SU451902A1 - Фотоэлектрический микроскоп - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области измерительной техники и предназначено дл  высокоточной регистрации положений границы объекта при линейных и угловых измерени х .

Известен фотоэлектрический микроскоп, содержащий оптическую проекционную систему , щелевой модул тор, ось колебаний которого совмещена с визирной осью проекционной системы, фотоприемник и блок регист}зации.

Предложенный микроскоп отличаетс  от известного тем, что он снабжен призмой двойного изображени , размещенной между проекционной системой и щелевым модул тором так, что визирна  ось проекционной системы смещена с оси колебаний модул тора на величину, меньшую половины щирины его пол  зрени .

Это позвол ет повысить точность регистрации границы объекта на визирной оси микроскопа.

На фиг. 1 показана принципиальна  схема предложенного микроскопа; на фиг. 2 урафики , по сн ющие работу микроскопа.

Фотоэлектрический микроскоп содержит осветитель 1, проекциотгаый объектив 2, расположенные на оптической оси и образующие проекционную систему, призму двойного изображени  3, шелевой модул тор 4, коллектив 5, фотоприемник 6 и электронный блок регистрации 7. Объект 8 измерени  располагаетс  в плоскости предметов проекционного объектива 2.

При установке призмы двойного изобра жени  3 в плоскости колебаний модул тора 4 по вл ютс  два изображени  кромки объекта 8, перемещающиес  при смещении объекта в разные стороны.

При смещении границы объекта 8 к визирной оси микроскопа кромки объекта смещаютс  в направлении одна к другой. В момент точной регистрации границы изображений объекта наход тс  встык одна к другой. При отклонении в ту или иную сторону изображени  границы объекта либо не доход т одна до другой, либо накладьгоаютс  одна на другую, образу  при этом щтрихрвой знак переменной ширины. В том случае, когда граница объекта не доходит

до визирной оси, штрих светлый, а остальное поле темное (см. фиг, 2а). В случае, когда граница объекта переходит визирную ось микроскопа, штрих темный на более светлом поле (см фиг. 26).

Так как формирование штриха происходит не на оси колебаний модул тора 4, то и в первом и во втором случа х возникает сигнал, в котором присутствует сигнал остновной частоты и при смещении объекта 8 измен етс  только его-амплитуда.

Кроме этого, автоматически от первого случа  ко второму измен етс  фаза сигнала на 180 (светлый штрих на темном поле и темнъ1Й штрих на светлом поле).

Сигнал рассогласовани  поступает сфазочувствитепьного выпр мител  на стрелочный прибор или после усилени  в исполнительный механизм блока регистрации (элекенты блока регистрации на фиг. 1 не показаны).

В момент точного положени  границы объекта на оси микроскопа исчезает вообще переменна  составл юща  сиг-

нала (глубина модул ции равна нулю), и стрелочный прибор показывает нуль (см. фиг. 2в).

Кроме того, при работе с призмойдвойнрго изображени  не предъ вл ютс  требовани  к стабильности положени  центра колебаний модул тора.

Предмет изобретени 

Фотоэлектрический микроскоп, содержащий оптическую проекционную систему, щеJ5 , левой модул тор, фотоприемник и блок регистрации , отличающийс  тем, что

целью повышени  точности регистрации границы объекта, он снабжен призмой двойного изображени , размещенной между про- 20 секционной системой и щелевым модул тором так, чго визирна  ось проекционной системы смещена с оси колебаний модул тора на величину, меньшую половинъ ширины его пол  зрени .

а

fja 2 i.