pavlovich Sablev | Consumable cathode for electric-arc evaporator of metal |
| US4622452A (en) * | 1983-07-21 | 1986-11-11 | Multi-Arc Vacuum Systems, Inc. | Electric arc vapor deposition electrode apparatus |
| US5458754A (en) | 1991-04-22 | 1995-10-17 | Multi-Arc Scientific Coatings | Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition |
| US6103074A (en) * | 1998-02-14 | 2000-08-15 | Phygen, Inc. | Cathode arc vapor deposition method and apparatus |
-
1969
- 1969-01-10 SU SU1296473A patent/SU284883A1/ru active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1982002906A1 (en) * | 1981-02-23 | 1982-09-02 | Leonid Pavlovich Sablev | Consumable cathode for electric-arc evaporator of metal |
| US4622452A (en) * | 1983-07-21 | 1986-11-11 | Multi-Arc Vacuum Systems, Inc. | Electric arc vapor deposition electrode apparatus |
| US5458754A (en) | 1991-04-22 | 1995-10-17 | Multi-Arc Scientific Coatings | Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition |
| US6139964A (en) | 1991-04-22 | 2000-10-31 | Multi-Arc Inc. | Plasma enhancement apparatus and method for physical vapor deposition |
| US6103074A (en) * | 1998-02-14 | 2000-08-15 | Phygen, Inc. | Cathode arc vapor deposition method and apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SU284883A1 (ru) | Электродуговой испаритель | |
| FR2410350A1 (fr) | Contacteurs sous vide pour haute tension | |
| EP0002848A1 (en) | Electrical high-pressure metal vapour discharge lamp | |
| KR830008382A (ko) | 전자총 | |
| KR840000973A (ko) | 개선된 stigmator가 있는 확대 초점 렌즈형 직렬형 전자총을 갖는 컬러 수상관 | |
| SU363375A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
| JPS55136449A (en) | Metal halide lamp | |
| SU307666A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
| SU115623A1 (ru) | Игнитрон | |
| SU953004A1 (ru) | Электродуговой испаритель металлов | |
| SU268122A1 (ru) | Электродуговой испаритель металла | |
| SU62084A1 (ru) | Электронно-лучевой коммутатор | |
| KR860000439B1 (ko) | 소프트 플래쉬 칼라 브라운관의 제조 방법 | |
| SU1078957A1 (ru) | Электродуговой испаритель | |
| JPS5229167A (en) | Body of electron gun | |
| SU1004051A1 (ru) | Неплав щийс электрод дл дуговой и плазменной обработки в инертных газах | |
| SU18362A1 (ru) | Ионна разр дна трубка | |
| SU37772A1 (ru) | Приспособление дл защиты стенок колб газо- и паросветных ламп от распыл ющегос материала электродов | |
| SU389572A1 (ru) | Люл1инесцентная лампа повышенной интенсивности | |
| US1253223A (en) | Cathode structure for vapor-converters. | |
| SU57687A1 (ru) | Многоанодный ионный прибор | |
| US3043981A (en) | Discharge device | |
| JPS51124362A (en) | Field emission type electron gun | |
| SU48561A1 (ru) | Способ усилени фототоков большой частоты | |
| SU938343A1 (ru) | Управл емый искровой разр дник |