SU823846A2 - Двухлучевой интерферометр дл измере-Ни лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий - Google Patents

Двухлучевой интерферометр дл измере-Ни лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий Download PDF

Info

Publication number
SU823846A2
SU823846A2 SU792790735A SU2790735A SU823846A2 SU 823846 A2 SU823846 A2 SU 823846A2 SU 792790735 A SU792790735 A SU 792790735A SU 2790735 A SU2790735 A SU 2790735A SU 823846 A2 SU823846 A2 SU 823846A2
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
measuring linear
displasements
interferometer
beam interferometer
measuring
Prior art date
Application number
SU792790735A
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Николаевич Биенко
Евгений Казимирович Чехович
Юрий Георгиевич Буров
Original Assignee
Институт электроники АН Белорусской ССР
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт электроники АН Белорусской ССР filed Critical Институт электроники АН Белорусской ССР
Priority to SU792790735A priority Critical patent/SU823846A2/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU823846A2 publication Critical patent/SU823846A2/ru

Links

Landscapes

  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)

Description

(54) ДВУХЛУЧЕВОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЬК ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
.
Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть исиол зовдно дл  измерени  линейных перемещений с высокой степенью точности в большом диапазоне измерительных величин.. ,
Известен интерферометрМайкельсона дл  измерени  линейных перемещений , содержащий основание/ источник света, зеркала,светоделитель и наб- людательную систему 111.
Недостатком интерферометра  вл етс  низка  точность измерений, ограниченна  двойным прохождением лучей в ветв х интерферометра, а также чувствительностью интерференционной картины к угловым перемещени м зер-, кала, св занного с измерительным объектом.
По основному авт. св. 284306 известен также двух-лучевой интерферометр дл  измерени  линейных перемещений , содержащий основание, источник света, зеркала, полупрозрачную пластину, две пары регулируемых между собой блоков отражательных призм, расположенных на основании во взаимно перпендикул рных направлени х , плоское зеркало с отверстием, установленное в одной из ветвей интерферометра и наблюдательную систему 2 .
Недостатком этого интерферометра  вл етс  сравнительно низка  точность измерений, ограниченна  числом отражений световых пучков в ветв х интерферометра, при котором не возникает значительных световых потерь, а также чувствительностью интерференционной картины к угловым перемещени м блоков отражательных призм в процессе измерени  линейных перемещений .
Цель изобретени  - повышение точности измерений.

Claims (2)

1.Коломийцев Ю.В. Интерферометры. М, Машиностроение, 1976, с.53-55.
O
2.Авторское свидетельство СССР
1 284306, кл. G 01 В (прототип ) .
/,
чи
SU792790735A 1979-07-02 1979-07-02 Двухлучевой интерферометр дл измере-Ни лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий SU823846A2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792790735A SU823846A2 (ru) 1979-07-02 1979-07-02 Двухлучевой интерферометр дл измере-Ни лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU792790735A SU823846A2 (ru) 1979-07-02 1979-07-02 Двухлучевой интерферометр дл измере-Ни лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU284306 Addition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU823846A2 true SU823846A2 (ru) 1981-04-23

Family

ID=20838243

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU792790735A SU823846A2 (ru) 1979-07-02 1979-07-02 Двухлучевой интерферометр дл измере-Ни лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU823846A2 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE58906308D1 (de) Interferometrisches Verfahren zur Prüfung von asphärische Wellenfronten erzeugenden optischen Elementen.
US3090279A (en) Interferometer using a diffraction grating
US4436424A (en) Interferometer using transverse deviation of test beam
GB1287612A (en) Improvements in and relating to interferential devices
SU823846A2 (ru) Двухлучевой интерферометр дл измере-Ни лиНЕйНыХ пЕРЕМЕщЕНий
US5416587A (en) Index interferometric instrument including both a broad band and narrow band source
RU2769885C1 (ru) Устройство для измерения деформации
US3776636A (en) Process and apparatus for investigating the coherence of light radiation
US3419331A (en) Single and double beam interferometer means
US3043182A (en) Interferometer for testing large surfaces
SU712654A1 (ru) Интерферометр
SU1397718A1 (ru) Интерферометр дл измерени линейных величин и показател преломлени
SU711442A2 (ru) Устройство дл измерени градиентов показател преломлени
SU1000745A1 (ru) Интерферометр дл контрол вогнутых цилиндрических поверхностей
SU1364866A1 (ru) Интерференционное устройство дл измерени угловых перемещений
Gates et al. A confocal interferometer for pointing on coherent sources
SU645021A1 (ru) Оптический микрометр нониального совмещени
Theocaris Diffused light interferometry for measurement of isopachics
GB617416A (en) Optical instrument for testing plane surfaces and rectilinear lines
SU1163140A1 (ru) Устройство дл измерени линейных размеров детали
SU1037066A1 (ru) Способ измерени угла поворота издели
SU861933A1 (ru) Устройство дл измерени деформаций
SU1730531A1 (ru) Двухкоординатный измеритель перемещений
JPH03156305A (ja) 非球面形状測定装置
SU419719A1 (ru) Интерференционный способ изл\ерения линейных размеров образцовых оптических деталей