SU486497A1 - Устройство дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемы - Google Patents
Устройство дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемыInfo
- Publication number
- SU486497A1 SU486497A1 SU944446A SU944446A SU486497A1 SU 486497 A1 SU486497 A1 SU 486497A1 SU 944446 A SU944446 A SU 944446A SU 944446 A SU944446 A SU 944446A SU 486497 A1 SU486497 A1 SU 486497A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- substrate
- mask
- combining
- film circuit
- deposited film
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Известные устройства дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемы , содержащие держатель подложки, выполненный из материала, обладающего высокой теплопроводностью, узел креплени маски, выполненный из материала с коэффициентом теплового линейного расширени , равным тепловому коэффициенту линейного расширени материала подложки, и приспособление дл нагрева подложки и маски, не обеспечивают высокой точности совмещени маски с подложкой .
В описываемом устройстве повышение точности совмещени достигаетс тем, что держатель подложки снабжен базовыми пальцами, к которым при помощи пружинных фиксаторов прижата подложка, и выполнением узла креплени маски в виде охватывающих ее двух рамок, одна из которых снабжена шариковыми толкател ми, установленными с внешней стороны рамки против базовых пальцев и расположенными по ее внутреннему контуру выступами , опирающимис на базовые пальцы со стороны, противоположной участку соприкосновени базовых пальцев с подложкой.
Конструкци описываемого устройства приведена на чертеже.
Приспособление дл нагрева подложки и маски снабжено двум рамками 1 и 2, между которыми размещена маска 3. Рамка 2 шариковыми толкател ми 4 прижимаетс к установленным на держателе 5 подложки 6 базовым пальцам 7. К базовым пальцам 7 с противоположной стороны прижимаетс подпружиненными фиксаторами 8 подложка 6.
Таким образом, подложка 6 и маска 3 базируютс беззазорно одними и теми же базовыми пальцами 7; при этом только тепловое расширение пальцев будет вли ть на точность совмещени , которым практически можно пренебречь вследствие малой величины их диаметра .
Предмет изобретени
Устройство дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемы, содержащее дерн атель подложки, изготовленный из материала, обладающего высокой теплопроводностью , узел креплени маски, выполненный из материала с коэффициентом теплового линейного расширени , равным тепловому коэффициенту линейного расширени материала подложки, и приспособление дл нагрева подложки и маски, отличающеес тем, что, с целью повышени точности совмещени , держатель подложки снабжен базовыми пальцами, к которым при помощи пружинных фиксаторов прижата подложка, а узел креплени маски выполнен в виде охватывающих с обеих сторон маску двух рамок, одна из которых снабжена шариковыми толкател ми , . установленными с внешней стороны рамки против базовых пальцев и расположенными по ее внутреннему контуру выступами, опирающимис на базовые пальцы со стороны , противоположной участку соприкосновени базовых пальцев с подложкой.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU944446A SU486497A1 (ru) | 1965-02-23 | 1965-02-23 | Устройство дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемы |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU944446A SU486497A1 (ru) | 1965-02-23 | 1965-02-23 | Устройство дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемы |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU486497A1 true SU486497A1 (ru) | 1975-09-30 |
Family
ID=20438226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU944446A SU486497A1 (ru) | 1965-02-23 | 1965-02-23 | Устройство дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемы |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU486497A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4416759A (en) * | 1981-11-27 | 1983-11-22 | Varian Associates, Inc. | Sputter system incorporating an improved blocking shield for contouring the thickness of sputter coated layers |
| US4436602A (en) | 1981-11-27 | 1984-03-13 | Varian Associates, Inc. | Blocking shield and method for contouring the thickness of sputter coated layers |
-
1965
- 1965-02-23 SU SU944446A patent/SU486497A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4416759A (en) * | 1981-11-27 | 1983-11-22 | Varian Associates, Inc. | Sputter system incorporating an improved blocking shield for contouring the thickness of sputter coated layers |
| US4436602A (en) | 1981-11-27 | 1984-03-13 | Varian Associates, Inc. | Blocking shield and method for contouring the thickness of sputter coated layers |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FR2307441A1 (fr) | Dispositif elastomere conducteur de la chaleur | |
| CH451600A (de) | Kühlvorrichtung an Brennkammer | |
| IT1033216B (it) | Dispositivo tensionatore per teli di pantaloni simili in unita di assemblaggio | |
| SU486497A1 (ru) | Устройство дл совмещени маски с подложкой напыл емой пленочной схемы | |
| FR1484261A (fr) | élément semi-conducteur comportant au moins une jonction de contact par pression | |
| ES8104639A1 (es) | Un dispositivo transistor mejorado | |
| NL7809675A (nl) | Toevoerinrichting bij verdampingscontactlichamen. | |
| NL158558B (nl) | Dampontvettingsinrichting. | |
| DK122349B (da) | Kontaktelement med elektrisk tænding for mekanisk aktivering. | |
| AT346273B (de) | Tropfventil fuer dampfbuegelautomaten | |
| CH474845A (fr) | Dispositif de refroidissement par évaporation | |
| SE7601366L (sv) | Hogimpedanskretsanordning med joniseringsrokkennare | |
| SE398574B (sv) | Kontaktfjederanordning | |
| NL7601307A (nl) | Halfgeleiderinrichting met geintegreerde schakeling. | |
| AT266970B (de) | Federnde elektrische Kontaktvorrichtung | |
| CH516752A (fr) | Dispositif à ressort | |
| ES335014A1 (es) | Un dispositivo de lamina bimetalica que lleva un primer contacto destinado a aplicarse con un segundo contacto de un interruptor electrico. | |
| IT1081291B (it) | Dispositivo di montaggio della griglia di protezione del radiatore | |
| BR6908826D0 (pt) | Dispositivo semicondutor e arranjo de circuito empregando o mesmo | |
| FR1545284A (fr) | Dispositif de projection par vaporisation sur des bandes | |
| FR1523301A (fr) | Dispositif de distillation à faible consommation de chaleur | |
| DE1916649B2 (de) | Verdunstungsapparat fuer die luftverbesserung | |
| BE750016A (fr) | Dispositif semiconducteur comportant au moins un contact par pression | |
| NL7611476A (nl) | Warmtegevoelige halfgeleider schakelinrichting. | |
| FR1526093A (fr) | Fixation à ressort |