SU570867A1 - Устройство дл перемещений объекта - Google Patents

Устройство дл перемещений объекта

Info

Publication number
SU570867A1
SU570867A1 SU7502183442A SU2183442A SU570867A1 SU 570867 A1 SU570867 A1 SU 570867A1 SU 7502183442 A SU7502183442 A SU 7502183442A SU 2183442 A SU2183442 A SU 2183442A SU 570867 A1 SU570867 A1 SU 570867A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
moving
supports
coordinate table
another
ozv
Prior art date
Application number
SU7502183442A
Other languages
English (en)
Inventor
Владимир Васильевич Бербасов
Игорь Алексеевич Стременов
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8495
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8495 filed Critical Предприятие П/Я В-8495
Priority to SU7502183442A priority Critical patent/SU570867A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU570867A1 publication Critical patent/SU570867A1/ru

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Устройство дл  перемещений объекта, преимуществеино в установках дл  изготовлени  микроэлектронных изделий, вынолненное в виде установленного на опорах координатного стола с возможностью перемещени  его в горизонтальной плоскости, отличающеес  тем, что, с целью обеспечени  минимальной неплоскостности при линейных и угловых
    перемещени х объекта, оно снабжено кольцевой направл ющей, обхватывающей координатный стол, а опоры выполнены в виде шаровых элементов, установленных на плоском основании.
    Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР№315152, кл. G ОЗВ 7/12, 21.09.71.
SU7502183442A 1975-10-13 1975-10-13 Устройство дл перемещений объекта SU570867A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU7502183442A SU570867A1 (ru) 1975-10-13 1975-10-13 Устройство дл перемещений объекта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU7502183442A SU570867A1 (ru) 1975-10-13 1975-10-13 Устройство дл перемещений объекта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU570867A1 true SU570867A1 (ru) 1977-08-30

Family

ID=20635366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU7502183442A SU570867A1 (ru) 1975-10-13 1975-10-13 Устройство дл перемещений объекта

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU570867A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4816847A (en) * 1988-02-08 1989-03-28 The Gerber Scientific Instrument Company High resonance drive table and method of making a planar work surface

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4816847A (en) * 1988-02-08 1989-03-28 The Gerber Scientific Instrument Company High resonance drive table and method of making a planar work surface

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IT8122135A0 (it) Apparecchiatura e procedimento per la fabbricazione di materiali diforma tubolare a base di pasta.
IT1068279B (it) Procedimento di deidrociclizzazione di idrocarburi alifatici
BE587989A (fr) Procédé de préparation d'agents tensionactifs à base de dérivés de polyalcoylène-glycols.
AT346624B (de) Auflicht-beleuchtungseinrichtung fuer mikroskope
IT1067070B (it) Dispositivo di montaggio registrabile ad alta precisione particolarmente per calibri comparatori e simili
IT1057761B (it) Dispositivo di registrazione per infissi e simili
IT1048601B (it) Dispositivo meccanico atto a fungere da supporto orientabile per il sostegno di quadri e simili particolarmente utilizzabile da pittori e disegnatori
IT1058083B (it) Procedimento per la preparazione di difenilammina stirenata
IT1053384B (it) Dispositivo per la produzione di manufatti altamente refrattari
FR1131150A (fr) Procédé de préparation de lubrifiants synthétiques à base d'esters complexes
SU733792A1 (ru) Устройство дл фиксации плоских заготовок
FR1089614A (fr) Support d'ampoules
IT1072781B (it) Dispositivo di regolazione per tavolo da disegno
SU583444A1 (ru) Устройство дл определени надежности объектов
AT369635B (de) Fussgestell fuer tische, baenke od. dgl.
FR1151974A (fr) émulsifiants à base d'esters organosiloxanes
IT1052948B (it) Procedimento per la produzione di bis n cloroammidi
FR1077714A (fr) Résines artificielles à base d'acides dicarboxyliques
RO68413A2 (ro) Procedeu pentru obtinerea azotatului bazic de bismut
SU540273A1 (ru) Устройство дл регистрации информации
IT7421344U1 (it) Struttura di sostegno per lampadari ad altezza regolabile
FR1052107A (fr) Résines artificielles à base d'acides dicarboxyliques
SE391051B (sv) Koordinatindikerande ljustabla
SU538322A1 (ru) Широкоугольный окул р
IT1033691B (it) Sistema per comporre la base di unletto metallico