SU767592A1 - Способ градуировки вакуумметров - Google Patents

Description

1

Изобретение относитс  к области приборостроени  и может быть использовано дли определени  метрблогических характеристик вакуумметров.

Известен способ градуировки ваку- 5 умметров, основанный на расчетном понижении (редукции) давлени , йроисход щем при молекул рном течении газа через диафрагмы известной проводимости ClJ Недостатком этого спо- 10 соба  вл етс  сложность п| О ведени  граидуировки, св занна  с.необходимостью измер ть давление дл  каждой экспериментальной точки.

Известен также более простой хро- 5 нометрический способ граидуровки вакуу1 влетров , основанный на расчётном повьлиении давлени  в градуировочной камере 2. Этот способ наиболее близок к предлагаемому.20

Вакуумна  система, испЬ.цьзуема  известном способе градуировки, показана на фиг. 1.

К градуировочной камере 1 (известного объема V) присоединен градуи- 25 руемый вакуумметр 2. Через диафрагму 3 известной малой проводимости V ка ,мера 1 соединена с камерой 4 , к которой присоединен также образцовый, манометр 5.30

Способ градуировки вакуумметров состоит в том, что, после предварительной откачки камер 1 и 4 наполн ют газом камеру 4 и устанавливают непрерывный поток газа из камеры 4 в камеру 1 через диафрагму 3, измер ют давление Р, в камере 4 по образцовому манометру 5. При непрерывном повышении давлени  в камере 1 регистрируют (или записывают) показани  градуируемого вакууметра 2 во времени, начина  с момента этом контролируют посто нство давлени  РТ ) .

Давление Р-, газа в камере 1, соответствующие произвольным моментам времени ti, рассчитывают по формуле

P;j; Р -v/v, Atj , (1 ) где t - to.

Сопоставл ют эти расчетные значени  давлени  Р- с соответствующими показани ми вакуумметра 2.

Claims (2)

1. Недостатком способа . вл етс  низка  точность градуировки, обусловленна  наличием неучитываемых побочных газовых процессов в градуировочной камере (газовыделение со стенок камеры или внутри градуируемого вакуумметра , в обенности при высоком и сверхвысоком вакууме. Уравнение (1) предполагает пренебрежимую малость потока газовыделени  в камере и ваку умметре , что- не всегда справедливо. .Кроме того, данный поток мржат измен тьс  от Одного цикла градуировки к другому, в св зи с чем в результа fax тра уировки содержитс  посто нна систематическа  погрешность, величин -- koTopoft возрастает при понижении дав лёни . . . . , Цель изобретени  - повышение точности градуировки. Эта цель достигаетс  тем, что по. окончании повышени  давлени  откачивают вторую камеру, затем соедин ют Первую камеру с второй,измер ют по образцовому манометру устанавливаю щёес  после расширени  давлени  и . :.:.пр известной зависимости рассчитывают искомые давлени  в первой градуи ровочной Ksuviepe. Вакуумна  система, реализующа  предлагаемый способ градуировки ва -куумметров , изображена на фиг. 2. Она включает камеру 1 объема V с присоедйнённым к ней градуируемым вакуумметром 2. Через диафрагму 3 малой проводимости камера 1 соединена с камерой 4 объема V , к которой также присоединен образцовый манометр 5 Диафрагму 3 можно открыть или закрыт с помощью клапана 6. Параллельно ему помещен клапан 7, с помощью которого -.-камеры 1 и 4 можно объединить в единую камеру. Через клапан 8 камера 4 сообщаетс  с дополнительным насосом 9 (или агрегатом), предназначенным дл  откачки данной камеры. Предлагаемый способ градуировки в.-вакуумметров состоит в том, что пос: -лё предварительной откачки камер 1 и 4 наполн ют газог камеру 4 и устанавливают непрерывный поток газа из камеры 4 в камеру 1 через диафрагму 3 (при, этом клапаны 7 и 8 закрыты, а клапан 6 открыт)1 При непрерывном повышении давлени  в градуировочной KeiMepe 1 регистрируют (или записывают ) показани  градуируемого вакуумметра 2 во времени, начина  с t, (при этом контролируют посто нство давлени  Р, в камере 4). -Давлени  P газа в камере 1, соответствующие произвольным моментам времени t, описываютс  уравнением ор.л р. - -3-1 -(ч-м, где- q г суммарный поток сорбции и де сЪрбции газа в камере 1. В некоторый конечный NfoMenT време давление Р,. в камере 1 в { V-V где А t t - to Закрыв в момент времени t клапан 6 и открыв клапан 8, откачивают камеру 4 доплнительным насосом 9 (или агрегатом) до давлений, пренебрежимо малых по сравнению с конечным давлением Р в камере Л.. Затем, закрыв клапан 8 и открыв клапаны 6 и 7, соеин ют камеры 1 и 4. Тогда в обшем объеме V + V, обеих камер устанавливаетс  давление Р Далее измер ют давление Р по образцовому манометру 5. Реша  совместно уравнение (2), (2а) и (3) относительно давлени  Р , получим Сопоставл ют эти расчетные значени  давлени  Р в градуировочной камере 1 с соответствующими зафиксированными моментом времени t показател ми вакуумметра 2. Расчитанные пО уравнению (А) значени  давлений Р, свободны от погрешностей, св занныхс побочными процессами газоотделени  в градуировочной камере и в градуируембм вакууммерте, что обеспечивает давышёние точности градуировки, указанные побочные процессы автоматически учитываютс  при измерении давлени  Формула изобретени  Способ градуировки вакуумметров путем повышени  давлени  в первой камере с градуируемлм вакуумметром, , происход щего непрерывной подаче известнргр потока газа в эту камеру из второй камеры с образцовым манот метром,   О11ред лени  давлений, соответствующих зафиксированным в некоторые моменты времени показани м градуируемого вакуумметра, Q т л и ч а в щ и и с   тем, что, с целью повышени  точности градуировки, по окончании повышени  давлени  откачивают вторую камеру, затем соедин ют первую камеру со второй, измер ют устанавливающеес  после расширени  давление по образцовому манометру и по известной зависимости рассчитывают искомые давлени  в первой камере. Источники информации, прин тые |о внимание экспртизе 1. Davis W.p.J.Vac.Sei.Teehnol .5, 1(1968) p. 23-33.
2. 2. IXushman S., Found t.J. Phys, Rev 15, 2 (1920), p. 133(прототип).

   .iSirfiSiSj c..

   /

   I

   /I

   /

   ut. f