SU737657A1 - Вертикальный турбомолекул рный насос - Google Patents

Description

(54) ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ

НАСОС

Изобретение относитс  к области вакуумной техники. Известен вертикальный турбомолекул рный насос, содержащий корпус и располо-, женный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца 1. При вращении вертикального ротора не совпадает его ось вращени  с осью масс ротора, что ведет к биению вала в корпусе. Целью изобретени   вл етс  уменьщение динамической неуравновешенности ротора. Указанна  цель достигаетс  тем, что на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан со стороны, противоположной подщипнику , на неподвижном кольце последнего - втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийс  стержень, концы которого снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединени  с втулкой неподвижного кольца и со стаканом. На чертеже изображен насос, продольный разрез. Вертикальный турбомолекул рный насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное 3 и неподвижное 4 кольца. На внутренней поверхности корпуса 1 закреплен стакан 5 со стороны, противоположной подщипнику, на неподвижном кольце 4 последнего - втулка 6, а вдоль оси внутренней полости ротора 2 установлен при помощиупругий опор 7 невращаю.щийс  стержень 8, концы которого снабжены щаровыми опорами 9 и 10, образующими щарнирные соединени  с втулкой 6 неподвижного кольца 4 и со стаканом 5. Ротор 2 приводитс  во вращение электродвигателем 11. Во врем  выхода ротора 2 на номинальные обороты, стержень 8 позвол ет ротору 2 выбрать свое положение в пространстве таким образом, чтобы совместилась ось вращени  с осью массы ротора 2, при этом обеспечиваетс  уравновешивание системы ротор-стержень. Стержень 8 при вращении ротора 2 совершает колебательные движени  с частотой , равной частоте вращени  ротора 2. Относительное движение ротора 2 и стержн  8, атакже стержн  8 относительно корпуса 1 при каждом обороте ротора 2 вызы

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем под4 вижное и неподвижное кольца,¹ отличающийся тем, что, с целью уменьшения динамической неуравновешенности ротора, на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан со стороны, противоположной подшип5 нику, на неподвижном кольце последнего — втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийся стержень, концы которого снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединения со втулкой неЮ подвижного кольца и со стаканом.