SU712672A2 - Дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа - Google Patents
Дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа Download PDFInfo
- Publication number
- SU712672A2 SU712672A2 SU782659756A SU2659756A SU712672A2 SU 712672 A2 SU712672 A2 SU 712672A2 SU 782659756 A SU782659756 A SU 782659756A SU 2659756 A SU2659756 A SU 2659756A SU 712672 A2 SU712672 A2 SU 712672A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- liquid
- gas stream
- metering device
- chamber
- mixing chamber
- Prior art date
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 12
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 10
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
Изобретение относитс к дозированию материалов и может быть использовано дл получени полупроводниковых материалов и эпитакоиальиых структур с заданными электрофизическими характеристиками .
По основному авт. св. N° 569856 известен дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа, содержащий термостатированную испарительную камеру, сообщенную через отверстие со смесительной камерой с патрубка-ми дл ввода и вывода газов, и дополнительный патрубок, присоединенный к испарительной камере 1.
Недостатками этого дозатора вл ютс низка точность дозировани малых количеств паров жидкости, св занна с заполнением смесительной камеры и газовых коммуникаций парами жидкости после прекращени процесса дозировани , и необходимость применени сложных газовых коммуникаций.
Цель изобретени - повышение точноcTiH дозировани малых количеств паров жидкости.
Указанна цель достигаетс тем, что в смесительной камере установлен вентиль дл перекрыти отверсти , сообщающего смесительную и испарительную камеры.
Изобретение по сн етс чертежом, на котором приведен общий вид дозатора.
Дозатор содержит термостатированную испарительную камеру /, в которую залита испар ема Ж1идко.сть 5, и смесительную камеру 2. Смесительна камера 2 снабжена патрубками дл ввода транспортирующего газа 5 и отвод щим патрубком 4 дл подачи парогазовой смеси к объекту легировани . Дл сброса части пара жидкости испарительна камера снабжена патрубком 5.
В верхней части испарительной камеры/ имеетс калиброванное отверстие 6, соедин ющее испарительную и смесительную 2 камеры. В смесительной камере 2 установлен вентиль 7 с руко ткой 5, расположенной с внещней стороны камеры.
Устройство работает следующим образом .
Перед началом процесса дозировани устанавливают необходи1мую температуру испарени жидкости и заданный расход газа через смесительную камеру 2. Отверстие 6 закрыто вентилем 7 и пары жидкости не попадают в смесительную камеру 2. Процесс дозировани начинаетс с момента открыти отверсти 6 вентилем 7. При этом пары жидкости 9 начинают диффузи
Claims (1)
- Формула изобретенияДозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа, по авторскому свиде5 тельству № 569856, отличающийся тем, что, с целью повышения точности .дозирования малых количеств паров жидкости, в смесительной камере установлен вентиль для перекрытия отверстия, сообщаю]q щего смесительную и испарительную камеры.Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:1. Авторское свидетельство СССР 15 № 569856, кл. G 01 F 11/00, 1976 (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782659756A SU712672A2 (ru) | 1978-08-21 | 1978-08-21 | Дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782659756A SU712672A2 (ru) | 1978-08-21 | 1978-08-21 | Дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU569856 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU712672A2 true SU712672A2 (ru) | 1980-01-30 |
Family
ID=20783410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU782659756A SU712672A2 (ru) | 1978-08-21 | 1978-08-21 | Дозатор паров жидкости, транспортируемых потоком газа |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU712672A2 (ru) |
-
1978
- 1978-08-21 SU SU782659756A patent/SU712672A2/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5431736A (en) | Method for transforming a liquid flow into a gas flow and a device for implementing the method | |
| WO2005078781A1 (ja) | 成膜装置 | |
| FR2439041A1 (fr) | Gicleur de distribution de liquide destine a etre fixe transversalement a la paroi d'un conduit | |
| JPS57126556A (en) | Fuel injection valve | |
| GB1525050A (en) | Apparatus for dispensing a liquid | |
| SU1696878A1 (ru) | Дозатор парогазовой смеси | |
| US1336822A (en) | Apparatus for gasifying liquids | |
| SU842577A1 (ru) | Способ непрерывного дозировани ТРудНОлЕТучиХ КОМпОНЕНТОВ | |
| US2494219A (en) | Gaseous fuel mixture | |
| SU1409868A1 (ru) | Диффузионный дозатор микроконцентраций | |
| JPS60730A (ja) | バブラ | |
| JPS5582209A (en) | Supersonic fuel atomization and conbustion apparatus thereof | |
| SU581379A1 (ru) | Диффузионный дозатор | |
| JPS55114707A (en) | Chemical grouting apparatus | |
| SU909576A2 (ru) | Дозатор паров жидкости | |
| SU763781A1 (ru) | Дозатор дл отбора и ввода проб в газовый хроматограф | |
| SU698723A1 (ru) | Устройство дл дозировани жидкого металла | |
| GB635295A (en) | A device for projecting a jet, spray, or cloud of dry powdered material | |
| SU552513A1 (ru) | Устройство дл дозировани | |
| SU413691A3 (ru) | ||
| SU1065690A1 (ru) | Дозатор парогазовой смеси | |
| RU158289U1 (ru) | Сатуратор для дозирования | |
| FR2304061A1 (fr) | Perfectionnements aux doseurs pour produits liquides | |
| SU1084053A1 (ru) | Устройство дл смешивани газа с парами жидкости | |
| SU405026A1 (ru) | УСТРОЙСТВО дл ДОЗИРОВАНИЯ СЫПУЧИХ МАТЕРИАЛОВ |