SU861934A2 - Интерференционное устройство дл измерени перемещений - Google Patents
Интерференционное устройство дл измерени перемещений Download PDFInfo
- Publication number
- SU861934A2 SU861934A2 SU792793684A SU2793684A SU861934A2 SU 861934 A2 SU861934 A2 SU 861934A2 SU 792793684 A SU792793684 A SU 792793684A SU 2793684 A SU2793684 A SU 2793684A SU 861934 A2 SU861934 A2 SU 861934A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mirror
- reference mirror
- measuring displacements
- measuring
- photoreceiver
- Prior art date
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
(54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УеТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕПЩНИЙ
...
Изобретение относитс к измери тельной технике и предназначено дл измерени малых перемещений в широком диапазоне частот, например, при поверке вибродатчиков или проведении испытаний изделий электронной техни-ки .
Известно ийтерференционное устройство дл измерени перемещений, содержащее оптически св занные источник монохроматического излучени светоделитель, опорное зеркало, фотоприемник, электромеханический преобразователь, скрепленный с onoipным зеркалом, к блок, регистрации, св занный входом с-выходом фотоприемника р .
Недостатком устройства вл етс ограниченный динамический диапазон измерений и невысока точность
По основному авт. св. № 679789 известно устройств9 Дл измерени перемещений, содержащее оптически- св занные источник монохроматического
излучени , светорасщепитель, светоде1литель , опорное зеркало, электро ,механический преобразователь, на котором жестко закреплено опорное зеркало, -зеркало, закрепленное на йбщем основании с объектом, опти-. ческий элемент, первый фотоприемник и второй фотоприемник, св занный с электромеханическим преобразователем, и блок регистрации, --электри10 чески св занный с первым фотоприемником 2,
Недостатком этого устройства вл етс ограниченцьШ динамический диапа15 зон измерений, что обусловлено коротким линейньм участком характеристики аналогового преобразовани (завнсимости интенсивности выходного оптического сигнала от разности хода
Ю интерференцирующих световых пучков), что приводит к возникновению иск)ажений выходного сигнала и снижению точности измерений.
Целью изобретени вл етс повышение точности и расширение динамического диапазона измерений.
Цель достигаетс тем, что устройство снабжено вторым электромеханическим преобразователем, жестко скрепленным с первым, и вторым опорным зеркалом , св занным со вторым преобразователем и электрически св занным с выходом второго фотоприемника., а вход блока регистрации св зан с выходами фотоприемников.
На чертеже предствалена принципиальна схема устройства.
Устройство содержит источник 1 монохроматического излучени , светорасщепитель 2, светоделитель 3, первое опорное зеркало Ч, закрепленное на первом электромеханическом преобразббателе 5, второй электромеханический преобразователь 6, жестко св занный с первым преобразователем 5, второе опорное зеркало 7, св занное со вторым преобразователем 6, зеркало 8, расположенное на-общем основании с объектом 9, оптический элемент 10, два фотоприемника,I1 и 12, установленньГе симметрично относительно Оптического элемента 10. Устройство работает следующим обра Пучок света от источника I делитс светорасщепителем 2 на два параллельных пучка, по ходу одного из них создана система компенсации внешних воздействий , включающа светоделитель 3, дел щий этот пучок на два взаимно перпендикул рньк пучка, один из которых , отразившись от первого опорного зеркала 4, а второй - от зеркала 8, установленного на общем основании с объектом 9, и отразившись от опти Ческого элемента; 10, формируют первую интерференционную картину, интенсивность кбторой преобразуетс фотоприемником 12 в электрический сигнал , который подаетс на первый электромеханический преобразователь 5с закрепленным на нем первым опорным зеркалом 4. По ходу второго пучка система измерени полезного сигнала, включающа светоделитель 3, дел щий второй пучок на два взаимно перпендикул рных пучка, один-из которых, отразившись от второго, опорного зеркала . 7, а второй от объекта 9 и отравившись от оптического элемента 10, формируют вторую интерференционную картину, интенсивность которой преобразуетс фотоприемником 11 в электрический сигнал, который подаетс на второй преобразователь 6, на котором закреплено второе опорное зеркало . 7. Благодар тому, что при формировании первой интерференционной картины используютс те же элементы, что и дл формировани второй, и интерферируюнще пары пучков проход т близко друг с другом, вредное воздействие оказываемое на них, вл етс одинаковым , но тракты формировани интерференционных картин оказываютс .раз-, деленными.
При действии внешних вредных воздействий происходит смещение элементов и изменение разности хода интерферирующих пучков, В этом случае
Claims (2)
1. Отчет по НИР Разработка и исследование метрологических характеристик экспериментальной установки дл градуировки и поверки льезоэлек .трическюс преобразователей ультразвуковой аппаратуры, IV Госрегистг рации 71011427, инвентарный номер 6221177.
2. Авторское свидетельство СССР № 679789, -кл. G01 В 11/00, 1979 (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792793684A SU861934A2 (ru) | 1979-07-09 | 1979-07-09 | Интерференционное устройство дл измерени перемещений |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792793684A SU861934A2 (ru) | 1979-07-09 | 1979-07-09 | Интерференционное устройство дл измерени перемещений |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU679789 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU861934A2 true SU861934A2 (ru) | 1981-09-07 |
Family
ID=20839536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792793684A SU861934A2 (ru) | 1979-07-09 | 1979-07-09 | Интерференционное устройство дл измерени перемещений |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU861934A2 (ru) |
-
1979
- 1979-07-09 SU SU792793684A patent/SU861934A2/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1451547B1 (en) | Optical displacement sensor | |
| US4596925A (en) | Fiber optic displacement sensor with built-in reference | |
| EP0037668A1 (en) | Optical transducer means | |
| US5288995A (en) | Electrical measurement apparatus using heterodyne phase conversion techniques | |
| US4231662A (en) | Phase shift correction for displacement measuring systems using quadrature | |
| US4522495A (en) | Optical sensing devices | |
| PT82544A (pt) | Aperfeicoamentos em, e relativos a, instrumentos de medida | |
| US5184014A (en) | Opto-electronic scale reading apparatus | |
| DE3767876D1 (de) | Lichtelektrische positionsmesseinrichtung. | |
| US6580066B2 (en) | Measurement signal generating circuit for linear scale | |
| SU679789A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
| CA1070720A (en) | Optical detection weighing system | |
| JPS60243534A (ja) | 溶融シリカダイヤフラムモジユ−ル用ダイヤフラムたわみセンサ | |
| RU2010236C1 (ru) | Устройство для градуировки средств измерений угловых параметров движения | |
| EP0556960A2 (en) | Measurement apparatus using heterodyne phase conversion techniques | |
| SU911168A1 (ru) | Оптический виброметр | |
| EP0851210B1 (en) | Non-contact strain meter | |
| SU761847A1 (ru) | Устройство для бесконтактного измерения линейных перемещений и резонансных частот изделий 1 | |
| RU2788568C1 (ru) | Устройство доплеровского измерителя скорости на основе интерферометра с волоконным вводом излучения | |
| SU1767327A1 (ru) | Оптический датчик перемещений | |
| SU756194A1 (ru) | Устройство для измерения параметров движения . объекта | |
| SU1083070A2 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
| SU1413415A1 (ru) | Способ определени диаметра отверстий | |
| SU1714346A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени линейных перемещений | |
| SU911142A1 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений |