SU553699A1 - Электролит дл анодного окислени индийсодержащих полупроводниковых соединений - Google Patents
Электролит дл анодного окислени индийсодержащих полупроводниковых соединенийInfo
- Publication number
- SU553699A1 SU553699A1 SU2321602A SU2321602A SU553699A1 SU 553699 A1 SU553699 A1 SU 553699A1 SU 2321602 A SU2321602 A SU 2321602A SU 2321602 A SU2321602 A SU 2321602A SU 553699 A1 SU553699 A1 SU 553699A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- indium
- electrolyte
- semiconductor compounds
- anodic oxidation
- containing semiconductor
- Prior art date
Links
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 title claims description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 title claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title description 5
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 title description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 title description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 title description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 1
- 230000005518 electrochemistry Effects 0.000 claims 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 235000011007 phosphoric acid Nutrition 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 1
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000006056 electrooxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
3
смеси. Каждую смесь готов т отдельно при 20° С црпосредственно перед проведением анодировани из препаратов марки чда.
Полученные смеси характеризуютс следующими параметрами электроокислени индийсодержащих полупроводниковых соединений (см. табл. 1),
Таблица
При кош1;ентрац:шх ортофосфорной кислоты, меньших 1,0об. %, процесс анодировани характеризуетс невысокой скоростью, а при. отсутствии ее полупроводники вообще не окисл ютс .
П р и м е р 2. Дл получени электролита готов т три смеси компонентов, кажда из которых содержит 4 об. % ортофосфорной кислоты (d 1,69 г/см) и отличаетс от других концентраПри увеличении концентрации изопропилового спирта выше 70 об. % резко возрастает сопротивление раствора, в результате чего образуетс неравномерный по толщине оксид.
При уменьшении концентрации резко снижаетс скорость окислени и возрастает саморастворение оксида.
Данные таблицы 1 и 2 получены при анодировании полупроводниковых соединений JnAs, JnSb n- типа с концентрацией носителей 10 см . Растворение между полупровощшковыми дисками «г25- 30 мм и катодом, изготовленным из нержавеющей стали, составл ет 1,5 см. Растворы не перемешивались , их температура 20° С. Окисление процией изопропилового спирта, равной в каждой смеси последовательно 30, 50 и 70 об. %, а также содержанием глицерина, составл ющим дополнительно до 100% часть в каждой смеси. Каждую смесь готов т отдельно так же, как в примере 1.
Полученные смеси характеризуютс следующиш .параметрами анодного окислени индийсодержащих полупроводниковых соединений (см. табл. 2) Таблица2
водилось в гальваностатическом режиме при плотности тока 1-2 мА/см в течение 6-10 мин до рабочего напр жени v 300 В. Предложенный электролит позвол ет получить равномерные по тол щине ( 5000 А) и стабильные по свойствам беснористые окисные пленки с пробивным напр жением (2 6). 10 Б/см.
Использование этого электролита позвол ет уве личить скорость анодирова(ш и повысить Д1и)екгрические свойства анодных окислов, что обеспечивает их применение дл пассивации, максировапи и создани МДП--структур на индийсодержащих полупроводниковых соединени х.
Claims (2)
1. Ф. Ф. Файзулин, К. В. Егорова. Анодное окисление антимонида индий в растворе гидроокиси кали . Электрохими , 1968, № 4, стр. 838. 10
2. Авторское свидетельство № 495971,кл „Н01 L21/306,1973...
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2321602A SU553699A1 (ru) | 1976-02-04 | 1976-02-04 | Электролит дл анодного окислени индийсодержащих полупроводниковых соединений |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU2321602A SU553699A1 (ru) | 1976-02-04 | 1976-02-04 | Электролит дл анодного окислени индийсодержащих полупроводниковых соединений |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU553699A1 true SU553699A1 (ru) | 1977-04-05 |
Family
ID=20647996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU2321602A SU553699A1 (ru) | 1976-02-04 | 1976-02-04 | Электролит дл анодного окислени индийсодержащих полупроводниковых соединений |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU553699A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0908540A3 (en) * | 1997-10-10 | 2001-06-27 | Kemet Electronics Corporation | Method and electrolyte for anodizing valve metals |
| RU2621879C1 (ru) * | 2016-08-08 | 2017-06-07 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук | Электролит для анодного окисления полупроводниковых соединений на основе aiiibv |
-
1976
- 1976-02-04 SU SU2321602A patent/SU553699A1/ru active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0908540A3 (en) * | 1997-10-10 | 2001-06-27 | Kemet Electronics Corporation | Method and electrolyte for anodizing valve metals |
| RU2621879C1 (ru) * | 2016-08-08 | 2017-06-07 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук | Электролит для анодного окисления полупроводниковых соединений на основе aiiibv |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Hoare | On the interaction of oxygen with platinum | |
| FR2545494A1 (fr) | Procede de preparation de polyanilines, polyanilines obtenues selon ce procede et leurs applications a la realisation de generateurs electrochimiques | |
| SU553699A1 (ru) | Электролит дл анодного окислени индийсодержащих полупроводниковых соединений | |
| Xu et al. | LiMOB, an unsymmetrical nonaromatic orthoborate salt for nonaqueous solution electrochemical applications | |
| Franko et al. | Concentration dependent solution structure and transport mechanism in high voltage LiTFSI–adiponitrile electrolytes | |
| Gilbert et al. | Redox properties of the oxo-bridged osmium dimer [(bpy) 2 (OH2) OsIIIOOsIV (OH)(bpy) 2] 4+. Implications for the oxidation of water to oxygen | |
| GB1472028A (en) | Process for the manufacture of electrodes for electrolytic purposes and electrodes so manufactured | |
| SU1691914A1 (ru) | Вторичный химический источник тока | |
| DE59101326D1 (de) | Verfahren zur Herstellung von feinteiligem, elektrisch leitfähigem Zinn-IV-Oxid. | |
| DE2412965A1 (de) | Verfahren zur anodischen oxidation | |
| SU532916A1 (ru) | Электролит дл химического источника тока с литиевым анодом | |
| SU451631A1 (ru) | Способ получени бромидных растворов ртути | |
| Hush et al. | Current-potential relationships in the reduction of samarium and europium perchlorates in dimethyl-formamide at a dropping mercury electrode | |
| Dowgird et al. | Deactivation of manganese after its reduction at mercury electrodes | |
| Bailes et al. | Polarographic behaviour of ω-diazoacetophenones in aqueous buffer solutions | |
| SU494436A1 (ru) | Раствор дл электрохимического полировани металлов | |
| SU58770A1 (ru) | Способ электролитического получени свинцового порошка | |
| SU751840A1 (ru) | Электролит дл электрохимического получени пероксодикарбоната кали | |
| SU729291A1 (ru) | Раствор дл электрохимического полировани нержавеющих сталей | |
| JPS5629684A (en) | Production of hydrogen | |
| DE1956473A1 (de) | Redox-Brennstoffelement | |
| Ammar | Anode Processes on Aluminum Below the Oxygen Evolution Potential | |
| SU584817A3 (ru) | Способ изготовлени электрода дл электрохимического устройства | |
| SU594789A1 (ru) | Электролит для получения кислородных вольфрамовых бронз 1 | |
| SU496622A1 (ru) | Диспергатор дл активной массы электродов щелочного аккумул тора |