SU960559A2 - Датчик давлени - Google Patents
Датчик давлени Download PDFInfo
- Publication number
- SU960559A2 SU960559A2 SU813252270A SU3252270A SU960559A2 SU 960559 A2 SU960559 A2 SU 960559A2 SU 813252270 A SU813252270 A SU 813252270A SU 3252270 A SU3252270 A SU 3252270A SU 960559 A2 SU960559 A2 SU 960559A2
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- pressure pickup
- box
- pressure sensor
- sensor
- electronic circuit
- Prior art date
Links
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к измеритель ной технике, а точнее к измерению цавлений жицких и газообразных срео.
По основному авт. св. № 679835 известен датчик давлени , соцержащий консольно закрепленную в корпусе датчика мембранную коробку в виде балки, образованную соединенными между собой мо нокристаллическими кремниевыми пластинами , и тензорезисторы, расположенные на, наружной поверхности коробки 1.
Недостатком этого датчика давлени вл етс температурна погрешность, вызванна различием коэффициентов линейного расширени материалов кристалла, на 15 которых сформирована электронна схема, и изолирук цей поцлржки, на которой смонтирован этот кристалл.
Цель изобретени - повышение точности за счет уменьшени температурной пог20 решности датчика.
Указанна цель достигаетс тем, что в датчике давлени электронна схема тензорезисторов расположена на наружной поверхности балки на рассто 1ши от места закреплени 2-3 в, где в- толщина балки.
На чертеже привеоен один из вариантов датчика давлени .
Датчик давлени состоит из корпуса, включающего в себ подлож.ку 1 и сое пи- ненный с ней кожух 2, мембранной коробки в виде балки, образованной монокрис- таллическими пластинами 3 и 4,
.На наружной поверхности мембраны сформированы тензорезисторы 5 и электронна схема 6, соединенна электровыводами 7, Мембранна коробка через промежуточную пластину 8соединена с nothложкой 1. Через патрубок 9 в пространство , образованное подложкой 1 и кожухом 2, подаетс измер емое давление Р.
Датчик работает слес(ующим образом.
Через патрубок 9 подают измерйемое давление. Оно деформирует мембрану, вызыва тем самым изменение сопротивлени тензореа1сторов 5, которое схемой 6 преобразуетс в удобный дл йспользшани выходной сигнал.
Изменение температуры окружающей среды не -привооит к Ёоэникноёению дополн нительных оеформаций коробки из-за раовости Коэффициентов линейного расширени материалоь .коробки и пластины 8, если элементы электронной схемы расположены на рассто нии от места закреплени 2-3 & В област х нулевых деформаций, где в толщина балки.
Таким образом, при испс)льзовании изобретени изменение температуры окру жакхцей среды не вли ет на резу/штат измерений, что приводив к увеличению . точности измерений.
Claims (1)
1. Авторское свидетельство СССР Ni 679835, кл. q 01 U 9/О4, 18.06,76 (прототип).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813252270A SU960559A2 (ru) | 1981-02-25 | 1981-02-25 | Датчик давлени |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU813252270A SU960559A2 (ru) | 1981-02-25 | 1981-02-25 | Датчик давлени |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU679835 Addition |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU960559A2 true SU960559A2 (ru) | 1982-09-23 |
Family
ID=20944631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU813252270A SU960559A2 (ru) | 1981-02-25 | 1981-02-25 | Датчик давлени |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU960559A2 (ru) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4930353A (en) * | 1988-08-07 | 1990-06-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor pressure sensor |
| US4967600A (en) * | 1988-02-24 | 1990-11-06 | Killer AG fur Druckmebrechnik | Manometer |
| US5174158A (en) * | 1991-06-07 | 1992-12-29 | Maclean-Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor |
| US5224384A (en) * | 1991-06-07 | 1993-07-06 | Maclean-Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor |
-
1981
- 1981-02-25 SU SU813252270A patent/SU960559A2/ru active
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4967600A (en) * | 1988-02-24 | 1990-11-06 | Killer AG fur Druckmebrechnik | Manometer |
| US4930353A (en) * | 1988-08-07 | 1990-06-05 | Nippondenso Co., Ltd. | Semiconductor pressure sensor |
| US5174158A (en) * | 1991-06-07 | 1992-12-29 | Maclean-Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor |
| US5224384A (en) * | 1991-06-07 | 1993-07-06 | Maclean-Fogg Company | Resistive strain gauge pressure sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7775117B2 (en) | Combined wet-wet differential and gage transducer employing a common housing | |
| RU2362133C1 (ru) | Микроэлектронный датчик абсолютного давления и чувствительный элемент абсолютного давления | |
| US3213681A (en) | Shear gauge pressure-measuring device | |
| JPS5856428B2 (ja) | 水晶振動子を用いた圧力センサ | |
| SU1716979A3 (ru) | Способ измерени давлени и преобразователь давлени | |
| US7584665B2 (en) | Combustion transducer apparatus employing pressure restriction means | |
| SU1536196A1 (ru) | Пьезооптический измеритель деформации объекта | |
| SU1525504A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU1451566A1 (ru) | Полупроводниковый тензопреобразователь | |
| SU1364924A1 (ru) | Устройство дл измерени давлени | |
| RU44384U1 (ru) | Полупроводниковый чувствительный элемент датчика давления | |
| SU1413451A1 (ru) | Тензорезисторный датчик давлени | |
| RU2286555C2 (ru) | Тензометрический первичный преобразователь давления с компенсацией дрейфа нуля и мембрана для него | |
| SU1247693A1 (ru) | Полупроводниковое измерительное устройство | |
| RU2014579C1 (ru) | Датчик силы | |
| SU800742A2 (ru) | Тензометрический преобразователь | |
| RU2034251C1 (ru) | Датчик давления | |
| RU2010195C1 (ru) | Микродатчик давления | |
| SU1068747A1 (ru) | Полупроводниковый датчик давлени | |
| GB2080542A (en) | Measurement of shaft angle displacement | |
| SU1408262A1 (ru) | Тензопреобразователь давлени с раздельными цеп ми питани и измерени | |
| SU1303857A1 (ru) | Измерительный преобразователь давлени | |
| CN1293356A (zh) | “x” 型硅微应变固态压阻传感器及其制作工艺 | |
| US4928529A (en) | Force multiplying membrane instrument | |
| SU1545117A1 (ru) | Датчик давлени |