SU789682A1 - Интерферометр дл контрол толщины пленок в процессе их нанесени на поверхность детали в вакууме - Google Patents

Description

Рабоча  ветвь интерферометра включает в себ  верхние призму 3 и клин 5 и участок поверхности детали (:Ьочка F,) , на который напыл етс  пленка, эталонна  ветвь - нижние призму 4 и клин 6и участок поверхности (точка Fjj,) , свободный от напыл емой пленки благодар  экрану 11.

Клинь  5 и б имеют форму полудисков , попарно скрепленных вершинами, и могут разворачиватьс  вокруг оптической оси интерферометра на равные углы в противоположные стороны.

Отражатели 12 и 13 склеены с объективами 8 и 9 и перемещаютс  поступательно вдоль оптической оси интерферометра .

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок света от осветительной системы 1 попадает на.призмы 3 и 4, которые дел т его на две ветви - рабочую и эталонную и отклон ютс  клинь ми 5 и б на одинаковые углы в противоположные стороны. Затем пучки обеих ветвей проход т через светоделитель 7 и фокусируютс  объективом 8 на поверхность детали: пучок рабочей ветви - в точке F , а пучокэталонной ветви - в точке F поверхности детали. Пучок рабочей ветви отражаетс  от поверхности детали, проходит объектив 9, смещаетс  и отражаетс  экраном 11,. попадает в объектив 9, вновь фокусируетс  в точке Ц , повторно отражаетс  от поверхности детали , попадает в объектив 8 и, отража сь , от светоделител  7, направл етс  в регистрирующий узел 10.

Эталонный пучок в той же последовательности .проходит те же оптические элементы и попадает в регистрирующий узел 10,где рабочий и эталонный пучки интерферируют между собой

При напылении пленки в точке Fj происходит изменение разности хода в ветв х интерферометра, что вызывает изменение освещенности интерференционной картины, по которой суд т о контролируемом параметре.

Claims (1)

1. Авторское свидетельство СССР 306342, кл. G 01 В 11/06, 1973 (прототип).

к-к

К в

9иг.2