SU491055A1 - Датчик давлени - Google Patents

Description

(54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

1

Изобретение относитс  к измерительной технике, в частности к датчикам давлени .

Известны датчики давлени , содержащие токопровод щую мембрану, магнитоупругий преобразователь на ферромагнитной пленке и источник неременного тока.

Известные датчики давлени  не обеспечивают достаточной информативности и точности дискретного вы.ходного сигнала.

С целью повышени  информативности и точности дискретного выходного сигнала в предложенном датчике давлени  источник переменного тока подключен к центру мембраны , покрытой ферромагнитным слоем и изол ционной пленкой, в которой по спирали выполнены отверсти , снабженные точечными контактами зондов, подключеппых через один к двум  выходным тонкопленочным электродам .

На чертеже показан предложенный датчик давлени .

Основанием датчика  вл етс  плоска  мембрана 1, выполненна  из бериллиевой бронзы. На мембрану напылена пермалоева  пленка 2, на которую, в свою очередь, напылена изол ционна  пленка 3, из моноокиси кремни , со спирально расположенными отверсти ми под точечные контакты 4 зондов, служащих дл  съема выходного сигнала. Тонконленочиые алюминиевые проводники 5 зондов, напыленные поверх изол ционной пленки 3, обеспечивают раздельное электрическое соединение четных и нечетных точечных контактов 4. Переменный ток, перемагничивающий нермаллоевую пленку 2, подводитс  к центру мембраны 1 с номощью проводника 6.

Датчик давлени  работает следующим образом . Переменный, например синусоидальный ток, подводитс  к центру плоской мембраны 1 с помощью проводника 6 и растекаетс  к кра м мембраны. При этом по мере нарастани  тока иамагничивани  концентрически увеличиваетс  область перемагничиванп  пермаллоевой пленки 2 с пр моугольной петлей гистерезиса, последовательно захватывающа  места нрисоединени  точечных контактов 4. Ток создает посто нную по амплитуде величину нанр женности магнитного нол , достаточную дл  перемагничивани  всей пермаллоевой пленки 2. Соответственно этому между алюмнниевыми проводниками 5 съемных зондов и пермаллоевой пленкой 2 с пр моугольной петлей гистерезиса, последовательно, по мере захватывани  неремагпиченной концентрической -областью мест нрисоединени  точечных контактов 4, навод тс  импульсы напр жени , обусловленные скачкообразным изменением магнитной индукции на границе зоны перемагничивани , пол рность которых зависит от направлени  перемагничивани . Та