SU712794A1 - Устройство дл фокусировки - Google Patents

Description

Свет от источника 1, пр.оход  кристаллическую пластину 4, расщепл етс  на две волны обыкновенную о и необыкновенную е, не раз;деленные в пространстве. Вследствие этого объектив 5 создает два изображени  штрихового растра 3 вблизи фокусируемой полупроводникавой лластины 6. разнесенных только по глубине, но в одной и той же точке на поверхности полупроводниковой пластины.

Растр устанавливают так, что в случае идеальной фокусировки его автоколлимационные изображени  3 и 3 наход тс  по разные стороны на одинаковом рассто нии от него самого. Отраженный от полупроводниковой пластины световой поток направл етс  полупрозрачным зеркалом 2 ,и коллективом 7 на сдвоенный фотонриемник 9, проход   ри этом вторую кристаллическую пластину S. При этом две волны о и е раздел ютс  в пространстве и попадают на две светочувствительные площадки фотоприемника 9.

.Электрические сигналы с обеих площадок сдвоенного фотоприемника 9, соответствующие обыкновенной и необыкновенной волнам, поступают на дифференниальный усилитель 10, где один сигнал вычитаетс  из другого и формируетс  разностный сигнал дефокусировки. Величина сигнала, равна  нулю, соответствует положению фокусируемой полупроводниковой пластины при идеальной фокусировке.

Ори использовании изобретени  увеличиваетс  быстродействие системы вследствие отсутстви  механического модулирующего элемента, повышаетс  точность фокусировки, TaiK как изображени  растра стро тс  о- и е-волпами одновременно и в одной и той же тачке фокусируемой пластины .

Ф о р iM у л а и 3 о -б р е т е н и  

Устройство дл  фокусировки, содержащее осветитель, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив и сдвоенный фотоприемник, отличающеес  там, что, с целью павыщени  точности быстродействи  фокусировки, в него перпендикул рно к оптической оси системы введены две плоскопараллельные пластины из оптически одноосного кристалла, одна из которых расположена между растром и объективом, а друга  - между «оллектиSO .M и фотоприемником, при этом оптические оси первой и второй пластин- расположены соответственно параллельно и под острым yrinoM к их плоскост м, а проекции оптических осей пластин на плоскость, перпендикул рную к оптической оси системы, параллельны или перпендикул рны между собой.

Источники информадии, прин тые во внимание при экснертизе:

1. Духопел И. iH. и др. Оптико-фотографический способ фокусировани  на поверхность , «Оптико-механическа  промышленность № 9, 197,2.

2. Авторское свидетельство СССР Ко 4061:82, «л. G 03 В 3/00, 197Г (прототип).

J.J

ч

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Устройство для фокусировки, содержащее осветитель, светоделитель, штриховой растр, объектив, коллектив и сдвоенный фотоприемник, отличающееся тем, что, с целью повышения точности быстродействия фокусировки, в него перпендикулярно к оптической оси системы введены две плоскопараллельные пластины из оптически одноосного кристалла, одна из которых расположена между растром и объективом, а другая — между коллективом и фотоприемником, при этом оптические оси первой и второй пластин- расположены соответственно параллельно и под острым у.гДом к их плоскостям, а проекции оптических осей пластин на плоскость, перпендикулярную к оптической оси системы, параллельны или перпендикулярны между собой.