SU815491A1 - Устройство дл измерени клиновид-НОСТи ОпТичЕСКи пРОзРАчНыХ плАСТиН - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КЛИНОВИДНОСТИ ОПТИЧЕСКИ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛАСТИН

Устройство содержит источник 1 когерентного света, оборачивающую систему , состо щую из двух зеркал 2 и 3, фокусирующую систему 4, светоделители 5 и б, один из которых 5 установлен под углом к оптической оси и закреплен жестко в фокальной плоскости Фокусирующей системы 4, а второй 6 установлен за первым с возможностью наклона в двух взаимно перпендикул рных направлени х, нормалных к оптической оси, объектив 7, установленный в ходе лучей, отраженных от светоделител  5, два наклонных зеркала 8 и 9, одно 8 из которых установлено за фокусирующим объективом 7, а другое 9 - за светоделителем б с возможностью перемещени  вдоль оптической оси, экран 10, установленный в плоскости изображени  фокусирующего объектива 7 и выполненный в виде решетки Готье. В ходе отраженных от зеркала 9 лучей установлена измер ема  пластина 11. Источником 1 когерентного света служит лазер. Зеркало 8 служит дл  отклонени  светового пучка, прошедшего через фокусирующий объектив 7,и пучка , отраженного от зеркала 9,светоделител  6 на экран 10, что позвол е сделать устройство компактным и удобным в эксплуатации.

Устройство работает следующим образом .

Пучок света от источника 1 когерентного света с помощью зеркал 2 и 3 разворачивают на 180 и собирают в точку фокусирующей системой 4 на поверхности светоделител  5, который раздел ет его на два пучка. Одна часть пучка (10% энергии ) отражаетс  от светоделител  5 и фокусируетс  объективом 7 после отражени  от зеркала 8 в центре экрана 10, а друга  пройд  светоделители 5 и 6, и отразившись от зеркала 9, падает на измер емую оптически прозрачную пластину 11.

Отраженные от .поверхностей измер емой пластины 11 лучи света интерферируют , образу  нелокализованную интерференционную картину, котора  проектируетс  на экран 10, выполненный в виде решетки Готье, с помощью зеркала 9, светоделител  6 и зеркала 8 .

1Отсчитываетс  на экране 10 число делений между опорным п тном (свет ща с  точка) и центрой интерференционной картины и, зна  цену делени  сетки экрана, определ етс  угол клиновидности пластины 11.

С целью расширении диапазон; измерени  зеркало 9 установлено нп каретке (на чертеже не показана с возможностью перемещени .по направл ющим вдоль оси пучка лучей.

Точность измерени  угла клиновидности повышена до 0,5 угловых секунд

Использование предлагаемого устройства позвол ет проводить измерени клиновидности оптически прозрачных пластин с высокой точностью, дает возможность измерени  детали непосредственно в процессе полировки, не наруша  технологии их изготовлени . Устройство высокопроизводительно, удобно в работе.

Claims (2)

1.Устройство дл  измерени  клиновидности оптически прозрачных пластин , содержащее расположенные на одной оптической оси источник когерентного света и фокусирующую систему

и-экран, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности оно снабжено двум  расположенными по ходу светового потока за фокусирующе системой светоделител ми, первый из которых жестко закреплен в фокальной плоскости фокусирующей системы под углом к оптической оси, а второй установлен за первым с возможностью нйклона в двух взаимно перпендикул рных направлени х, нормальных к оптической оси, фокусирующим объективом, расположенным перед экраном на пути светового потока, отраженного от первого светоделител , и двум  зеркалами , одно из которых установлено за фокусирующим объективом наклонно его оси, а другое - за вторым светоделителем наклонно к оптической оси с возможностью перемещени  вдоль нее и оптически св зано в процессе измерени  с пластиной, а экран установлен в плоскости изображени  фо-. кусирующего объектива.

2.Устройство по п. 1, отличающеес  тем, что, с целью удобства работы, оно снабжено оборачивающей системой, установленной между источником когерентного света фокусирующей системой.

Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе

1.Афанасьева В. А. Оптические измерени . М., Недра, 1968, с.41.

2.Бергман и Томпсон. Интерференционный метод измерени  угла непараллельности при помощи лазера.- ЛррIie optics, 1968, № 7,923 (прототип).