SU618331A1 - Устройство дл перемещени изделий - Google Patents
Устройство дл перемещени изделийInfo
- Publication number
- SU618331A1 SU618331A1 SU762322601A SU2322601A SU618331A1 SU 618331 A1 SU618331 A1 SU 618331A1 SU 762322601 A SU762322601 A SU 762322601A SU 2322601 A SU2322601 A SU 2322601A SU 618331 A1 SU618331 A1 SU 618331A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lever
- vacuum
- article
- semiconductor
- moving device
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/91—Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
суш й э.пемент может перемещатьс по напр в;1ению рабочих мест 3-6, число которых зависит от этапов способа обработки в концевых положени х (см. фиг. 4 и 5), п)и этом во врем приемки и передачи проводникового диска несун1ий элемент 1 может быть застопорен. Hecyn uifi элемент 1 имеет ось 7, котора вл етс центром вращени двуплечего рычага 8. На одном конце двуплечего рычага 8 укреплен вакуу.мный захват, выполненный в виде нескольких секций 9-11, которые жестко соединены друг с друго.м посредством жесткой св зи 12. Секции 9-11 снизу имеют открытую форму с загнуты.ми кра ми 13 и 14. направлениы.ми внутрь дл удержани г/олупроводниковых дисков 15. Приемка полупроводниковых дисков 15 осуществл етс с помощью всасывающих отверстий 16 и 17 на верхней стороне 18 и 19 за1нутых краев 13 и 14, наход щихс под действием вакуума. Дл того, чтобы полупроводниковые диски 15 могли быть ровно и прочно зажаты, верхние стороны 18 и 19 наход тс в одной плоскости. В той же плоскости или в плоскости , наход пхейс вблизи и иараллельно ей, находитс ось 7. Благодар этому осуществл етс свободное от вредных неконтролируе .мых касательных сил подн тие зажимного устройства соответствующего рабочего места 3-5. На другом конце двуплечего рычага 8 укреплен коленчатый рычаг 20, который направлен вниз. К двуплечему рычагу 8 и коленчатому рычагу 20 соответственно креп тс нат жные пружины 21 и 22, два других конца которых соединены с щатуном 23, приводимы.м в движение порщнем 24 цилиндра 25. Шатун 23. порщень 24 п цилиндр 25 образуют установочное звено 26, которое занимает конечное по.тожение, с одной стороны , - с, помощью вакуу.ма, а с другой стороны, - с по.мощью возвратной силы нажимной пружины 27. В зависимости от положени поворота секций 9-11 всегда одна нат жна пружина 21 или 22 находитс в напр женном состо нии, а друга пружина разгружена. Благодар этому обеспечиваетс м гка передача и приемка no.;iyпроводниковых дисков, которые в начальном положении удерживаютс на зажи.мном цилиндре 28. Дл юстировки или соответственно дл установки заданного положени поворачиваемых секций 9-11 предусмотрены два регулируемых упора 29 и 30, а также упорный рычаг 31. Последний соединен осью 7 с двуплечим рычагом 8 и расположен между регулируемыми упорами 29 и 30. Устройство работает следующим образом . Полупроводниковьш диск 15 удерживаетс на зажимном цилиндре 28, например в рабоче.м положении 3, с ио.мощью всасывани воздуха. Опущенна секци 9 вакуумного захвата находитс .при этом в по.южении бесконтактного охвата полупроводиикового диска 15. Это состо ние достигаетс в том случае, если установочное-звено 26 вентилируетс и нажимна пружина 27 перемещает порщень 24 и щатун 23 вверх. Нат жна пружина 21 при этом разгружепа , а нат жна пружина 22 напр жена. Если полупроводниковый диск 15 должен быть перемещен из рабочего места 3 в рабочее место 4, то необходимо к установочному звену 26 подключить вакуум. Благодар этому порщень 24 с щатуном 23 занимают нижнее положение, и секци 9 вакуумного захвата поднимаетс . При этом верхние стороны 18 и 19.загнутых краев 13 и 14 ложатс на нижнюю сторону полупроводникового диска 15, еще наход щегос в присосанном состо нии на зажимном цилиндре 28. Носле этого полупроводниковый диск нрнсас1 1ваетс секцией 9 вакуумного захвата. 1 ат жна пружина 2 напр жена, нат жна пружина 22 разгружена. Во вре.м следующей фазы секци 9 вакуумного захвата вместе с полупроводниковым диском 15 окончательно поднимаетс . При этом зажимной цилиндр 28 вентилируетс , установочное звено 26 остаетс в положении, которое оно зан ло во врем предыдущей фазы, а нат жные пружины 21 и 22 сохран ют приблизительно такое же положение. Транснортировка полупроводникового диска 15 может быть осуществлена с помощью ноступательного движени несущего элемента 1. После проведени этой операции все описанные процессы повтор ютс в обратном пор дке, когда полупроводниковый диск 15 не будет застопорен в с.чедующем рабоче.м месте 4. формула изобретени 1.Устройство дл перемещени изделий, например полупроводниковых дисков, к рабочим местам и от иих, включающее несущий эле.мент с рычагом, св занным с .механизмом подъема через шатун иос)едством упругой св зи в виде иружины, и вакуумный захват с всасывающими отверсти ми, отличающеес тем, что, с целью повыщени производительности и надежности его в работе , рычаг выполнен двуплечим, на одном конце которого установлен вакуумный захват, выполненный в виде нескольких секций, кажа из которых снабжена прие. плоихадками с всасывающими отверсти ми, при это.м шатун механиз.ма подъема закреплен в средней части пружинь, установленной на ругом конце рычага. 2.Устройство по и. I, отличающеес тем, что приемные площадки секций вакуумного захвата имеют, загнутые кра дл удержани изделий. Источники информации, ирин тые во внимание при экснертизе: 1.Авторское свидетельство СССР 225774, кл. В 65 G.47/38, 1965. 2.Авторское свидетельство СССР ЛЬ 194603, кл. В 65 G 47/91, 1965.
2S30
« I //
О
.« . 15
fU2.
on on op
Pul.S
P//2 I
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD183985A DD120400A1 (ru) | 1975-02-04 | 1975-02-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU618331A1 true SU618331A1 (ru) | 1978-08-05 |
Family
ID=5499041
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU762322601A SU618331A1 (ru) | 1975-02-04 | 1976-01-26 | Устройство дл перемещени изделий |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS181534B1 (ru) |
| DD (1) | DD120400A1 (ru) |
| DE (1) | DE2557273A1 (ru) |
| FR (1) | FR2300025A1 (ru) |
| GB (1) | GB1508748A (ru) |
| SU (1) | SU618331A1 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4603897A (en) * | 1983-05-20 | 1986-08-05 | Poconics International, Inc. | Vacuum pickup apparatus |
| GB2194500B (en) * | 1986-07-04 | 1991-01-23 | Canon Kk | A wafer handling apparatus |
| DE19907210A1 (de) * | 1999-02-23 | 2000-08-31 | Krauss Maffei Kunststofftech | Vorrichtung zum Transportieren und gleichzeitigen Kühlen von Substraten für Informationsträgerscheiben wie CD, DVD oder dergleichen |
-
1975
- 1975-02-04 DD DD183985A patent/DD120400A1/xx unknown
- 1975-12-19 DE DE19752557273 patent/DE2557273A1/de not_active Withdrawn
-
1976
- 1976-01-14 FR FR7600863A patent/FR2300025A1/fr active Granted
- 1976-01-26 SU SU762322601A patent/SU618331A1/ru active
- 1976-02-03 CS CS7600000675A patent/CS181534B1/cs unknown
- 1976-02-04 GB GB4348/76A patent/GB1508748A/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE2557273A1 (de) | 1976-08-05 |
| FR2300025A1 (fr) | 1976-09-03 |
| DD120400A1 (ru) | 1976-06-12 |
| GB1508748A (en) | 1978-04-26 |
| FR2300025B3 (ru) | 1978-10-06 |
| CS181534B1 (en) | 1978-03-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN115639449B (zh) | 一种半导体元器件测试工艺及测试机构 | |
| CN102067297B (zh) | 自适应夹具宽度调节装置及包括其的集成电路处理机器 | |
| CN108582145A (zh) | 一种货物分拣机械爪 | |
| US5163595A (en) | Intermittent feeding of a web-shaped workpiece | |
| US4312618A (en) | Loader-unloader system for work pieces | |
| JP4034353B2 (ja) | 全方向に傾斜可能なz軸駆動アーム | |
| CN213401145U (zh) | 一种承载装置及具有该承载装置的检测设备 | |
| CN118990592B (zh) | 一种工业机械手用防滑机械爪 | |
| KR100359338B1 (ko) | 웨이퍼 고정 척 | |
| CN209126299U (zh) | 一种金属板双面丝印设备 | |
| CN209062527U (zh) | 一种键盘载具以及平衡杆、键帽组装流水线 | |
| CN207841336U (zh) | 机器人抓手 | |
| SU1727529A3 (ru) | Способ перемещени куска м гкой ткани и устройство дл его осуществлени | |
| US4048838A (en) | Arrangement for controllably reciprocating a workpiece gripping assembly of a multi-stage press | |
| CN212312057U (zh) | 一种四爪中心定位重型机械手 | |
| CN209425472U (zh) | 一种汽车部件加工用电磁仿形机械手 | |
| CN210022870U (zh) | 一种led晶片自动分选机用清洗头组件 | |
| WO2020250065A1 (zh) | 一种抓取装置 | |
| CN223545244U (zh) | 辅助上下料机械手 | |
| SU745645A1 (ru) | Устройство дл фиксации и зажима | |
| SU1740287A1 (ru) | Кантователь-укладчик | |
| CN223979080U (zh) | 晶圆载台 | |
| EP0089636B1 (en) | Apparatus for clamping dual pin type electronic parts | |
| CN214981115U (zh) | 一种工业机器人夹具 | |
| SU603437A1 (ru) | Устройство дл ввода плоских предметов в сортировочную машину |