SU471908A1 - Устройство дл контрол кривизны плоских поверхностей изделий - Google Patents

Description

Двига сь по транспортеру, изделие поступает на столик измерительного узла 4.

Источник света И, расширенный оптическим расширителем 12, проходит через растровую решетку 13. Растрова  решетка 13 представл ет собой р д параллельных черных линий , нанесенных, например, на стекл нную пластинку с плотностью 3-5 лин/мм по всей пластинки. Оптическа  система 14 проецирует изображение растровой решетки 13, отраженное от всей поверхности повер емого полупроводникового издели  15, в плоскость другой такой же растровой решетки 16 в масштабе 1:1. При оптическом наложении двух растровых решеток 13 и 16, в плоскости растровой решетки 16 формируетс  так называема  муарова  картина, состо ша  из чередующихс  темных и светлых полос. Муарова  картина  вл етс  следствием «механической интерференции по аналогии с обычной интерференцией света. Возникающие муаровые полосы  вл ютс  лини ми уровн  кривизны повер емого издели  15. Сканиру  муаровую картину от всей поверхности повер емого издели  и автоматически измер   рассто ние между полосами по всей площади изображени , производ т контроль кривизны.

Результаты каждого измерени  автоматически сравниваютс  с эталонной величиной, что позвол ет разбраковать повер емые пластины на годные и негодные. Это достигаетс  тем, что муарова  картина, полученна  в плоскости второй растровой решетки 16, проецируетс  объективом 17 через делительную пластину 18 и поворотное зеркало 19 в плоскость диафрагмы 21. Зеркало 19 вращаетс  с помощью синхронного электропривода 20. осуществл   тем самым сканирование изображени  муаровой картины относительно диафрагмы .

Предмет изобретени 

Устройство дл  контрол  кривизны плоских поверхностей изделий, содержащее источник монохроматического света, измерительный узел со столиком дл  размещени  на нем контролируемого издели , две растровые решетки , оптически сопр женные с плоскостью столика измерительного узла, оптическую систему с диафрагмой, фотоэлектрический приемник , установленный в световом потоке за диафрагмой , электронную схему, преобразующую сигналы от фотоприемника в управл ющие импульсы, приемник контролируемых изделий , загрузочный узел, два транспортера, один из которых подает издели  на столик, а

второй - в приемник, отличающеес  тем, что, с целью повышени  производительности контрол , оно снабжено зеркалом, закрепленным с возможностью поворота его в плоскости изображени  и оптически сопр женным с

плоскостью диафрагмы, а источник света снабжен оптическим расширителем, установленным между этим источником и одной из растровых решеток.