Изобретение относитс к вакуумнсй технике и может примен тьс в линейны ускорител х . и термо дерных установках дл откачки чистого водорода, при отка ке больших электронных трубок и дл достижени и поддержани высокого вакуума в металлических камерах, где водород составл ет основную долю газовой нагрузки. Известен магниторазр дный вакуумны насос с катодными пластинами и анодом чейной конструкции l. Однако быстрота действи такого насоса в диапазоне давлений 10 -1О мм рт. ст., невысока, так как в разр де на указанный диапазон приходитс наибол ша мощность, котора выдел етс в виде тепла и разогревает электроды насоса . Температура анода достигает ЗОО С в результате чего газ, сорбируемый анод ными поверхност ми, внсжь выдел етс в объем насоса, ухудшает вакуум и снижает быстроту откачки, причем водсфод почти не откачиваетс на аноде, а откачиваетс на катоде с последукмдей нежелательной десорбцией в нассх:. Известен также магкиторазр дный вакуумный насос, содержащий катодные пластины и полый анод| 2|. В данном насосе дл расширени сферы действи распыл емого с катода геттера и повышени быстроты откачки на внутренней поверхности анода в радиальном направлении размешены ребра. Это техническое решение при более глубоком вакууме ( мм рт. ст.), чем рассматриваема область давлений, позвол ет несколько повысить быстроту откачки активных газов за счет увеличени поверхности анода. Однако при высоких - t давлени х пор дка 1О -Ю мм рт. ст. услсжии откачки газов и быстрота действи насоса остаютс неизменными, поскольку ребра выиолнень: из материала ансща и подвергаютс тепловому воздействию , а следовател1оно, охвачены десорбцией газов в такой же мере, как и ос- новвой анод. Несмотр на увеличенную 36 анодную поверхнсють за счет оребрени , дополнительного св зывани водорода на аноде такого насоса не происходит вследствие слабого катодного распылени гет терного материала, необходимого дл покрыти этой поверхности и откачки газа образовавшейс пленкой геттера. Целью изобретени вл етс улучшение условий откачки водорода и друп х газов и повышение быстроты действи на coca в диапазоне давлений мм рт. ст. , Это достигаетс тем, что на внутренней поверхности анода размещена сетка, выполненна из материала катода и соединенна электрически с анодом. На фиг. 1 представлена элементарна разр дна , чейка предлагаемого . насоса; . 2 показан анод в поперечном сечении . Насос содержит титановые катодные пластины 1 и анод 2 пр моугольного или круглого сечени . На внутренней поверхности 3 анода размешена сетка 4, выпол ненна из материала катода. Сетка и ано наход тс под одинаковым электрическим потенциалом. В насосе тлеющий разр д возбуждаетс а электродном промежутке, ограниченном катодами 1 и анодом 2 при подаче на анод высокого положительного напр жени и приложении в направлении оси анода магнитного пол . В разр де образуют с положительные ионы, которые бомбардируют катоды 1 и внедр ютс в них, и электроны, уход щие после ионизирующих столкновений с частицами газа на анод 2. При повьииенных давлени х в интервале 1О -1О мм рт. ст, число электронов а разр де велико, и от ударов их об анодную титановую сетку 4 последн может разогреватьс до температуры ЗОО С. С ростом температуры сеткой сорбируетс соответствующее калнчестао водорода. При максимальной температуре скорость поглощени водорода оптималь на. Выдел ющийс с катодов 1 при ионной бомбардировке водород также откачиваетс на аноде 2 аналогичным путем. Поскольку удар ющиес об анод электроны независимо от величины их энергии 3 не вызывают распылени материала сет ки 4, десорбции водорода с анода 2 в процессе откачки не происходит. Другие активные газы поглощаютс путем взаимодействи молекул газа с осаждающейс на аноде пленкой геттера, распыл емого с катодов, и образованием твердых химических соединений. Благодар тому, что титан имеет низкую теплопроводность , поверхность 3 основного анода меньше нагреваетс . Анодна сетка 4, кроме того, совместно с основным анодом составл ют более развитую поверхность сорбции. Это позвол ет усилить откачку активных газов, а в результате образующихс на аноде 2 пор - улучшить улавливание частиц инертных газов. Таким образом, при повышенном тепловом режиме работы магниторазр дного насоса сетка из материала катода, раэмещенна на аноде, улучшает услови откачки газов и повьишает быстроту дейсгви по водороду за счет усиленной сорбции этого гааа на аноде и дополнительного поглощени водорода, выдел ющегос с катодов при ионной бомбардировке, по другим газам - за счет снижени теплового нагрева основного анода и увеличени пористости поверхности сорбции анодной структуры. Формула изобретени Магниторазр дный вакуумный насос, содержащий катодные пластины и полый анод, отличающийс тем, что, с целью улучшени условий откачки водорода и других газов и повышени быстроты действи насоса в диапазоне давлений 10 -10 мм рт. ст., на внутренней поверхности анода размещена сетка , выполненна из материала катода и соединенна электрически с анодом. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Левин Г. А. Основы вакуумной техники . М., Энерги , 1969, с. 171.