SU953263A1 - Криогенна откачна система - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к вакуумной технике. Известна криогенна .откачна  система, содержаща  импульсный криогенный вакуумный насос с полой криопанелью, заполненной гелием, и криогенератор, имек ций полости вы сокого и низкого давлени  1} . При работе известной откачной системы температура криопанели в процессе конденсации на ее поверхности откачиваемого газа повышаетс , что снижает быстроту действи  системы. Целью изобретени   вл етс  увели чение быстроты действи  путем стаби лизации температуры криопанели. Указанна  цель достигаетс  тем, что полость криопанели заполнена адсорбентом и подключена.трубопроводами с вентил ми к.полост м криогенератора . На чертеже схематично изображена откачйа  система. Криогенна  откачна  система соде жит импульсный криогенный вакуумный насос 1 с полой криопанелью 2, заполненной гелием, и криогенератор, имеющий полости 3 и 4 высокого и ни кого давлени . Полость 5 криопанели 2 заполнена адсорбентом и подключена трубопроводами 6-8 с вентил ми 9 и 10 к полост м 3 и 4 криогенератора. Система работает следующим образом . В процессе охлаждени  криопанели вентиль 9 открыт, а вентиль 10 закрыт . Холодный гелий из криогенератора охлаждает криопанель 2 и адсорбент , наход щийс  в полости 5. Адсорбент поглощает гелий при давлении в полости 3 высокого давлени  криогенератора . При переходе на режим криооткачки вентиль 9 закрывают и открывают вентиль 10. При этом с понижением давлени  в полости 5 происходит десорбци  ранее поглощенного гели . Так как при этом затрачиваетс  теплота адсорбции, часть теплопритока к криопанели с конденсируелым газом оказываетс  скомпенсированной,, и это замедл ет или совсем прекращает рост температуры на поверхности криопанели . Такое выполнение криогенной откачной системы позволит стабилизировать температуру криопанели и увеличить тем самым быстроту действи  насоса.

Claims (1)

1. Йатент Великобритании №1170824, кл.Р 1 N 3 В 2,опублик.1967