SU838245A1 - Вакуумный затвор - Google Patents

Вакуумный затвор Download PDF

Info

Publication number
SU838245A1
SU838245A1 SU782664202A SU2664202A SU838245A1 SU 838245 A1 SU838245 A1 SU 838245A1 SU 782664202 A SU782664202 A SU 782664202A SU 2664202 A SU2664202 A SU 2664202A SU 838245 A1 SU838245 A1 SU 838245A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
force
shutter
sealing
vibrator
magnetostrictive
Prior art date
Application number
SU782664202A
Other languages
English (en)
Inventor
Исмет Бутурович
Борис Федорович Гончаров
Сергей Николаевич Домрачев
Георгий Леонидович Саксаганский
Original Assignee
Ленинградский Ордена Ленина Политехническийинститут Им. M.И.Калинина
Предприятие П/Я A-7904
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Ордена Ленина Политехническийинститут Им. M.И.Калинина, Предприятие П/Я A-7904 filed Critical Ленинградский Ордена Ленина Политехническийинститут Им. M.И.Калинина
Priority to SU782664202A priority Critical patent/SU838245A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU838245A1 publication Critical patent/SU838245A1/ru

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Изобретение относится к уплотни- 4 тельным устройствам вакуумных систем, преимущественно электрофизических установок.
Известны конструкции вакуумных затворов, содержащие приводной механизм и запорную пару
Недостатком этих затворов является то, что они требуют создания на запорной паре значительных удельных контактных усилий.
Известен также вакуумный затвор, содержащий приводной механизм и самотормозящуюся запорную пару, снабженную магнитострикционным вибрато- ( ром £2^.
В этом затворе при увеличении диа-, метра уплотняемой поверхности увеличивается требуемое усилие герметизации, а тем самым потребляемая мощность вибратора и мощность генератора, питающего этот вибратор.
Цель изобретения - снижение статического усилия герметизации.
Эта цель достигается тем, ч'то магнитострикционньй i вибратор выполнен . кольцевым из отдельных имеющих независимое возбуждение секций.
На чертеже изображен вакуумный 9атвор, общий вид.
Вакуумный затвор содержит корпус 1 с фланцами 2- и 3 для присоединения к вакуумной системе и насосу, вибратор, состоящий из секций 4 кольцевого магнитострикционного преобразователя с независимыми электрическими обмотками 5 и кольцевого волновода 6, установленного для устранения передачи колебаний на корпус, на диафрагмах 7 и 8, тарелку 9 клапана, которая с волноводом 6 образует самотормозящуюся запорную пару с уплотняющими поверхностями 10, Тарелка 9 клапана соединена с гайкой 11 посредством диафрагмы 12. Шток 13 клапана связан с приводным механизмом 14. Сильфон 15 исключает натекание атмосферы во внут3 82 реннюю полость корпуса 1 через приводной механизм 14. Затвор работает следующим образом. При вращении штока 13 приводным механизмом 14 тарелка 9 клапана статическим усилием прижимается к волноводу 6 и уплотняет поверхности 10 самотормозящейся пары. После приложения статического усилия на обмотку 5 одной из секций 4 кольцевого магнитострикционного преобразователя подается напряжение от генератора и возбуждаются продольные колебания, которые через волновод 6 подают вибрационное усилие на уплотняющие поверхности, 15 расположенные под этой секцией. По истечении некоторого времени напряжение от генератора переключается на следующую секцию магнитострикционного преобразователя. В этом случае виб- 20 рационное усилие действует уже на другой участок контактных поверхностей. Такое последовательное переключение обмоток магнитострикционного преобразователя позволяет осуществить 25 последовательный обход вибрационным усилием всей уплотняющей поверхности. В результате совместного действия статического усилия от приводного ме
4 ханизма и последовательного многократного обхода вибрационным усилием всего параметра уплотняющих поверхностей обеспечивается их герметизация. После этого вибрационное усилие снижается, а плотность соединения обеспечивается самотормозящейся парой и статическим усилием. Открывание затвора осуществляется при вращении штока 13 в обратную сторону.

Claims (2)

  1. Изобретение относитс  к уплотнительным устройствам вакуумных систем , преимущественно электрофизических установок. Известны конструкции вакуумных затворов, содержащие приводной механизм и запорную пару l. Недостатком этих затворов  вл етс  то, что они требуют создани  на запорной паре значительных удельных контактных усилий. Известен также вакуумный затвор, содержащий приводной механизм и само тормоз щуюс  запорную пару, снабженную магнитострикционным вибратором 2. В этом затворе при увеличении диа метра уплотн емой поверхности увеличиваетс  требуемое усилие герметизации , а тем самым потребл ема  мощность вибратора и мощность генератор питающего этот вибратор. Цель изобретени  - снижение стати ческого усили  герметизации. Эта цель достигаетс  тем, что магнитострикционныйi вибратор выполнен . кольцевым из отдепышх имекшосс независимое возбуждение секций. На чертеже изображен вакзгумный затвор, общий вид. Вакуумный затвор содержит корпус 1 с фланцами 2- и 3 дл  присоединени  к вакуумной системе и насосу, вибратор , состо щий из секций 4 кольцевого магнитострикционного преобразовател  с независимыми электрическими обмотками 5 и кольцевого волновода 6, установленного дл  устранени  передачи колебаний на корпус, на диафрагмах 7 и 8, тарелку 9 клапана, котора  с волноводом 6 образует самотормоз щуюс  запорную пару с уплотн кицими поверхност ми 10, Тарелка 9 клапана соединена с гайкой 1I посредством диафрагмы 12. Шток 13 клапана св зан с приводным механизмом 14. Сильфон I5 исключает натекание атмосферы во внутреннюю полость корпуса 1 через приводной механизм 14. Затвор работает следующим образом При вращении штока 13 приводным ме ханизмом 14 тарелка 9 клапана статическим усилием прижимаетс  к волноводу 6 и уплотн ет поверхности 10 самотормоз щейс  пары. После приложени  статического усили  на обмотку 5 одной из секций 4 кольцевого магнитострикционного преобразовател  подаетс напр жение от генератора и возбуждаютс  продольные колебани , которые через волновод 6 поДают вибрационное усилие на уплотн ющие поверхности, расположенные под этой секцией. По ис течении некоторого времени напр жение от генератора переключаетс  на следующую секцию магнитострикционного преобразовател . В этом случае виб . рационное усилие действует уже на другой участок контактных поверхностей . Такое последовательное переключение обмоток магнитострикционного преобразовател  позвол ет осуществит последовательньй обход вибрационным усилием всей уп:1отн ющей поверхности В результате совместного действи  статического усили  от приводного ме ханизма и последовательного многократного обхода вибрационным усилием всего параметра уплотн ющих поверхностей обеспечиваетс  их герметизаци . После этого вибрационное усилие снижаетс , а плотность соединени  обеспечиваетс  самотормоз щейс  парой и статическим усилием. Открывание затвора осуществл етс  при вращенииштока 13 в обратную сторону. Формула изобретени  Вакуумный затвор, содержащий приводной механизм и самотормоз щуюс  запорную пару, снабженную магнитострикционным вибратором, отличающийс  тем, что, с целью снижени  статического усили  герметизации, магнитострикционный вибратор выполнен кольцевым из отдельных имеющих независимое возбуждение секций. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР fp 516860, кл. F 16 J 13/16, 1974.
  2. 2.Авторское свидетельство СССР № 202670, кл. F 16 К 49/00, 1965.
    3
SU782664202A 1978-09-18 1978-09-18 Вакуумный затвор SU838245A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782664202A SU838245A1 (ru) 1978-09-18 1978-09-18 Вакуумный затвор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782664202A SU838245A1 (ru) 1978-09-18 1978-09-18 Вакуумный затвор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU838245A1 true SU838245A1 (ru) 1981-06-15

Family

ID=20785285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU782664202A SU838245A1 (ru) 1978-09-18 1978-09-18 Вакуумный затвор

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU838245A1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019231355A1 (ru) * 2018-05-30 2019-12-05 Kuznetsov Andrey Leonidovich Задвижка для текучей среды

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019231355A1 (ru) * 2018-05-30 2019-12-05 Kuznetsov Andrey Leonidovich Задвижка для текучей среды

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU617241B2 (en) Sealing of sonar transducers
KR20010050263A (ko) 액체 밀봉형 진동 제어 장치
JPH10145892A (ja) 超磁歪アクチュエータ及びこれを用いた超磁歪スピーカ
SU838245A1 (ru) Вакуумный затвор
CA2071895C (en) Device in a force actuator
NO912714D0 (no) Styreventil for kran og bruk av ultrasonisk motor.
US5055733A (en) Method for converting micromotions into macromotions and apparatus for carrying out the method
SE9102474D0 (sv) Drivsystem foerakustiska apparater
RU95108453A (ru) Электромагнитный двигатель с горизонтальной тяговой характеристикой (варианты)
US6298012B1 (en) Doubly resonant push-pull flextensional
JPS62225182A (ja) 振動波モ−タ
DE19522072C1 (de) Piezoelektrischer Motor
JPS63101584A (ja) 制御弁
US20040206596A1 (en) Power transmitting mechanism and power transmitting method
SU1434177A1 (ru) Электромагнитна порошкова муфта
US5337461A (en) Loading of flextensional transducer shells
JPH08296757A (ja) 超音波モータを用いた弁アクチュエータ
ES8402182A1 (es) Organo de transmision del tipo de nucleo flotante.
JPH02311184A (ja) 超音波モータ
SU709902A1 (ru) Фланцевое соединение трубопроводов
SU617786A1 (ru) Устройство дл перемещени магнитной ленты
JPS6356176A (ja) 超音波モ−タ
CN101388620A (zh) 夹心式圆筒定子及使用该定子的超声电机
RU2356180C1 (ru) Возбудитель низкочастотных гидроакустических колебаний
SU721887A1 (ru) Вибродвигатель