(54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ НАСОС
:1 Изофетен е относитс к конструкций ьысоковакуумных новно-сорбиионньсс магнитораф пньос насосов и мбжет быть испооьзовано в вакуумной технике. В магнитораар даьос.насосах поглоценне геттерами химически активных газов сочетаетс ионным способом откачки инертных газов и углевопородов. Достигаемое предельное давление в обезгаженньк объемах и без натекани газа ниже lO Па. Сорбциовна откачка обеспечиваетс за счет осаждени на стенксос анода или спеашальных коллекторов материала катода , распыл того идущим на него потоком ионов остаточных газов. Источником ио ниаирутсшшх остаточный газ чеютиц служит разр д в скрещенных электрическом и магнитном пол х. Нар ду с простотой конструкшш глав- ными достоинствами магниторазр дных насосов 5{Вл ютс их больша экономичность и независимость скорости откачки от рабочего давлени . Это обусловлено автоматической стабилизацией катодного распылени аа счет пропорциональности тока разр да давлению газа в разр дной камере. Основным недостатком магниторазр : ных насосов вл етс больша удельна масса - О,3-О,5 кг/л против, например, О,04-О,09 кг/л/с у испарительных ионно-сорбционных насосод. Известен магннторазр дный насос,содержащий чеистый анод, размшценвый в магнитном поле между плоскими катодами . Кажда чейка насоса работает не зависимо от других, так что скорость огкачки пропорциональна ойцей площади электродов. Достоинства известного насоса заключаютс в его технологичное ти ивозможности повышени тфоизводнтельност за счет простого увеличени числа чеек . Недостатком такого насоса вл етс закрытость его конструкции, т.е. мала проводимость каналов, соедин юпщх отдельные {{чейк с вакуумным объемом,Это качество извесгного насоса вецег к иеполиому использованию возможностей чеек, г.е. к снижению скорости откачки . Другим нецостатком известной кон .струкшга вл етс больша удельна масса насоса. Указанные нецостат ки неизбежны в насосах с чеистым анодом и могут быть устранены лишь при переходе к другой геометрии эл ектродов. Известен также магниторазр дный насос , содержащий полый цилиндрический анод, служащий одновременно Корпусом насоса, расположенный кте1ксиально с ним катод в виде полого цилиндра из геттерного материала, один из торцов которого герметично закрыт, а другой герметично соединен с анодами через кольцеобразный изол тор, и внешнюю магнитную систему, расположенную в полости катода в виде набора дисковых посто нных магнитов, обращенных одноименными полюсами друг к другу и разделенных шайбами из магнитом гкого материала. Разр д в насосе поддерживаетс в полости между катодом и анодов в кольцевых област х центральных плоскостей магнитов. В этих област х соблюда етс взаимнай перпендикул рность электрического и магнитного полей. Кольцевые области , расположенные в центральных плоскост х шайб, не участвуют в разр де и не подвергаютс распылению. Своей торцовой частью полость между анодом и катодом , где существует разр д и происходит откачка газа, открыта к откачиваемому объему, так что вакуумна проводимость от этого объема к области откачки в отличие от насосов с чеистым анодом очень велика. Удельна масса снижена по сравнению с описанным выше известными холловскими насосами в несколько раз и Приближаетс к испарительным ионно-сорб ционным насосам. Магнитна система с магнитами в виде дисков размещена в OTV .крытой к атмосфере внутренней полости катода и может удел тьс при прогреве ве 21. Однако такой насос обладает скоростью откачки, св занной с тем, что лишь часть поверзшости катода подвергаетс распыленшо в процессе работы. Устранить этот недостаток можно, в частности, за счет увеличени рабочей части катодной поверх Цель изобретени - повышение скороети откачки. Поставленна цель достигаетс тем, что в магнитора дном насосе, с-одержаем полый цилиндрический анод, сл ткашлй одновременно корпусом насоса, располоенный коаксиально с ним катод в виде полого цилиндра из геттерного материала , одан из торцов которого герметично закрыт, а другой герметично соединен с анодом через кольцеобразный изол тор, и внешнюю магнитную систему, расположенную в полости катода в виое набора посто нных магнитов офащенных одноименными полюсами друг к другу и разделенных шайбами из магнитом гкого материала , катод выполнен в виде даух герметачно соединенных по торцам со стороны вакуумного объема коаксиальных цилиндров , в полости меньшего из которых, на оси насоса, расположи металлический стержень, электрически соединенный с анодом, а в полости межру катодаыми цилиндрами размещена магнитна система. На чертеже показан предлагаемый насос. Насос содержит полый цилиндрический анод 1, одновременно cJ yжaщий корпусом насоса и имеющий фланец 2 дл присоединени к откачиваемому объему. В аноде 1 размещен полый катод 3, к которому изнутри примыкает магнитна система , выполненна в виде набора кольцевых посто нных магнитов 4, обращенных друг к другу одноименными полюсами и разделенных шайбами 5 из магнитом гкого материала (например, Армко). Внутри магнитов с шайбами установлены примыкающий к ним цилиндр 6 и проход щий по оси стержень 7. Цилиндр 6 соединен с катодом 3 торцовым кольцом 8, а стержень 7 - с анодом 1 диском 9. Все перечисленные элементы предлагаемого насоса осесимметричны и укреплены соосно между собой. Насос работает следующим образом. При подаче между анодом 1 и катодом 3 высокого напр жени в несколько киловольт между ними возникает электрический разр д, ток которого служит одновременно мерой давлени . При низких давлени х разр д локали етс в кольцевых сло х, прилегающих к аноду I в дентрапьньос плоскост х магнитов 4. Электроны, осциллирующие вдоль силовьос линий магнитного пол (показаны . Лини ми) и дрейфующие вокруг оси, движутс к аноду I лишь в результате редких ншизирук цих столкнсйений с молекулами газа. Образовавшиес положительные ишы ускор ютс к. катоду 3, вызь ва распыление геттерного материала (титана ). Часть ионов, име большие скорости.