SU992814A2 - Криогенный конденсационный насос - Google Patents

Description

(54) КРИОГЕННЫЙ КОНДЕНСАЦИОННЫЙ НАСОС

Claims (2)

1. Изобретение относитс  к вакуумной технике и может быть использовано дл  получени  высокого вакуума в технологических и испытательных установках. По основному авт.св. .№ 511430 нзЧ вестен криогенный конденсационный насос, содержащий корпус с размещенным в нем внутри охлаждаемого экрана откаг1йва1ацим элементом, выполненным в виде сосуда, заполненного жидким газом, в зоне днища которого с минимальным зазором установлена кольцева  диафрагма, имеюца  тепловой контакт с экраном. Внутри сосуда, заполненног жидким газом, установлен адсорбционны насос, входной патрубок которого герметично прикреплен к днищу сосуда и площадь его проходного сечени  составл ет 0,,01 от площади отверсти  диафрагмы. После заливки жидкого газа в сосуд происходит охлажление поверхностей сосуда и адсорбционного насоса Больша  часть легкоконденсируемых Ком понент откачиваемого газа конденсируетс  на поверхности сосуда. Трудноконденсируемые газы поглощаютс  адсорбционным насосом, в результате чего улучшаетс  вакуум внутри насоса, а следовательно, уменьшаетс  теплоприток к сосуду с жидким газом -tl. Недостатком криогенного конденсационного насоса  вл етс  то, что легкоконденсируемые компоненты конденсируютс  не только на поверхности сосуда , но значительна  их часть успевает проникнуть во входной патрубок адсорбционного насоса и поглотитьс  адсорбционным насосом. Это уменьшает полезную емкость последнего, а следовательно , снижает надежность и .эффективность работы насоса. Цель изобретени  - повышение надежности насоса. Указанна  цель достигаетс  тем, что адсорбционный насос снабжен подвижной заслонкой, перекрывающей его входной патрубок и имеющей механизм перемещени . Механизм перемещени  выполнен в виде поворотного самотормоз щего кулачка и св занного с ним и заслонкой подпружиненного стержн , На чертеже представлен предлагаемый криогенный конденсационный насос. Насос содержит корпуй 1, в котором размещен охлаждаемый экран 2.Внутри экрана 2 установлен откачивающий элемент, выполненный в виде сосуда 3, заполн емого жидким газом. Взоне днища сосуда 3 с минимальным зазором установлена кольцева  диафрагма 4, имеюща  тепловой контакт с экраном 2. Внутри сосуда 3, заполненного жидким газом, установлен адсорбционный насос 5, входной патрубок 6 которого герметично прикреплен к днищу сосуда 3 и площадь его проходного сечени  составл ет 0,10 ,01 от площади отверсти  диафрагмы 4. Адсорбционный насос 5 снабжен под вижной заслонкой 7, перекрывающей ег входной патрубок 6 и имеющей механизм перемещени . Механизм перемещени  выполнен в виде поворотного самотормоз щего кулачка 9 и св занного с ним и заслонкой 7 подпружиненного стержн  10. Стержень 10 подпружинен пружиной 11. Насос работает следукицим образом. Перед заливкой в сосуд 3 хладаген та предварительно закрывают входной патрубок б адсорбционного насоса 5 заслонкой 7. Дл  этого поворачивают по часовой стрелке кулачок 9 и засло ка 7 вместе со -стержнем 10 перемещаетс  под действием пружины 11 ввер и плотно прижимаетс  к нижнему торцу входного патрубка 6 адсорбционного насоса 5. Затем в сосуд 3 заливаетс  хладагент, например жидкий гегЛИЙ , и происходит охлаждение поверхности сосуда 3 и адсорбционного насо са 5. Легко конденсируемые компоненты откачиваемого газа конденсируютс  на поверхности сосуда 3, при этом заслонка 7 прижата  к торцу, надежно предохран ет адсорбционный насос от проникновени  в него легко конденсируемых газов. После того, как легко .конденсируемые газы сконденсируютс  на поверхности сосуда 3, открываетс  заслонка 7. Дл  этого кулачок 9 пов15ра1иваетс  против часовой стрелки и отжимает стержень 10 с заслонкой 7 вниз. Между заслонкой 7 и нижним торцом патрубка б образуетс  зазор, через который трудно конденсируемые газы поступают в адсорбционный насос 5 и поглощаютс  им, при этом улучшаетс  вакуум внутри конденсационного насоса и уменьшаетс  теплоприток к сосуду 3 с хладагентом. В предлагаемс  криогенном конденсационном насосе адсорбционный насос полностью предохранен от доступа в него легко конденсируемых компонент откачиваемого газа, вследствие чего сохран етс  его полезна  емкость, а значит повыигаетс  надежность и эффективность насоса. Формула изобретени  1.Криогенный конденсационный насос по авт.св. № 511430, отличающийс  тем, что, с целью повышени  надежности, адсорбционный насос снабжен подвижной заслонкой, перекрывающей его входной патрубок и имеющей механизм перемещени .
2. 2.Насос ПОП.1, отличающийс  тем, что механизм перемещени  выполнен в виде поворотного самотор юз щего кулачка и св занного с ним и заслонкой подпружиненного стержн . Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1. Авторское свидетельство СССР № 511430, кл. F 04 В 37/08, 1974.

   t