SU524258A1 - Растровый электронный микроскоп - Google Patents
Растровый электронный микроскопInfo
- Publication number
- SU524258A1 SU524258A1 SU2051389A SU2051389A SU524258A1 SU 524258 A1 SU524258 A1 SU 524258A1 SU 2051389 A SU2051389 A SU 2051389A SU 2051389 A SU2051389 A SU 2051389A SU 524258 A1 SU524258 A1 SU 524258A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- electron
- electron microscope
- microscope
- raster electron
- raster
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к электронной микроскопии и может быть использовано при разработке растровых электронных микроскопов.
Известен электронный микроскоп просвечивающего типа, в котором дл повьпиени чувствительности и разрешени в качестве преобразовател электронно - оптического изображени в электрические сигналы использован сцинтилл тор с ФЭУ, расположенный за неподвижной сканирующей диафрагмой по ходу электронного луча.
Недостатком такого электронного микроскопа вл етс низка разрешающа способность.
Ближайшим прототипом данного изобретени . вл етс растровый электронный микроскоп 2 который содержит электронную пушку, электронно-оптическую систему, столик дл объектов, неподвижную диафрагму, датчик электронов и видеоконтрольное устройство, состо щее из видгоусилитед , приемной электронно-лучевой трубки, генератора разверток приемной трубки и источников питани .
Однако и этот микроскоп имеет недостатки: низкое разрешение и слабую чувствительность при малой интенсивности электронов.
Целью изобретени вл етс повышение разрешающей способности микроскопа. Достижение поставленной дели осуществлено тем, что микроскоп снабжен дополнительной электронно-оптической системой формировани и увеличени изображени и отклон ющей системой, которые расположена; под объектом леред диафрагмой по ходу электронного луча, и дискретно-аналоговым устройством, вход которого соединен с датчиком электронов, а выход - со входом индикаторного блока видеоконтрольного устройства.
На чертеже изображена схема электронного микроскопа.
Claims (2)
1.Авт. св. СССР, кл. Н 01137/26 № 399937, 29.11.71, опубл. 14.02.74 г.
2.Техническое описание устройства электронного микроскопа Автоскоп фирмы ЕТЕС 1970
(прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2051389A SU524258A1 (ru) | 1974-08-02 | 1974-08-02 | Растровый электронный микроскоп |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2051389A SU524258A1 (ru) | 1974-08-02 | 1974-08-02 | Растровый электронный микроскоп |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU524258A1 true SU524258A1 (ru) | 1976-08-05 |
Family
ID=20593407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2051389A SU524258A1 (ru) | 1974-08-02 | 1974-08-02 | Растровый электронный микроскоп |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU524258A1 (ru) |
-
1974
- 1974-08-02 SU SU2051389A patent/SU524258A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4211924A (en) | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope | |
| ATE235717T1 (de) | Bildaufnahmesystem | |
| GB1284061A (en) | Electron beam apparatus | |
| US4399360A (en) | Transmission electron microscope employing sequential pixel acquistion for display | |
| SU524258A1 (ru) | Растровый электронный микроскоп | |
| US3872305A (en) | Convertible scanning electron microscope | |
| ES424663A1 (es) | Microscopio electronico perfeccionado. | |
| FR2365879A1 (fr) | Procede pour representer l'image de diffraction dans un microscope a balayage a transmission, a faisceau corpusculaire | |
| US2354263A (en) | Electron microscope | |
| SU399937A1 (ru) | Электронный микроскоп-анализатор | |
| GB1588234A (en) | Transmission type beam nicroscopes utilising a scanning technique | |
| US3309655A (en) | Ultrasonic diagnostic vibration transducer | |
| SU843025A1 (ru) | Электронный микроскоп | |
| US3720838A (en) | Multi-aperture image dissector tube | |
| SU535626A1 (ru) | Растровый электронный микроскоп | |
| JPS60138252U (ja) | 粒子線装置における試料画像表示装置 | |
| GB1248201A (en) | Electron microscopes | |
| KR830002861Y1 (ko) | 주사전자 현미경 및 그의유사장치의 주사상 관찰장치 | |
| SU565337A1 (ru) | Устройство визуализации объекта в электронном микроскопе | |
| GB1210720A (en) | X-ray television microscopes | |
| SU983822A1 (ru) | Импульсный корпускул рный микроскоп | |
| SU368676A1 (ru) | Всесоюзная | |
| JPH0236208Y2 (ru) | ||
| SU517080A1 (ru) | Растровый электронный микроскоп | |
| SU504261A1 (ru) | Электронный микроскоп |