SU947636A1 - Интерферометр дл измерени перемещени - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, дл  измерени  перемещени .

Известен интерферометр, содержащий источник монохроматического излучени , телескопическую систему, светоделительную пластину, два уголковых отражател , две диафрагмы и два фотоприемника дл  регистрации интерференционной картины 1.

Недостатком интерферометра  вл етс  недостаточно высока  точность измерени  из-за чувствительности к разъюстировке.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности и решаемой задаче  вл етс  интерферометр дл  измерени  перемещени ,содержащий последовательно расположенные источник монохроматического излучени , телескопическую систему и светоделитель, дел щий излучение на два потока, в одном из которых расположены оптически св занные диафрагма и фотоприемник , а в другом - последовательно установленные по ходу излучени  отражатель , св занный с объектом, диафрагма и фотоприемник {2.

Недостатком интерферометра  вл етс  недостаточна  точность измерени .

Цель изобретени  - повьашение точности измерени .

Указанна  цель достигаетс  тем, что светоделитель и отражатель выполнены идентично в виде моноблока из пр моугольной:усеченной призмы

10 с полупрозрачным отражшощим покрытием на гипотенузной грани и углом при вершине:

Sin-i

ii 45 -arcs4n

15

i - угол между нормалью к гипогде тенузной грани и направлением перемещени ;

п - показатель преломлени  призмы , и ориентированы друг от20 носительно друга таким образом , что дл  подающего излучени  гипотенузна  грань одного из них  вл етс  выходной, а другого - входной.

На чертеже дана принципиальна  схе25 ма интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучени , телескопическую систему 2, светоделитель 3, диафрагму 4, фотоприемник 5,

30 светоделитель 3 выполнен в виде моноп

лока из пр моугольной усеченной призмы с полупрозрачным отражающим окрытием на гипотенузной грани, ричем его выходна  гипотенуэна  грань расположена под углом, близким 45, диафраГгму 6, фотоприемник 7, аналогичную конструкцию и ориентацию имеет отражатель 8, у которого гипотенузна  грань  вл етс  входной и который жестко св зан с перемещающимс  объектом.

Интерферометр работает следующим образом.

Пучок света от источника 1 монохроматического излучени  расшир етс  телескопической системой 2 и раздел етс  светоделителем 3 на два потока: рабочий (прошедший) и эталонный (отраженный во внутрь стекла). Рабочий поток падает на отражатель 8, преломл етс  на входной грани и возвращаетс  параллельно самому себе. Эталонный поток, аналогично отразившись от граней полного внутреннего отражени , вновь возвращаетс  на светоделительную поверхность, где смешиваетс  с рабочим потоком.

Таким образом оба потока частично направл ютс  на фотоприемник 5, а частично - на фотоприемник 7.

Диафрагмы 4 и 6 вырезают участки интерференционных полос, сдвинутых друг относительно друга на 0,25 их

ширины.

Claims (2)

1.Коломийцев Ы.В. Интерферометры Л. , 1967, с. 191.

2.Патент ФРГ 2207722,

кл. G 01 В 9/02, 1975 (прототип).