SU426841A1 - Устройство для установки и натяжения диска с внутренней режущей кромкой - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к обработке полупроводниковых , а также других твердых и хрупких материалов.

Известно устройство дл  установки и нат жени  диска с внутренней режущей кромкой , содержащее два кольца, одно из которых имеет кольцеобразную каиав«у, расположенное между ними нат жное кольцо и болты разной длины.

Качество получаемых пластин, выход годных пластин и отходы в значительной степенн завис т от центровки диска при установке и нат жке. На точность установки диска влн ют канавка и выступ на зажимных кольцах, так как в первоначальный момент, когда диск еще не зажат, он свободно смещаетс  в ту сторону, где его стремитс  деформировать выступ на одном из колец, т. е. перегиб в этом месте создаетс  за счет вт гивани  полотна диска в канавку, а так как диск при этом еще не зажат (он зажимаетс  завинчиванием р да болтов, расположенных по окружности колец), то вт гивание полотна диска в канавку прн завинчивании первого болта приводит к смещению всего полотна диска, а с ним н кромки в сторону этого болта. Предварительна  центровка диска таким образом нарушаетс .

При последующей иат ж-ке зажатого диска путем прижима диска к кольцеобраз ю му

выступу на патроне за счет перемещени  колец с помощью болтов, расположенных по периферии патрона, или резьбы на кольцах, иервоначальные погрешности установки сохран ютс  или измен ютс  очень мало, причем контроль положени  режущей кромки затруднителен. Перечисленные недостатки привод т к нарушению геометрии иолучаемых пластин, а следовательно, к браку но коробоватости и непараллельности сторон. Годные пластины требуют тщательной последующей обработки дл  исправлени  допустимых погрешностей формы, причем припуск увеличиваетс . Кроме того, стойкость инструмента уменьшаетс , т. к. резание производитс  только частью кромки.

Требовани , предъ вл емые к пластинам по шероховатости поверхностей среза, вызывают при этом необ.ходимость уменьшить скорость поперечной подачи заготовки, т. е. уменьшаетс  производительность.

Целью изобретени   вл етс  новыщение выхода годных пластин, улучшение их качества , повышение производительности труда при одновременном сниженнн отходов и повышение стойкости инструмента на онерации резки твердых н хрупких материалов, примен емых в полупроводниковом производстве.

Достигаетс  это тем, что на втором кольце выполнена канавка, образующа  полость с

канавкой первого кольца, а нат жное кольцо установлено в полости с возможностью перемещеки  вдоль ее образующей с помощью болтов меньшей длины.

На фиг. 1 показан станок с описываемым устройством, общий вид; на фиг. 2 - то же, вид сбоку; на фиг. 3 - то же, вид спереди; на фиг. 4 - зажимные кольца с зажатым в них диском в разрезе; на фиг. 5 - то же, диск нат нут и отцентрирован третьим, нат жным кольцом, вид сбоку в разрезе; на фиг. 6 - то же, вид спереди.

Устройство смонтировано на стайке, состо щем из шпиндел  / механизмов продольной 2 и поперечной 3 подач, расположенных на станине. На валу шпиндел  / укреплен патрон 4 дл  установки диска. В зону резани  по трубопроводам 5 и 6 подаетс  смазочно-охлаждающа  жидкость. Столу 7 с установленной на нем заготовкой (слитком) с помощью механизмов продольной 2 и поперечной 3 .подач сообщаютс  необходимые движени . Патрон, укрепл емый на валу щпиндел  J, состоит из собственно патрона 4, колец 8-10 и болтов //-J3, расположенных равномерно по окружности. Диск / зажимаетс  между кольцами 8 и 9.

Резка слитков на станке осуществл етс  носле установки на патроне 4 отцентрированного и нат нутого диска 14. Дл  креплени , центровки и нат жени  диска зажимное кольцо 9 устанавливаетс  в приспособление предварительной центровки внутренней режущей кромки 15 относительно посадочной поверхности 16. Затем на кольцо 9 кладут диск 14 и центруют его. Сверху устанавливают нат жное кольцо 10 и второе зал имное кольцо 8 так, что кольцо 10 входит в канавку кольца 8. Болтами 13 сл имают кольца 8 vi 9, чтобы диск 14 надежно фиксировалс  в первоначально отцентрированном положении. Затем, завинчива  болты 1J, перемещают нат жное кольцо 10 из канавки кольца 8 в канавку кольца 9 сначала на глубину примерно 0,3-0,5 Л1М. В кольцах 8, 9 и 10 и ъ диске имеютс  соответствующие отверсти  дл  прохода болтов 13, а болты // завинчиваютс  в резьбовые отверсти  кольца 9 и упираютс  в кольцо 10 в тех местах, где отверстий нет, в св зи с чем кольцо 10 перемещаетс . В первоначальный момент перемещение кольца 10 создает в деформируемом полотне диска 14 небольшие усили , и полотно прогибаетс  в диапазоне упругих деформаций материала, образу  перегиб, необходимый дл  надежного удержани  диска 14. Болты /,/ расположены равномерно по окружности и их количество зависит от диаметра диска. Так как диск 14 предварительно зажат между кольцами 8 и 9, а перегиб на каждом участке окружности колец образуетс  от воздействи  одного, завинчиваемого в данный момент болта 11, то все ПОЛОТНО диска 14 не смещаетс , т. е. положение режущей кромки /5 по отношению к поверхности 16 не измен етс . Таким образом создаетс  перегиб, необходимый дл  удержани  диска 14 между кольцами 8 н 9 при нат л ении и резке.

Дальнейшее завинчивание болтов // и св занное с этим перемещение кольца 10 увеличивает усили  между диском 14 и кольцом 8. Эти усили  в определенный момент достигают такой величины, что кольцо 8 прогибаетс  и несколько освобождает полотно

диска 14 в зоне прогиба, расположенной в непосредственной близости от завинчивани  болта //.

При этом полотно диска вт гиваетс  в канавку и прост-ранство между кольцами 8 и 9,

распирающие усили , действующие на кольцо 8, резко уменьшаютс , и прогиб исчезает. Вт гивание же полотна диска 14 в канавку приводит к распространению упругой дефортиации , т. е. к нат жению полотна диска 14.

Это нат жение носит местный характер, т. е. происходит только в секторе, расположенном в непосредственной близости от завинчиваемого болта //, а все нолотно диска 14 не смещаетс . По мере завинчивани  всех болтов 111 режуща  кромка 15 раст гиваетс  в пределах упругой деформации полотна диска ,14 гак, что центральное отверстие в диске несколько увеличиваетс .

В св зи с тем, что нат жение диска 14 и,

следовательно, раст жение кромки 15 происходит по секторам от воздействи  каждого из болтов // в зависимости от создавае1мого этим болтом усили , то положепие каждого участка кромки по отношению к базовой посадочной поверхности 16 кольца 9 регзлировать, а так как все операции по нат жению производ тс  вне стайка, полол ение каждого участка кромки 15 контролировать с помощью

точных измерений, например отсчетного микроскопа . Таким образом, центрировать режзщую кромку 15 с достаточной точностью .

Закрепленный, нат нутый и отцентрированный диск 14 крепитс  к патрону 4 болтами J2, пропускаемыми через отверсти  в кольцах 8, 10, 9 и диске 14, базиру сь по посадочной поверхности 16 и свободном} торцу кольца 9 на соответствующие поверхности

патрона 4.

|После установки диска на стол 7 станка подаетс  слиток, закрепленный в оправке. Включаютс  привод шпиндел , механизмы продольной 2 и поперечиой 3 подач и производитс  резка слитка на пластины, при этом толщина пластин устанавливаетс  настройкой механизма 2 пр01дольной подачи, а скорость поперечной подачи - настройкой механизма 3 поперечной подачи.

Предмет изобретени 

Устройство дл  установки и нат л ени  диска с внутренней режущей кромкой, содерл а5 щее два кольца, одно из которых имеет кольцеобразиую канавку, расноложенное между ними нат жное кольцо и болты разной длины, отличающеес  тем, что, с целью повышени  стойкости диска и производительности, на5 6 втором кольце выполнена канавка, образующа  полость с канавкой первого кольца, а нат жкое кольцо установлено в полости с возможиостью перемещени  вдоль ее образующей с помощью болтов меньшей длины.

fO9

5 --JVV / /il

Фиг. 2

/4

13

8

i7

74

5

Риг.6