SU311432A1 - УСТРОЙСТВО дл ЭЛЕКТРОННОЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к устройствам дл  электроннолучевой обработки материалов.

Целью изобретени   вл етс  улучшение технологии производства деталей с большим количеством отверстий малого диаметра (сит, решеток, охлаждающ.их рубашек и пр.) и увеличение производительности за счет того , что данное устройство позвол ет проводить одновременно прошивку серии отверстий.

На фиг. 1 изображена блок-схема описываемого устройства; на фиг. 2 - термокатод дл  эмиттировани  25 пучков электронов; на фиг. 3 - схема питани ; на фиг. 4 - схема возбуждени  импульсов.

Устройство состоит из многолучевой электронной пушки, включаюш,ей в себ  термокатод /, фокусируюш,ий электрод 2, анод 3 и изолируемую крепежную стойку 4, импульсного генератора 5, координатного стола 6, обрабатываемой детали 7, вакуумной камеры 8, окна 9 и оптического устройства 10 дл  наблюдени  за процессом.

Термокатод выполнен в виде пластины 11 с ш,ел ми 12, наличие которых позвол ет концентрировать токи на участках 13, эмиттирующих электроны. На чертеже тонкими лини ми показаны пути токов, густота которых пропорциональна их плотности. В местах пересечени  токов толш,ина пластины из-за полукруглой выемки (см. фиг. 1) уменьшена и.

M,ivte iMX: -aLtt3 :iS .-./. Л

как следствие этого, термокатод одновременно эмиттирует электроны отдельными малыми участками.

Электроны, вылетевшие с термокатода, ускор ютс  и фокусируютс  в электростатическом поле электронной пушки и направл ютс  на деталь. Регулированием напр жени  на фокусируюшем электроде фокусы пучков приближаютс  к обрабатываемой поверхности детали и тем самым достигаетс  необхо0 дима  дл  обработки плотность мощности.

Перемещение обрабатываемой детали по горизонтали и вертикали осуществл етс  координатным столом 6 (см. фиг. 1).

Электронна  пушка питаетс  знакоперемен5 ными импульсами, что позвол ет уменьшить ионную бомбардировку электродов и увеличить срок их службы. Дл  исключени  вли ни  на фокусировку магнитных полей, созда0 ваемых токами, пагревающимн термокатод, эти токи пропускаютс  лишь тогда, когда на аноде электронной пушки отрицательное напр жение . Это достигаетс  при помощи соответствующей схемы питани  (см. фиг. 3), согласно которой анод, фокусирующий электрод и катод, присоединены к началу, отводу и концу первой вторичной обмотки 14 многообмоточного выходного трансформатора 15 импульсного генератора, а втора  и треть  вторичные обмотки 16 и 17 присоединены через вентили 18 н 19 к взаимно перпендикул рным парам краев катода 20 таким образом, что линии взаимно перпендикул рных токов, создаваемых второй и третьей обмотками в эмиттирующих участках катода, проход т в полупериоды нерабочей (отрицательной) пол рности напр жени  на первой вторичной обмотке. Знакопеременные импульсы возбуждаютс  при помощи тиратрона (вместо тиратрона можно использовать лампы или полупроводниковые приборы) 21 (см. фиг. 4), управл емого от задающего генератора 22. При открывании тиратрона зар женные через дроссели 23-26 конденсаторы 27-30 разр жаютс  через выходной трансформатор 31 и возбуждают необходимые импульсы напр жени  на электродах пушки 32. Обратна  полуволна импульса главным образом используетс  через выпр мители 33 и 34 дл  нагрева катода 55. . Предмет изобретени  1. Устройство дл  электроннолучевой обработки материалов в вакууме, содержащее анод, фокусирующий электрод и катод, отли. чающеес  тем, что, с целью создани  дискретных пучков электронов, пластинчатый катод выполнен с повышенным нагревом в р де участков , расположенных против совпадающих отверстий фокусирующего электрода и анода. 2. Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что, с целью повышени  стабильности процесса обработки и улучшени  фокусировки пучков , анод, фокусирующий электрод и катод присоединены к началу, отводу и концу одной вторичной обмотки многообмоточного выходного трансформатора импульсного генератора, а втора  и треть  вторичные обмотки через вентили присоединены к взаимно перпендикул рным парам краев катода таким образом, что линии взаимно перпендикул рных токов, создаваемых второй и третьей обмотками в эмиттирующих участках катода, проход т в полупериоды нерабочей (отрицательной) пол рности напр жени  на первой вторичной обмотке.

Pui. t