SU376827A1 - Антидинатронное покрытие - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к мощным электровакуумным приборам, в частности к приборам СВЧ. В этих приборах дл  окон выводов энергии и высоковольтных изол торов примен ютс  алюмооксидные керамические материалы, имеющие высокий коэффициент вторичной электронной эмиссии (квээ). Вторичный электронный резонанс,  вл ющийс  следствием высокого квээ диэлектрика ,- одна из причин разрушени  диэлектрика вывода энергии при высоких уровн х пропускаемой через него импульсной мощности. Дл  любой конструкции окна лучшие результаты могут быть получены путем использовани  диэлектрика с низким квээ. В высоковольтных изол торах электронных приборов в результате местного лавинного нарастани  интенсивности бомбардировки за счет вторичных электронов также может происходить разогрев керамики и разрушение ее. И в этом случае использование диэлектрика с более низким квээ позволит предотвратить его разрушение. Известны способы подавлени  вторичного электронного резонанса, например способ снижени  квээ с поверхности путем нанесени  на диэлектрик металлов с более низким, чем у подложки, квээ. Однако наносимые покрыти  недостаточно стойки к многократным прогревам в газовых средах и в вакууме, не обеспечивают стабильности свойств узла в течение длительного вре мени работы прибора, слабо св заны с подложкой и, кроме того, испар ютс  при нагреве и распыл ютс  при бомбардировке электронами . Предлагаетс  в качестве покрыти  диэлектрика в окнах выводов энергии мощных ЭВП и высоковольтных изол торов использовать провод щую, например, титаносодержащую глазурь с пониженным квээ, наносимую на поверхность диэлектрика любым известньш способом (пульверизацией, окунанием, намазыванием и др.) и подвергаемую термообработке в восстановительной среде. Покрытие с низким поверхностным сопротивлением , как известно, также дает возмол ность за счет малых электричес({их утечек избежать накоплени  положительных зар дов на поверхности изол тора и тем самым уменьшить интенсивность электронной бомбардировки и способствует более равномерному распределению электрического пол  по диэлектрику . Пример. На внутреннюю вакуумную поверхность окна вывода энергии, изготовленного на алюмооксидной керамике типа А-995 (содержание АЬОз-99,5%), была нанесена методом окунани  алюмосиликатна  бесщелочна  титаносодержаща  глазурь и затем 3 оплавлена в восстановительной среде. Получено плотное покрытие, прочно св занное с подложкой, стабильное в различных защитных газовых и в вакууме при нагреве до 1000-1200°С. На динамических испытани х прибора температура керамического окна вывода энергии при прохождении через него мощности 15 кет снизилась более чем на 200°С по сравнению с неглазурованной керамикой. 4 Предмет изобретени  Антидинатронное покрытие дл  керамических деталей электронных приборов, преимущественно приборов СВЧ, на основе титана, отличающеес  тем, что, с целью повышени  термостойкости и прочности сцеплени  с деталью , покрытие выполнено из титаносодержащей глазури.