SU729514A1 - Устройство дл измерени удельного сопротивлени - Google Patents

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в полупроводниковой промышленности для контроля электрофизических параметров полупроводнико- 5 вых материалов, например, удельного сопротивления слитка полупроводникового материала четырехзондовым методом.

Известно устройство для измерения 10 удельного сопротивления полупроводниковых пластин четырехзондовым методом, включающее неподвижно закрепленную зондовую головку и предметный столик с возможностью перемещений 15 образца в двух взаимно перпендикулярных направлениях и поворота вокруг оси его симметрии в горизонтальной плоскости[1J.

К его недостаткам относится невоз-20 можность использования для измерения по торцу слитка длиной один метр и . более.

Известно также устройство для измерения удельного сопротивления слит-25 ков, содержащее механизм перемещения зондовой головки и держатель слитков, размещенные на общем основании (2].

Однако, это устройство позволяет проводить измерения только вдоль об- 30 разующей и непригодно для измерений по торцу слитка.

Цель изобретения — повышение производительности.

Это достигается тем, что в устройстве для измерения удельного сопротивления, преимущественно полупроводниковых материалов, содержащем основание, зондовую головку с механизмом ее перемещения и держатель слитка полупроводникового материала, механизм перемещения зондовой головки выполнен в виде турели, на которой размещена зондовая головка с возможностью ее перемещения по радиусу турели, а основание снабжено направляющей с подвижными упорами для перемещения держателя слитка полупроводникового материала, выполненного в виде двух пар пластин с йозможностью их взаимного возврАтно-поступательного перемещения .

На чертеже изображена схема предложенного устройства.

Устройство для измерения удельного сопротивления имеет основание 1, механизм 2 перемещения зондовой головки в виде турели 3, выполненной с возможностью угловых перемещений вокруг своей оси 4 в неподвижной стой3 ке '5 на равные углы за счет упругого шарикового фиксатора 6, на которой установлен привод для перемещения зондовой головки вдоль радиуса турели, содержащей реечно-зубчатую передачу 7 и жестко соединенную с корпусом зондовой головки направляющую 8.

Основание 1 снабжено направляющей 9 в виде рельса, на которой установлен держатель слитка полупроводникового материала, выполненный в виде двух пар пластйн 10 и 11, установленных под углом одна к другой, имеющих возможность взаимного возвратно-поступательного перемещения посредством винтовых пар с левой 12 и правой 13 направлениями резьбы и направляющей 14,

Направляющая 9 снабжена подвижными упорами 15 и 16, причем упор 15 размещен на пластинах 10 и служит для базирования торца слитка, а упор 16 — для поджатия торца слитка к упору 15, Винтовой зажим 17 предназначен для фиксации пластин 10 и 11 и упора 16 в любом положении направляющей 9.

Устройство для измерения удельно-_? го сопротивления по торцу слитка работает следующим образом.

Предварительно измеряют диаметр слитка и по шкале (ра чертеже не показана) с помощью винтовых пар 12 и 13 и направляющих 14 устанавливают пластины 10 и 11 держателя слитка в положение, соответствующее диаметру слитка, при этом автоматически совмещается ось симметрии слитка с осью 4 вращения турели 3.

С помощью подвижного упора 16 поджимают контролируемый 'торец слитка к базовому упору 15, и приводом с реечно-зубчатой передачей 7 по шкале (tfh Чертеже не показана) устанавливают зондовую головку на нужный радиус вращения на турели 3. Поворотом турели 3 на необходимый угол подводят зонды к точкам контактирования, лежащим на одной окружности, и проводят измерения.

Изменяя радиус вращения зондовой головки 2 на турели 3, последовательно измеряют удельное сопротивление по всему сечению.

Claims (2)

1. ке 5 на равные углы за счет упругого шарикового фиксатора 6, на которой установлен привод дл  перемещени  эондовой головки вдоль радиуса турели , содержащей реечно-зубчатуго передачу 7 и жестко соединенную с корпусом зондовой головки направл ющую 8. Основание 1 снабжено направл ющей 9 в виде рельса, на которой установлен держатель слитка полупроводникового материала, выполненный в виде двух пар пластин 10 и 11, установлен ных под углом одна к другой, имеющих возможность взаимного возвратно-поступательного перемещени  посредстве винтовых пар с левой 12 и правой 13 направлени ми резьбы и направл ющей 14, Направл юща  9 снабжена подвижными упоргиуш 15 и 16, причем упор 15 размещен на пластинах 10 и служит дл базировани  торца слитка, а упор 16 дл  поджати  торца слитка к упору 15 Винтовой зажим 17 предназначен дл  фиксации пластин 10 и 11 и упора 16 в любом положении направл ющей 9. Устройство дл  измерени  удельного сопротивлени  по торцу слитка работает следующим образом. Предварительно измер ют диаметр слитка и по шкгше (ра чертеже не показана ) с помощью винтовых пар 12 и 13 и направл ющ1 х 14 устанавливают пластины 10 и 11 держател  слитка в положение, соответствующее диаметру слитка, при этом автоматически совме щаетс  ось симметрии слнтка с осью 4 вреццени  турели 3. С помощью подвижного упора 16 под жимают контролируемый торец слитка к базовому упору 15, и приводом с реечно-зубчатой передачей 7 по шкале ( }fa. Чертеже не показана) устанавливгиот зондовую головку на нужный радиус вращени  на турели 3. Поворотом турели 3 на необходимый угол подвод т зонды к точкам контактировани , лежащим на одной окружности, и провсд т измерени . Измен   радиус вращени  зондовой головки 2 на турели 3, последовательно измер ют удельное сопротивление по всему сечению. Формула изобретени  Устройство дл  измерени  уд льного сопротивлени , преимущественно полупроводниковых материалов, содержащее основание, зондовую головку с механизмом ее перемещени  и держатель слитка полупроводникового материала, отл и чающеес  тем, что, с целью повышени  производительности, механизм перемещени  зондовой головки выполнен в виде турели, на которой размещена зондова  головка с возможностью ее перемещени  по рсцщусу турели, а основание снабжено направл ющей с подвижными упорами дл  перемещени  держател  слитка полупроводникового материала, выполненного в виде двух пар пластин с возможностью из взаимного возвратно-поступательного перемещени . Источники информации, прин тые во внимание при зкспертизе 1. Батавин В.В. Контроль параметров полупроводниковых материалов и эпитаксиальных слов. М.,Советское радио 1976, стр. 13, рис. 8.
2. 2. Патент США 3312893, кл. 324-64, 1967 (прототип).