SU977945A1

SU977945A1 - Способ измерений линейных размеров стекл нной трубки

Info

Publication number: SU977945A1
Application number: SU813302222A
Authority: SU
Inventors: Валерий Петрович Лисенков; Евгений Игнатьевич Сачук; Вячеслав Федорович Старостин
Original assignee: Предприятие П/Я А-3531
Priority date: 1981-06-11
Filing date: 1981-06-11
Publication date: 1982-11-30

Description

1

о Изобретение относитс к измеритель- ной технике и npeflHaoHaHeHq вчастности, дл использовани в устройствах дл оптического бесконтактного измерени толщины стекл нных трубок, используемых Б издели х электронной техники.

Известен оптический способ измерени линейных размеров прсврачных изделий, например, дл измерени толщины пластины из прозрачного материала, заключающийс в том, что пропускают через пластину пучок лучей и измер ют его смещение , по которому суд т о толщине шюстиь ны, причем осуществл ют многократное прохождение сход щегос пучка лучей через пластину при помопш зеркал С13 .

Даш1ый способ требует достаточно сложную оптическую систему дл своего осуществлени .

Известен также способ измерени толишны прозрачного пленочного покрыти , заключающийс в том, что .устанавливают на контролируемом изделии двойной микроскоп, основанный на методе светевого сечени , и навод т на резкость линии отражени света от поверхностей покрыти , закрьоэают двум задвижными шторками зоцу, наход5пцуюс за пределами линий отражени света, пропускают через образовавшуюс щель между шторками калиброванный поток света и по изменению тока в измерительном приборе микросксша суд т об измер емой толишне 23 .

10

Способ требует дл каждого замера устанавливать вручную или механически задвижные шторки и поворотное зеркало, что исключает автоматизагшю процесса намерени .

ts

Кроме того, способ может быть применен только дл измерени очень малых толщин пор дка нескольких микрометров.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности вл етс способ

Claims

20 измерени линейных размеров стекл нной трубки, заключающийс в том, что направл ют параллельный световой пучок на трубку, получают на экране изображение. образованное световым пучком, по которому и суд т об измер емом размере. Направл ют параллельный световой пучок перпендш л рно оси стекл нной трубки, затем направл ют дополнительный параллельный световой пучок навстречу основному, а измереше ведут по изображению , образованному лучами, отраженными от наружной поверхности трубки и преломленными в трлщине трубки СЗ . Однако изображение, получаемое этим способом, не имеет четких границ, 4to, в свою очередь, приводит к снижению точности измерени .. Цель изобретени - повышение точноетн измерени Поставленна дель достигаетс тем, чт согласно способ измерени линейных размеров стекл нной трубки, например, толщины стенки, направл ют паралаельнь1й :световой пучок на трубку, получают на экране изображение, образованное световь пучком, по которому и суд т об измер емом размере, экранируют отраженный от наружной поверхности трубки световой пу чок, а на экран направл ют лишь светово : пучок, отраженный от внутренней поверх;ности трубки, : , На г. 1 изображейа принципиальна схема устройства, реализующего способ нзмегеш линейных размеров стекл нной трубки; на фиг. 2 - поле зрени экрана фoтoпpиe raикa. Устройство содержит источник 1 парал лельного светового , заслонку 2, г бьектив 3 и фотоприемник 4 с экраном 5 Способ осуществл етс следующим образом. В направл ющее устройство {не показано ) помещают стекл5шную трубку 6 и освещают ее параллельным пучком света от источника 1 параллельного светового пучка, расположенного под углом 45 к образующей трубки 6. Заслонку 2 устанавливают перпендйкул рю оси стекл нной трубки 6 b середине освещенного участка, вследствие чего на экран 5 фото- хфиемника 4 направл ют лшиь световой пучок, отраженный от внутренней поверзьности трубки 6, пропорциональный толщине стенки трубки 6. На экране 5 фотопрйекшика 4 наблюдают широкую полосу с четкими границами, по которой определ ют толщину стекл нной трубки.6, Предлагаемый способ обеспечивает вьюокую точность измерени . Формула изобретени Способ измерени линейных размеров стекл нной трубки, например толщины стенки, зак Еочакшийс в том, что направо л ют параллельный световой пучок на трубку, получают на экране изображение, образованное световьш пучком, по которому и суд т об измер емом размере, отличающийс тем, что, с йелью повьоиени точности измерени , экранируют отраженный бт наружной поверхности трубки qвeтoвoй пучок, а на экран направл ют лищь световой пучок, отраженный от внутренней поверхности трубки. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР № 252624, кл. Ci 01 В 11/06, 1967.
2.Авторское свидетельство СССР № 4282О1,ьКл. Q 01 В 11/О6, 1972.
3.Авторское свидетельство СССР NO 610641, кл. G 01 В 11/08, 1974. (прототип).