SU988533A2 - Устройство дл исправлени угла среза кристаллографически ориентированных пластин - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к радиоэлектронике , промышленности средств св зи, радиопромышленности и может быть использовано при изготовлении подложек микросхем на кристаллах, в том числе из пьезокварца.

По основному авт.св. № 768616 известно устройство дл  исправлени  угла среза кристаллографически ориентированных подложек, выполненное в виде корпуса и рабочих секций, кажда  из которых состоит из одной неподвижной и одной подвижной втулок , установленных на общем валу, имеющих по одному перпендикул рному, к оси и одному скошенному под равными углами торцу и контактирующих друг сДРУГОМ по перпендикул рным торцам, причем на скошенном торце подвижной втулки, снабженной фиксатором , укреплена поворотна  кассета , имеюща  сквозное отверстие, соответствующее контурной форме исправл емой подложки l.

Недостатком известного устройства  вл етс  невозможность исправлени  углов среза подложек различной толщины; Известное устройство применимо только дл  подложек одной какойлибо конкретной толщины, при которой

центр подложки лежит на оси вращени  (оси подвижной втулки), вокруг которой осуществл етс  разворот подложки (здесь и в дальнейшем под центром подложки подразумеваетс  центральна  точка на поверхности подложки после сн ти  припуска На обработку). при изменении толщины подложки центр ее будет смещен отно10сительно оси вращени , и при обработке будет наблюдатьс  разворот подложки вокруг дополнительной неконтролируемой оси.

Целью изобретени   вл етс  рас15 ширение технологических возможностей

устройства за счет обработки подло . жек различной толщины.

Цель достигаетс  тем, что в устройство дл  исправлени  угла среза

20 кристаллографически ориентированных пластин дополнительно введен стол, установленный с возможностью перемещени  в направл ющей, выполненной на скошенном торце подвижной втулки,

25 снабженной тарировочной шкалой, а поворотна  кассета установлена на столе.

Claims (2)

1. На фиг.1 изображено предлагаемое устройство, разрез на фиг,2 - се30 чение А-А на фиг.1; на фиг.З - схема , по сн юща  совмещение центра подложки с осью вращени  подвижной втулки; на фиг.4 - положение подлож ки после настройки на определенный угол среза; на фиг.5 - предлагаемое устройство, вид сверху. Устройство состоит из двух втулок , подвижной 1 и неподвижной 2, общего пустотелого вала 3, с помощь которого втулки креп тс  к корпусу 4 и в полости которого создаетс  ва куум, фиксирующей гайки 5, кассеты 6,стола 7, стойки 8, тарированной головки 9 и микровинта 10. Кажда  из втулок имеет соответственно перпендикул рные и скошенные под одина ковыми углами торца. Посто нный кон такт втулок при взаимном вращении осуществл етс  по перпендикул рным торцам, при этом один из скошенных торцов посто нно служит основанием, а на торце второго по направл ющим базируетс  стол 7. Гайка 5 служит дл  фиксировани  относительного углового положени  втулок 1 и
2. 2. В сквозное отверстие кассеты б устанавливаетс  обрабатываема  подложка 11. К подвижной втулке 1 крепитс стойка 8. Работа и настройка устройства происходит следующим образом. На базовую плоскость стола 7 уст навливаетс  обрабатываема  подложка 11. После этого создаетс  разрежение в полости устройства и подлож ка фиксируетс  на поверхности стола 7.Затем при заданной теоретической толщине h (получаемой после сн ти  припуска)при помощи микровинта 10 и головки 9, оттарированной в зависимости от теоретической толщины подложки, перемещают в горизонтальн плоскости.стол вместе с подложкой так, чтобы ось подложки 1-1 и ось подвижной втулки 11-11 пересекались в точке О, , определ ющей заданную .толщину подложки h (фиг.З). При изменении толщины подложки на Ь-з. происходит рассогласование центра пересечени  осей на рассто ние , равное Д , в св зи с чем при повороте подвижной втулки 1 подложка поворачиваетс  как по оси X (на заданный угол), так и по оси У (на побочный угол, внос щий погрешность Дл  исключени  этого необходимо с помощью микровинта 10 и головки 9 стол с подложкой сместить на величину Д и совместить точку Б, расположенную на оси 11-11, т.е. оси X, с вертикальной осью подложки 1-1, Затем базова  плоскость стола, ориен-. тируетс  на требуемый угол оС , равный поправке угла плоскости среза подложки, путем вращени  втулки 1 относительно неподвижной втулки по лимбу (фиг.4) . Требуемый угол of, фиксируетс  гайкой 5. Далее должно быть откорректировано направление наклона плоскости среза относительно шлифовального круга 12. Кор|)ектировка производитс  за счет поворота кассеты 6 по лимбу на требуемый угол /% (фиг.З). Конструкци  предлагаемого устройства Имеет широкие технологические возможности - позвол ет устранить такое отрицательное  вление, как одновременный разворот подложки по двум ос м, возникающий при несовмещении центра подложки с осью вращени  подвижной втулки, что имеет место в известном устройстве при пе,: реходе на обработку подложек другой толщины. По сравнению с известным предлагаемое устройство дает BO3MokHOCTb снизить трудоёмкость на 20-40% и повысить производительность за счет возможности обработки подложек различной толщины. Формула изобретени  Устройство дл  исправлени  угла среза кристаллографически ориентированных пластин по авт.св.№ 768616, отличающеес   тем, что, с целью расширени  технологических возможностей устройства, оно снабжено столом, установленнЕли с возможностью перемещени  в выполненной на . скошенном торце подвижной втулки направл ющей и несущим поворотную кассету. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 768616, кл. В 24 В 41/00, 1978.